山西綜改區(qū)：累累碩果彰顯創(chuàng)新力量

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盛夏時(shí)節(jié)，萬木蔥蘢。在山西綜改示范區(qū)這片希望的田野、興業(yè)的沃土上，創(chuàng)新之風(fēng)勁吹，孕育著一個(gè)個(gè)奇跡。

建設(shè)山西綜改示范區(qū)是山西省委、省政府踐行習(xí)近平總書記和黨中央賦予山西建設(shè)“國家資源型經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型綜合配套改革試驗(yàn)區(qū)”重大使命的戰(zhàn)略決策。2020年5月，習(xí)近平總書記在山西考察時(shí)，勉勵山西“在轉(zhuǎn)型發(fā)展上率先蹚出一條新路來”，極大地鼓舞了奮戰(zhàn)在轉(zhuǎn)型綜改一線廣大科技工作者的士氣和干勁。兩年多來，山西綜改示范區(qū)一連串令人驚嘆的成果彰顯著創(chuàng)新的蓬勃力量……

6月13日，中國寶武太鋼不銹鋼精密帶鋼有限公司（以下簡稱“精密帶鋼公司”）生產(chǎn)車間內(nèi)機(jī)器轟鳴，軋制、清洗、拉矯、縱切、包裝……“手撕鋼”生產(chǎn)呈現(xiàn)一派火熱的繁忙景象。

“手撕鋼”從外表看只是一卷普通的鋼材，展開后卻薄如蟬翼，用手輕拉便能撕開?！皠e看它薄，卻可以承受20萬次折疊，不變形、不斷裂?！本軒т摴臼紫こ處熈蜗院赖卣f。

展臺背后的電子大屏上展示著習(xí)近平總書記2020年5月12日視察精密帶鋼公司時(shí)的4張照片。兩年多過去，精密帶鋼公司綜合管理部宣傳干事孟蕾蕾對當(dāng)時(shí)的情景仍記憶猶新：在光亮機(jī)組前，習(xí)近平總書記饒有興致地了解了厚度僅有0.02毫米的不銹鋼箔材“手撕鋼”產(chǎn)品，他拿起一片“手撕鋼”仔細(xì)察看，用手指輕輕扭折了一下，稱贊道：“工藝確實(shí)好，就像錫紙一樣薄，百煉鋼做成了繞指柔?！?/p>

在生產(chǎn)車間門口，習(xí)近平總書記同職工代表親切交流：“希望你們再接再厲，在高端制造業(yè)科技創(chuàng)新上不斷勇攀高峰，在支撐先進(jìn)制造業(yè)方面邁出新的更大步伐?！?/p>

牢記習(xí)近平總書記囑托，精密帶鋼人只爭朝夕。3個(gè)月后，他們交出了一份新的成績單：2020年8月16日11時(shí)15分，用時(shí)3小時(shí)，寬600毫米、厚0.015毫米的不銹鋼精密箔材軋制成功。

精密帶鋼公司黨委書記、經(jīng)理王天翔回憶，由于0.015毫米的厚度超出了設(shè)備的設(shè)計(jì)極限，軋輥已經(jīng)“感覺”不到不銹鋼精密箔材的存在，在“搟”的過程中不斷打滑。“在這種情況下，我們對軋輥進(jìn)行了特殊處理，用激光把它毛化了，增加了粗糙度，同時(shí)減小了直徑，這樣就可以繼續(xù)‘搟’了！”

老問題解決了，新問題又來了。由于0.015毫米太薄，突破了設(shè)備設(shè)計(jì)極限，已經(jīng)測量不出厚度了?！拔覀儼言O(shè)備的精度調(diào)整到極限，再通過數(shù)學(xué)模擬計(jì)算，最終解決了測量的問題?！蓖跆煜枵f。厚度再減0.005毫米，能改變什么？“如果用來做電池包覆膜，同樣體積，電池容量能增加17%?！绷蜗忉尅?/p>

點(diǎn)滴努力匯聚，才有了科技創(chuàng)新之花的絢麗綻放?！傲?xí)近平總書記對‘手撕鋼’的肯定讓我們備受鼓舞，總書記的殷殷囑托是我們創(chuàng)新發(fā)展的強(qiáng)大動力，讓我們鼓足干勁，一刻也不敢懈怠?！蓖跆煜璞硎尽?/p>

“今年7月，我們將再次全球首發(fā)兩款高端新材料，一款是掩膜板用專業(yè)膨脹合金，這一新材料打破了日本壟斷，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈自主可控;另一款是光刻機(jī)用特殊耐蝕合金高端新材料，解決了芯片制造過程中的‘卡脖子’難題。同時(shí)，結(jié)合箔材特殊性能與使用場景需求，正在研發(fā)制作一種即時(shí)發(fā)熱的新型復(fù)合材料，為飛機(jī)機(jī)翼快速除冰?！闭劦较乱徊降挠?jì)劃，廖席信心滿滿。

6月14日，在山西爍科晶體有限公司（以下簡稱“爍科晶體”）一層展廳，一個(gè)個(gè)像有機(jī)玻璃的圓形“工藝品”引起了人們的注意。工作人員介紹，這是碳化硅晶片，厚度0.5毫米，約為5張A4紙的厚度，直徑4英寸或6英寸，和一張CD光盤差不多。因?yàn)樘?，只能夾在兩層透明的“玻璃”之間供觀賞。就是這樣一個(gè)薄片，市場售價(jià)高達(dá)2000美元，還經(jīng)?！耙黄y求”。

作為目前全球最先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體材料，碳化硅晶片具有其他材料不具備的諸多優(yōu)點(diǎn)，是制造高溫、高頻、大功率半導(dǎo)體器件的理想襯底。“打個(gè)比方，5G之所以傳輸速度快，是因?yàn)樗鼡碛幸活w足夠強(qiáng)大的5G芯片心臟，碳化硅晶片就是5G芯片最理想的襯底。”爍科晶體總經(jīng)理助理馬康夫解釋道。

走進(jìn)爍科晶體單晶生長車間，透過玻璃幕墻可以看到一排排3米高的碳化硅單晶生長爐，它們表面平靜，里面2000℃以上的高溫中卻正在發(fā)生驚人的化學(xué)反應(yīng)：生長形成碳化硅晶錠?！霸谶@個(gè)過程中，晶體很容易出現(xiàn)缺陷。有個(gè)指標(biāo)叫微管，就是晶體中出現(xiàn)的大概只有頭發(fā)絲幾十分之一細(xì)的管狀孔洞，眼睛是看不到的，一旦出現(xiàn)微管，整個(gè)晶體就不合格了。由于溫度太高，沒辦法進(jìn)行人工干預(yù)，所以整個(gè)生長過程就如同‘蒙眼繡花’?！瘪R康夫介紹。

把生長好的晶錠用金剛石線切成一片片圓片，再進(jìn)行研磨、拋光，就是最終的成品，這個(gè)過程對環(huán)境、工藝的要求十分苛刻。“爍科晶體碳化硅研發(fā)團(tuán)隊(duì)從研制碳化硅單晶生長爐起步，到攻克生產(chǎn)碳化硅晶片的兩大關(guān)鍵技術(shù)——晶體生長和晶片加工，歷經(jīng)10多年的艱苦探索，成功實(shí)現(xiàn)了從0到1的跨越。”馬康夫介紹，“遇到難題，大家從各自領(lǐng)域查找問題，集中力量攻關(guān)，不理出個(gè)頭緒來連飯也顧不上吃?，F(xiàn)在，爍科晶體所使用的粉料合成設(shè)備、長晶爐都是自己研發(fā)、自己生產(chǎn)的全國產(chǎn)化設(shè)備。”“全球可以制備高純度半絕緣碳化硅晶片的廠家一共有4家，爍科晶體就是其中之一。”爍科晶體總經(jīng)理李斌介紹。

2020年5月12日，習(xí)近平總書記考察調(diào)研山西綜改示范區(qū)時(shí)，在爍科晶體展臺前接過一片高純半絕緣4H-SIC單晶襯底，仔細(xì)察看后高興地說“這解決了‘卡脖子’問題”。

兩年來，在完全掌握4英寸、6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底切、磨、拋工藝的基礎(chǔ)上，爍科晶體成功研制出8英寸碳化硅晶體，實(shí)現(xiàn)了8英寸N型碳化硅拋光片的小批量生產(chǎn)。

從4英寸到6英寸再到8英寸意味著什么？“8英寸面積雖然只是6英寸的1.78倍，但芯片產(chǎn)出卻增加了90%?！瘪R康夫解釋，“這意味著成本降低了、效率提高了，但同時(shí)帶來的是生長、切割工藝難度的指數(shù)式增長?！薄跋乱徊剑覀儗⑼ㄟ^技術(shù)研發(fā)，提升碳化硅襯底的良品率、一致性、穩(wěn)定性，對標(biāo)國際領(lǐng)先水平，推動碳化硅襯底的國產(chǎn)化替代，在產(chǎn)品橫向拓展方面做一些布局，涉足氮化鋁、氧化鎵、金剛石等材料，實(shí)現(xiàn)寬禁帶半導(dǎo)體材料多元化發(fā)展?！瘪R康夫表示。

2020年5月12日上午，習(xí)近平總書記來到山西綜改示范區(qū)政務(wù)服務(wù)中心改革創(chuàng)新展廳，聽取綜改區(qū)建設(shè)和運(yùn)營情況介紹。習(xí)近平總書記強(qiáng)調(diào)，長期以來，山西興于煤、困于煤，一煤獨(dú)大導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)單一，建設(shè)轉(zhuǎn)型綜合改革示范區(qū)是黨中央賦予山西的一項(xiàng)重大任務(wù)，也是實(shí)現(xiàn)山西轉(zhuǎn)型發(fā)展的關(guān)鍵一招。山西要有緊迫感，更要有長遠(yuǎn)戰(zhàn)略謀劃，正確的就要堅(jiān)持下去，久久為功，不要反復(fù)，不要折騰，爭取早日蹚出一條轉(zhuǎn)型發(fā)展的新路子。

今年6月23日，太原市17名科技工作者沿著習(xí)近平總書記的視察足跡來到了山西綜改示范區(qū)政務(wù)服務(wù)中心改革創(chuàng)新展廳，重溫習(xí)近平總書記重要指示重要講話精神，銘記習(xí)近平總書記勉勵山西走上高質(zhì)量發(fā)展之路的諄諄囑托。

在改革創(chuàng)新展廳，一幅幅圖片、一件件展品記錄著綜改區(qū)改革不停歇的足跡，講述著企業(yè)家們創(chuàng)新不止的故事——

圣點(diǎn)世紀(jì)科技股份有限公司開發(fā)了指靜脈生物識別技術(shù)軟件平臺，技術(shù)處于國內(nèi)領(lǐng)先，可完全替代進(jìn)口。

凱賽（太原）生物材料有限公司是全球首家也是目前唯一利用生物技術(shù)大規(guī)模實(shí)現(xiàn)二元酸、生物基戊二胺和聚酰胺等產(chǎn)業(yè)化的公司，打破了國外公司對高端尼龍產(chǎn)品長達(dá)80多年的壟斷。

山西錦波生物醫(yī)藥股份有限公司是全球唯一可將人源膠原蛋白實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，重組Ⅲ型人源化膠原蛋白凍干纖維是全球首個(gè)采用人源化膠原蛋白生物新材料開發(fā)的終端標(biāo)志性產(chǎn)品……

科技工作者們問了又問、看了又看，在感到自豪的同時(shí)鼓足了前行的勇氣。

兩年多來，已有633批次、15097人次來到山西綜改示范區(qū)政務(wù)服務(wù)中心改革創(chuàng)新展廳參觀學(xué)習(xí)，切身感受轉(zhuǎn)型蹚新路的新成果、新變化。

久久為功蹚新路，踔厲奮發(fā)向未來。山西綜改示范區(qū)將深入學(xué)習(xí)貫徹習(xí)近平總書記關(guān)于科技創(chuàng)新重要論述和考察調(diào)研山西重要指示重要講話精神，深刻認(rèn)識創(chuàng)新在現(xiàn)代化建設(shè)全局中的核心地位，加大重點(diǎn)領(lǐng)域關(guān)鍵環(huán)節(jié)科技創(chuàng)新力度，在新起點(diǎn)上謀求新突破，在新征程中實(shí)現(xiàn)新發(fā)展。