拳拳報(bào)國(guó)心　創(chuàng)新永不止

宦菁

歷經(jīng)7年時(shí)間，田新帶領(lǐng)鑫華半導(dǎo)體不斷攻堅(jiān)克難，突破技術(shù)重圍，不僅填補(bǔ)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體級(jí)原材料制造的空白，還讓鑫華半導(dǎo)體躋身行業(yè)前列，成為全球半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈的重要組成部分。

2019年5月，裝載著集成電路用高純度硅料的貨船緩緩駛出港口，駛向韓國(guó)。當(dāng)日，江蘇鑫華半導(dǎo)體科技股份有限公司（下文簡(jiǎn)稱鑫華半導(dǎo)體）總經(jīng)理、協(xié)鑫集團(tuán)中央研究院副院長(zhǎng)田新雖如往常一般忙碌在研發(fā)的崗位上，但思緒卻禁不住地翻涌奔騰。1年多的時(shí)間、317次生產(chǎn)試驗(yàn)、629項(xiàng)技術(shù)和設(shè)備的優(yōu)化改進(jìn)，憑借著70%的國(guó)產(chǎn)設(shè)備，鑫華半導(dǎo)體終于系統(tǒng)性解決了集成電路用高純度硅料雜質(zhì)釋放這一業(yè)界難題，生產(chǎn)的集成電路用高純度硅料通過(guò)一系列嚴(yán)格的驗(yàn)證、檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)了小批量出口。

從數(shù)量上看，這批高純度硅料的出口似乎并不出奇，但對(duì)于在集成電路領(lǐng)域長(zhǎng)期處于“卡脖子”狀態(tài)的國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料行業(yè)而言，鑫華半導(dǎo)體的這次出口有著劃時(shí)代的意義——不僅突破了原料端徹底祛除和雜質(zhì)控制這一技術(shù)，還在全球首創(chuàng)自動(dòng)化無(wú)接觸的硅料處理系統(tǒng)，成為我國(guó)首家向國(guó)際市場(chǎng)出口集成電路用高純度多晶硅的制造企業(yè)，標(biāo)志著我國(guó)電子級(jí)多晶硅突破海外多年技術(shù)封鎖，填補(bǔ)了國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)的一項(xiàng)空白。

通過(guò)多年研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化攻關(guān)，如今的鑫華半導(dǎo)體擁有5000噸/年的電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線，已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)唯一一家產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到全球一流水平的電子級(jí)多晶硅材料供應(yīng)商，完成了中國(guó)60多年來(lái)在此領(lǐng)域未曾實(shí)現(xiàn)的突破和超越。

使命立身

時(shí)間拉回到6年前，2015年12月，協(xié)鑫集團(tuán)旗下的江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司和國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金共同投資設(shè)立了鑫華半導(dǎo)體。也是從那時(shí)起，一直在多晶硅及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域深耕的清華大學(xué)領(lǐng)軍創(chuàng)新工程博士、高級(jí)工程師田新，肩負(fù)起帶領(lǐng)鑫華半導(dǎo)體研發(fā)團(tuán)隊(duì)的責(zé)任，向著實(shí)現(xiàn)科創(chuàng)突破的目標(biāo)進(jìn)發(fā)。

“鑫華半導(dǎo)體的成立是帶著使命的，就是為了解決中國(guó)集成電路原材料電子級(jí)多晶硅完全依賴進(jìn)口、受制于人的局面?！碧镄抡f(shuō)。當(dāng)時(shí)，電子級(jí)多晶硅材料的技術(shù)完全掌握在德國(guó)、日本等國(guó)家手中，國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域的研究幾乎是一片空白。等不到，也要不到，田新和研發(fā)團(tuán)隊(duì)面對(duì)的，是幾近于空白的技術(shù)領(lǐng)域。

從零開(kāi)始，在我國(guó)電子級(jí)多晶硅理論研究和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)極度缺乏的基礎(chǔ)上，懷揣科創(chuàng)報(bào)國(guó)的使命，田新帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)通過(guò)自主研發(fā)并積極調(diào)動(dòng)和引入智能制造、先進(jìn)材料等相關(guān)領(lǐng)域的成果，主導(dǎo)研究開(kāi)發(fā)了三氯氫硅超痕量雜質(zhì)提純技術(shù)、高效化學(xué)氣相沉積工藝和無(wú)接觸一體化智能后處理系統(tǒng)等，解決了長(zhǎng)期困擾我國(guó)高純多晶硅領(lǐng)域的“卡脖子”技術(shù)難題，實(shí)現(xiàn)了對(duì)國(guó)外老牌企業(yè)的“彎道超車(chē)”。

敢為人先

作為國(guó)內(nèi)多晶硅材料研發(fā)、生產(chǎn)的龍頭，協(xié)鑫在該領(lǐng)域已有近十年的積累。站在協(xié)鑫GCL法多晶硅超大規(guī)模清潔生產(chǎn)技術(shù)的基礎(chǔ)上，立足自身核心技術(shù)體系，田新帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)對(duì)國(guó)外現(xiàn)有的先進(jìn)技術(shù)去蕪存菁，歷經(jīng)3年多時(shí)間的技術(shù)整合和研發(fā)攻關(guān)，自主構(gòu)造出“精餾提純—?dú)庀喑练e—副產(chǎn)物循環(huán)利用—產(chǎn)品自動(dòng)化處理”的閉路循環(huán)體系。在這個(gè)過(guò)程中，團(tuán)隊(duì)完成了超過(guò)600項(xiàng)的核心技術(shù)和設(shè)備的改進(jìn)、創(chuàng)新，最終形成了具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)工藝，在技術(shù)層面不再受制于人，水平比肩國(guó)際領(lǐng)軍企業(yè)。

生產(chǎn)工藝實(shí)現(xiàn)突破，但大規(guī)模生產(chǎn)線依舊是擺在田新與團(tuán)隊(duì)面前的一大難題。沒(méi)有設(shè)備，鑫華半導(dǎo)體便在引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)理念和半導(dǎo)體行業(yè)制造標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，聯(lián)合眾多國(guó)內(nèi)設(shè)備廠家共同開(kāi)發(fā)。憑著一股不服輸?shù)膭蓬^，團(tuán)隊(duì)與設(shè)備廠家不僅開(kāi)發(fā)出潔凈設(shè)備、潔凈材料，讓整個(gè)項(xiàng)目的設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率超過(guò)70%，還不斷改良工藝技術(shù)，掌握了多項(xiàng)核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)相關(guān)設(shè)備從無(wú)到有，創(chuàng)造了多個(gè)行業(yè)“首次”。

在此基礎(chǔ)上，田新帶領(lǐng)鑫華半導(dǎo)體率先在國(guó)內(nèi)建成了首條世界水平的5000噸/年電子多晶硅生產(chǎn)線。這不僅是電子級(jí)多晶硅大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化在國(guó)內(nèi)的首次亮相，更是痕量雜質(zhì)提純、高等級(jí)潔凈控制、全流程在線質(zhì)量監(jiān)控等長(zhǎng)期困擾我國(guó)高純電子級(jí)多晶硅量產(chǎn)關(guān)鍵難題的跨越和突破。鑫華半導(dǎo)體生產(chǎn)的電子多晶硅產(chǎn)品的高純特性達(dá)到了目前工業(yè)提純能實(shí)現(xiàn)的最高水平，成為國(guó)內(nèi)高端電子級(jí)多晶硅的標(biāo)桿，并實(shí)現(xiàn)6英寸到12英寸硅晶圓的全覆蓋。

人才推動(dòng)

奮斗不息，創(chuàng)新不止。踐行協(xié)鑫集團(tuán)“創(chuàng)新、創(chuàng)業(yè)、爭(zhēng)先、領(lǐng)先”精神的鑫華半導(dǎo)體，沖鋒在科技創(chuàng)新最前沿，致力于泛半導(dǎo)體材料的開(kāi)發(fā)工作，在電子級(jí)多晶硅、硅基電子特氣、第三代半導(dǎo)體材料、新能源材料、特種陶瓷材料領(lǐng)域開(kāi)展了眾多創(chuàng)新工作，取得了積極進(jìn)展。“團(tuán)隊(duì)骨干技術(shù)人員來(lái)自集成電路與工程、化學(xué)工程與工藝、應(yīng)用化學(xué)、材料學(xué)、過(guò)程裝備與控制等領(lǐng)域，大多具備10年以上的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，形成了一支結(jié)構(gòu)合理、相對(duì)穩(wěn)定、高效精干且具備國(guó)際化研究視野和技術(shù)創(chuàng)新水平的研究創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)?！睋?jù)田新介紹，團(tuán)隊(duì)目前擁有博士2人、碩士15人，江蘇省“雙創(chuàng)人才”1人、省“333高層次”人才1人及省緊缺人才多人。

作為技術(shù)和工藝的總負(fù)責(zé)人，田新不僅發(fā)表多篇專業(yè)性論文，擁有11項(xiàng)電子級(jí)多晶硅相關(guān)發(fā)明專利，獲得江蘇省智能制造專家、中國(guó)IC發(fā)展優(yōu)秀青年科學(xué)家、徐州市杰出科創(chuàng)企業(yè)家等榮譽(yù)稱號(hào)，還始終不忘肩負(fù)“科創(chuàng)報(bào)國(guó)”的使命，組織和帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)多次承擔(dān)國(guó)家級(jí)、省級(jí)高精尖縱向課題的研究，實(shí)現(xiàn)了多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域的突破。

歷經(jīng)7年時(shí)間，田新帶領(lǐng)鑫華半導(dǎo)體不斷攻堅(jiān)克難，突破技術(shù)重圍，不僅填補(bǔ)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體級(jí)原材料制造的空白，成為助推半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化的重要力量，還讓鑫華半導(dǎo)體躋身行業(yè)前列，成為全球半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈的重要組成部分。

《青商》：您認(rèn)為鑫華半導(dǎo)體能夠在電子級(jí)多晶硅技術(shù)領(lǐng)域異軍突起，源自于哪些核心競(jìng)爭(zhēng)力？

田新：我想用四點(diǎn)總結(jié)一下——

第一是機(jī)遇。在全球新一輪經(jīng)濟(jì)和國(guó)家“強(qiáng)芯”戰(zhàn)略的重大機(jī)遇下，鑫華半導(dǎo)體能夠依托協(xié)鑫集團(tuán)自身的硅材料人才、技術(shù)、研發(fā)、制造等領(lǐng)域的核心優(yōu)勢(shì)，集中力量辦大事。

第二是人才。在協(xié)鑫，人才是最寶貴的財(cái)富，對(duì)我們鑫華半導(dǎo)體來(lái)說(shuō)更是如此，人才是企業(yè)發(fā)展不斷向前的動(dòng)力。

第三是自信。人民有信仰、國(guó)家有力量。這種發(fā)自內(nèi)心、深入骨子里的文化自信，讓我們有了“不達(dá)目標(biāo)不罷休”的決心，激勵(lì)著我們奮進(jìn)。

第四是責(zé)任。正是責(zé)任感，讓鑫華半導(dǎo)體勇?lián)皣?guó)家使命”，以振興民族產(chǎn)業(yè)為己任，承擔(dān)了多項(xiàng)國(guó)家級(jí)課題，成功突破海外多年技術(shù)封鎖，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體級(jí)原材料的空白。

《青商》：當(dāng)您和團(tuán)隊(duì)在攻克技術(shù)難關(guān)時(shí)，如果久久不能成功，您的心態(tài)如何？

田新：要正確面對(duì)科研中的失敗，要有一種把科研中的失敗當(dāng)作“樂(lè)趣”的心態(tài)。當(dāng)攻克技術(shù)細(xì)節(jié)不順利或遇到意想不到的問(wèn)題時(shí)，往往是機(jī)會(huì)來(lái)臨的時(shí)候。

《青商》：是什么支撐您和團(tuán)隊(duì)一直在技術(shù)領(lǐng)域堅(jiān)持深耕？緣何能有穩(wěn)如泰山的定力？

田新：我想用一句話概括——讓打勝仗成為信仰，沒(méi)有退路就是勝利之路。

《青商》：您如何理解工匠精神？

田新：我認(rèn)為工匠精神不僅意味著內(nèi)心篤定且精于細(xì)節(jié)的執(zhí)著，更是幾十年如一日的堅(jiān)持與韌性。一個(gè)充滿活力的創(chuàng)新企業(yè)離不開(kāi)天馬行空的“才氣”，也需要腳踏實(shí)地的“匠氣”。從制造業(yè)大國(guó)向制造業(yè)強(qiáng)國(guó)轉(zhuǎn)變的過(guò)程，需要成千上萬(wàn)優(yōu)秀的產(chǎn)業(yè)工人來(lái)提升國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。弘揚(yáng)工匠精神正是契合了這一時(shí)代需求。

《青商》：您如何理解“科創(chuàng)報(bào)國(guó)”這四個(gè)字？或者說(shuō)您覺(jué)得科創(chuàng)報(bào)國(guó)的關(guān)鍵是什么？

田新：科創(chuàng)報(bào)國(guó)背后真正的含義是實(shí)現(xiàn)中華民族偉大復(fù)興夢(mèng)?？萍际菄?guó)家強(qiáng)盛之基，創(chuàng)新是民族進(jìn)步之魂?！翱萍紖f(xié)鑫、數(shù)字協(xié)鑫、綠色協(xié)鑫”，科技為什么被放在首位？我們始終將科技創(chuàng)新工作視為第一生產(chǎn)力，堅(jiān)持將大量資金投入科技研究。企業(yè)要壯大，國(guó)家要強(qiáng)盛，核心技術(shù)是“命門(mén)”。這是要不來(lái)、買(mǎi)不來(lái)、討不來(lái)的，靠的只能是自己！