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    切削高溫合金用涂層的研究進(jìn)展

    2022-04-19 08:09:20季思源萬維財(cái)彭卓豪劉子京秦運(yùn)王宗元王杰黃淙
    工具技術(shù) 2022年2期
    關(guān)鍵詞:磁控濺射抗氧化性電弧

    季思源,萬維財(cái),彭卓豪,劉子京,秦運(yùn),王宗元,王杰,黃淙

    西華大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院

    1 引言

    隨著制造業(yè)的快速發(fā)展,高速切削和干式切削技術(shù)也得到了快速提升,對(duì)硬質(zhì)合金刀具涂層的硬度、耐磨性、抗氧化性和熱穩(wěn)定性提出了更高的要求[1]。例如,在高速切削高溫合金時(shí),刀具涂層在切削熱應(yīng)力作用下,切削刀具的溫度可升至上千攝氏度。在這種狀態(tài)下,刀具涂層的組織結(jié)構(gòu)以及物理化學(xué)性能會(huì)發(fā)生劇烈變化,高溫破壞涂層致使涂層發(fā)生軟化,其膜基結(jié)合力以及切削性能會(huì)急劇下降,涂層甚至?xí)l(fā)生脫落,硬質(zhì)合金刀具失去涂層的保護(hù)后會(huì)快速失效[2]。因此,有必要提高刀具涂層的抗氧化性和熱穩(wěn)定性,使硬質(zhì)合金刀具在高效率、高質(zhì)量切削的同時(shí),延長其使用壽命。

    目前,國內(nèi)外學(xué)者已對(duì)刀具涂層進(jìn)行了大量的試驗(yàn)研究工作,并在高溫合金切削領(lǐng)域取得巨大突破和進(jìn)展。在制備技術(shù)不斷改進(jìn)的同時(shí),刀具涂層的種類也在發(fā)生著快速的更新?lián)Q代,朝著多元、多層、多梯度且趨于納米化的方向快速發(fā)展[3]。

    2 制備方法

    化學(xué)氣相沉積法 (CVD) 和物理氣相沉積法 (PVD) 是目前刀具涂層制備技術(shù)應(yīng)用中最為廣泛的方法[4]。CVD技術(shù)需要較高的壓力和溫度(450~1200℃),與PVD相比,幾乎所有類型的CVD技術(shù)都具有更高的沉積溫度和氣壓[5]。雖然20世紀(jì)80年代開發(fā)出了中溫化學(xué)氣相沉積(MTCVD)技術(shù),但MTCVD技術(shù)的涂層沉積溫度仍高達(dá)700~900℃[6]。同時(shí),CVD技術(shù)沉積涂層后產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體和殘留氣體具有一定毒性,會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的環(huán)境污染。以上缺點(diǎn)都限制了化學(xué)氣相沉積技術(shù)的應(yīng)用。CVD和PVD方法的特點(diǎn)對(duì)比如表1所示。

    表1 CVD和PVD特點(diǎn)對(duì)比

    PVD物理氣相沉積是在真空條件下通過物理過程(如物質(zhì)的蒸發(fā)或表面原子在受到粒子轟擊時(shí)發(fā)生濺射等),實(shí)現(xiàn)物質(zhì)原子轉(zhuǎn)變?yōu)槌练e涂層。該技術(shù)因工藝溫度低、對(duì)環(huán)境友好、涂層成分和涂層結(jié)構(gòu)可控而廣泛應(yīng)用于鉆頭、絲錐以及車削、銑削、焊接和其它工具表面涂層。

    PVD技術(shù)主要包括蒸發(fā)鍍、濺射鍍和離子鍍?nèi)箢?,其中只有濺射鍍和離子鍍被廣泛應(yīng)用于刀具涂層制備。在應(yīng)用PVD技術(shù)制備刀具涂層的過程中,較低的沉積溫度(350~600℃,甚至低至150℃)提高了刀具的切削性能和使用壽命。如今,單一PVD技術(shù)已不能很好解決高速切削帶來的問題,采用復(fù)合PVD技術(shù)結(jié)合不同方法和適當(dāng)?shù)募庸ろ樞蚰軌颢@得具有優(yōu)質(zhì)綜合性能的刀具涂層。

    2.1 磁控濺射技術(shù)

    磁控濺射技術(shù)是20世紀(jì)70年代開始發(fā)展的新型濺射涂層制備技術(shù),具有成膜速率快、沉積速率高、操作方便、膜層厚度均勻且致密等優(yōu)勢。

    基本原理為:在真空環(huán)境下,向腔室內(nèi)通入一定量的惰性保護(hù)氣體(通常為氬氣),利用輝光放電過程,形成具有極高能量的粒子對(duì)靶材表面進(jìn)行轟擊,通過轉(zhuǎn)化高能粒子能量和動(dòng)量,將靶材中的原子及其它粒子激發(fā)形成濺射離子,在電場作用下,這些濺射粒子沉積到基體材料表面,形成固態(tài)薄膜[7]。圖1為磁控濺射原理。

    圖1 磁控濺射原理 [8]

    磁控濺射基于電流主要分為直流磁控濺射沉積(DCMS)、射頻磁控濺射沉積和脈沖磁控濺射沉積技術(shù)(HiPIMS)等。相較于電弧離子鍍,其主要缺陷為靶材離化率較低(約10%),在反應(yīng)濺射過程中容易發(fā)生“靶中毒”,出現(xiàn)生產(chǎn)效率較低和涂層力學(xué)性能不理想(硬度較低,膜基結(jié)合較差)的情況[9]。靶材的選擇也具有多樣性,金屬、合金和陶瓷材料等都可作為靶材。

    非平衡磁控濺射技術(shù)誕生于 20 世紀(jì) 80 年代并迅速發(fā)展,在常規(guī)平衡磁控濺射基礎(chǔ)上通過改變磁場分布,在穩(wěn)定放電的同時(shí)極大提高了鍍膜區(qū)域等離子體的濃度,使鍍膜的精度和性能大大提高。非平衡磁控濺射的靶材離化率與等離子體密度均顯著提升,產(chǎn)生“離子鍍”效果,使磁控濺射技術(shù)能夠更好應(yīng)用在工業(yè)生產(chǎn)中。

    2.2 電弧離子鍍技術(shù)

    離子鍍技術(shù)由 Mattox D.M.[10]于1963 年開發(fā)。離子鍍的工作原理是在特定的真空環(huán)境下,氣體或者電弧放電使靶材蒸發(fā)離化,蒸發(fā)物或反應(yīng)產(chǎn)物形成的氣相離子在轟擊作用下擴(kuò)散沉積到基體表面并形成固態(tài)薄膜。目前應(yīng)用的離子鍍技術(shù)主要包括:活性反應(yīng)蒸鍍離子鍍、空心陰極離子鍍、感應(yīng)加熱離子鍍和電弧離子鍍(AIP)等,應(yīng)用最成功的是電弧離子鍍[11]。圖2為陰極電弧離子鍍原理。

    1.電子束源 2.氬氣 3.反應(yīng)物氣體 4.基體材料5.靶材 6.正極 7.電弧放電 8.真空泵

    電弧離子鍍技術(shù)的主要優(yōu)點(diǎn)包括靶材離化率高(一般為50%~90%)、致密性耐久度好和沉積效率高等[13]。同時(shí),電弧離子鍍也存在一些技術(shù)缺陷,如電弧能量密度高,金屬靶材表面容易產(chǎn)生大顆粒熔滴,熔滴沉積至基體時(shí)會(huì)破壞涂層結(jié)構(gòu)平整性并導(dǎo)致膜基結(jié)合力下降,大顆粒熔滴還會(huì)污染薄膜;靶材需具有導(dǎo)電性,限制了靶材的選擇范圍,減少了可沉積涂層的種類;電弧離子鍍所沉積的涂層具有較大的殘余應(yīng)力[14]。

    2.3 新型制備技術(shù)

    PVD涂層的性能主要由其微觀結(jié)構(gòu)決定,而微觀結(jié)構(gòu)又取決于涂層的化學(xué)成分和相變化,涂層制備工藝在其中起主導(dǎo)作用,因此,改良制備工藝可以極大優(yōu)化涂層性能[15]。為了獲得高度電離的濺射材料,高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。HiPIMS是脈沖磁控濺射的一種,其峰值功率比傳統(tǒng)磁控濺射高2~3個(gè)數(shù)量級(jí)。高電離特性可以提供致密化和表面光滑性更顯著的微觀結(jié)構(gòu),這使化合物涂層的機(jī)械性能、黏附程度、摩擦性能和熱穩(wěn)定性得到有效提升[16,17]。與傳統(tǒng)磁控濺射和離子鍍相比,較低的沉積速率和較差的放電可控性是HiPIMS進(jìn)一步工業(yè)發(fā)展的主要障礙。國外研究人員通過混合HiPIMS和DCMS(直流磁控濺射)來克服純HiPIMS技術(shù)的缺點(diǎn),即由直流放電產(chǎn)生等離子體,在HiPIMS點(diǎn)火電壓開啟前的預(yù)電離階段保持較低密度且點(diǎn)火電壓更低,從而可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定和無弧的沉積過程[18]。德國艾默康公司首次在工業(yè)涂層設(shè)備CC800上實(shí)現(xiàn)了混合HiPIMS/DCMS技術(shù)的商業(yè)化。圖3為CC800中混合HiPIMS/DCMS涂層系統(tǒng)。

    圖3 HiPIMS/DCMS涂層系統(tǒng) [19]

    當(dāng)電弧離子鍍和磁控濺射鍍均無法完美滿足需求時(shí),結(jié)合二者優(yōu)點(diǎn)發(fā)展出更優(yōu)越的涂層制備方法成為必然。20世紀(jì)90年代初,荷蘭Hauzer涂層公司開始嘗試結(jié)合兩種技術(shù),開發(fā)Hauzer Techno Coating(HTC) 1000- 4 ABS(arc bond sputtering)涂層設(shè)備,并工業(yè)化生產(chǎn)TiN硬質(zhì)涂層[20]。航天部511所也成功設(shè)計(jì)出多弧磁控濺射復(fù)合鍍設(shè)備[21]。采用電弧離子轟擊基體材料,使用濺射沉積獲得優(yōu)良的膜基結(jié)合力和較低的殘余應(yīng)力,進(jìn)而提高涂層的高溫性能。通過電弧/濺射復(fù)合沉積技術(shù),利用磁控濺射Si靶,分別與Ti、Cr、TiAl及CrAl等電弧靶進(jìn)行復(fù)合沉積,制備出具有納米復(fù)合結(jié)構(gòu)的超硬耐磨涂層,增強(qiáng)刀具的性能并提高其壽命。

    在過去幾十年中,PVD技術(shù)發(fā)展迅速。刀具涂層的工況環(huán)境也更加復(fù)雜和極端,切削高溫合金時(shí),刀具不僅需要承受極高的應(yīng)力載荷,還要面對(duì)1000℃左右的高溫環(huán)境,磨料磨損、黏結(jié)磨損、化學(xué)磨損、熱疲勞和氧化等都是導(dǎo)致涂層失效的主要因素。新的涂層制備方法應(yīng)向提高涂層質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率和減低成本的目標(biāo)前進(jìn)?;诜瞧胶獯趴貫R射的HiPIMS技術(shù)已經(jīng)成為當(dāng)今研究的熱點(diǎn),在商業(yè)化應(yīng)用中也取得不錯(cuò)進(jìn)展。其中S3p和 HI3 技術(shù)都是將磁控濺射技術(shù)、陰極電弧技術(shù)和 HiPIMS 技術(shù)結(jié)合在一起,都有著不錯(cuò)的優(yōu)化效果。雖然復(fù)合技術(shù)的應(yīng)用還在發(fā)展,但HiPIMS和其它磁控濺射或電弧蒸發(fā)工藝的結(jié)合給未來新型材料涂層的制備帶來更多可能。

    3 切削高溫合金用涂層

    隨著加工制造業(yè)的蓬勃發(fā)展,具有優(yōu)良綜合性能的高溫合金需求急劇增大,但加工艱難是其面臨的主要問題。其加工難點(diǎn)主要有:①高溫合金硬度高,所需切削力大,且高溫合金中存在較多的化合物硬質(zhì)點(diǎn),容易導(dǎo)致刀具崩刃;②高溫合金強(qiáng)度較高,切削過程中會(huì)產(chǎn)生大量切削熱,高溫合金導(dǎo)熱系數(shù)僅為普通鋼的1/3,熱量無法及時(shí)散出,因此產(chǎn)生很高的切削溫度;③加工硬化現(xiàn)象嚴(yán)重,切削后表面硬度可增至基體的1~2倍。

    面對(duì)以上困難,硬質(zhì)合金刀具涂層逐步向著高硬度、良好化學(xué)穩(wěn)定性、高溫抗氧化性和優(yōu)良高溫?zé)岱€(wěn)定性發(fā)展。涂層成分和結(jié)構(gòu)也隨之更新,其元素組成開始多元化,涂層層數(shù)開始增加,微觀結(jié)構(gòu)由柱狀晶結(jié)構(gòu)趨于納米化。

    3.1 TiN系涂層

    20世紀(jì)80年代,TiN系涂層被成功研制,作為第一個(gè)被大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化的刀具涂層,至今仍然被廣泛使用。TiN涂層具有高硬度(HV2000)、高韌性、化學(xué)穩(wěn)定性好等特點(diǎn),同時(shí)熱膨脹系數(shù)與高速鋼相近,與高速鋼的膜基結(jié)合效果好,在一般的切削、鉆孔、銑削加工中有著很高的價(jià)值,制造工藝多為離子鍍[22]。但TiN涂層的抗氧化溫度低于550℃,在此溫度下會(huì)形成疏松的TiO2,使涂層性能急劇下降,嚴(yán)重影響了TiN涂層的廣泛應(yīng)用。

    (1)TiAlN涂層

    通過向TiN涂層中添加Al元素形成性能更優(yōu)的TiAlN涂層,與TiN相比,涂層硬度得到提升(HV2800),摩擦系數(shù)更小,熱導(dǎo)率更低。尤其是高溫抗氧化性得到提升,其抗氧化溫度提升至800℃[23]。利用高溫下產(chǎn)生的Al2O3保護(hù)膜,可保護(hù)涂層不被繼續(xù)氧化[24]。當(dāng)0.5≤x≤0.6時(shí),Ti1-xAlxN的力學(xué)性能和熱穩(wěn)定性最好,當(dāng)Al元素的原子數(shù)分?jǐn)?shù)大于70%時(shí),出現(xiàn)的ω-AlN會(huì)導(dǎo)致涂層性能急劇下降[25]。圖4為TiAlN涂層表面SEM顯微形貌,可以看出涂層表面均勻致密且光滑。

    在快速切削高溫合金等材料時(shí),刀具溫度會(huì)升至1000℃以上,這時(shí),TiAlN涂層的性能也不能很好滿足加工需求。為了獲得硬度更高、摩擦系數(shù)更小及高溫下更穩(wěn)定的涂層,國內(nèi)外研究人員通過向TiAlN中加入Si、Cr、V、Y、Zr、La和B等元素提升涂層性能,尤其是抗氧化性和熱穩(wěn)定性[27]。

    圖4 TiAlN涂層表面SEM顯微形貌[26]

    (2)TiAlSiN涂層

    通常認(rèn)為,加入Si元素能提高TiAlN涂層的抗氧化性能和耐磨性能,Si元素可以促進(jìn)Al形成氧化膜保護(hù)涂層,延緩銳鈦礦型TiO2向金紅石型TiO2轉(zhuǎn)變,減少了疏松TiO2的形成,同時(shí)Si元素也能形成氧化層保護(hù)刀具。

    張而耕等[28]利用多弧離子鍍技術(shù)制備了TiAlN和TiAlSiN涂層,進(jìn)行氧化對(duì)比實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),800℃時(shí)TiAlN涂層幾乎完全被破環(huán),生成TiO2和Al2O3且基體元素也發(fā)生氧化;TiAlSiN涂層在800℃時(shí)表面保存完整,雖然存在TiO2、Al2O3和SiO2三種氧化物,但并無基體元素氧化物,說明涂層并沒有被完全破壞,并且繼續(xù)升高溫度,TiAlSiN涂層對(duì)基體仍然有保護(hù)作用。王桂陽[29]通過磁控濺射制備了TiAlN和TiAlSiN涂層,對(duì)其性能進(jìn)行對(duì)比發(fā)現(xiàn),薄膜硬度由3700HV增長到4300HV,Si原子起到了強(qiáng)化晶界和細(xì)化晶粒的作用。涂層抗氧化溫度也增至900℃,在Al2O3保護(hù)的基礎(chǔ)上,Si原子在晶界形成的Si3N4阻止了氧化進(jìn)一步加深。劉辭海[30]制備了不同Si元素含量的TiAlSiN涂層,并與TiAlN涂層進(jìn)行了切削高溫合金性能對(duì)比,圖5為不同刀具涂層切削高溫合金壽命曲線。從圖中可看出,TiAlSiN涂層刀具的耐磨性及使用壽命明顯優(yōu)于無涂層刀具和TiAlN涂層刀具,其中Ti0.45Al0.45Si0.10N涂層刀具的切削性能及壽命最為優(yōu)良。

    Mori T.等[31]研究表明,與TiAlN相比,通過電弧離子鍍形成的TiAlSiN顯現(xiàn)出了更優(yōu)的抗氧化性和硬度,當(dāng)Si元素的原子數(shù)分?jǐn)?shù)為4.78%時(shí),膜層硬度提高到35GPa,1000℃在空氣中退火2h后,TiAlSiN薄膜仍然保持完整形貌,對(duì)基體刀具起到良好的保護(hù)作用。Chen Li[32]等在研究Si元素原子數(shù)分?jǐn)?shù)為8%的TiAlSiN涂層時(shí)發(fā)現(xiàn),Si元素提高了涂層的抗氧化能力,TiAlN涂層在830℃時(shí)已經(jīng)被完全破壞,在添加Si元素后溫度升至920℃時(shí)涂層才出現(xiàn)明顯氧化現(xiàn)象。分析認(rèn)為,Si元素促進(jìn)Al2O3形成的同時(shí),抑制了銳鈦礦TiO2向金紅石TiO2轉(zhuǎn)變,這是涂層耐氧化溫度提高的主要原因。

    圖5 不同刀具涂層切削高溫合金壽命曲線圖 [30]

    雖然添加Si元素使TiAlN涂層的硬度、耐磨性以及熱穩(wěn)定性得到提升,并且其綜合切削性能得到大幅提升,但TiAlSiN涂層也存在著較大殘余應(yīng)力且膜基結(jié)合力較差的缺點(diǎn)。通過優(yōu)化涂層結(jié)構(gòu)可以很好地解決上述問題,例如采用多梯度設(shè)計(jì),利用過渡涂層提高膜基結(jié)合力,或者添加其它元素形成多元多層復(fù)合涂層。

    (3)TiAlCrN和TiAlZrN

    向TiAlN中添加Cr元素也能在保證涂層高硬度的同時(shí)提高其抗氧化性。王賽玉等[33]研究發(fā)現(xiàn),TiAlCrN涂層在1000℃時(shí)的氧化產(chǎn)物中含有少量的 Cr2O2.4,說明Cr元素在氧向涂層內(nèi)部擴(kuò)散中具有明顯阻礙作用,體現(xiàn)了TiAlCrN 涂層優(yōu)異的高溫抗氧化能力。1000℃氧化后,氧化層內(nèi)部會(huì)生成富含Al2O3和Cr氧化物的氧化層,提高了涂層中貧Al區(qū)的抗氧化性能,并與Al2O3形成(Al,Cr)2O3,阻止氧向內(nèi)擴(kuò)散,使添加Cr元素后的TiAlN涂層抗氧化能力得到提高。Fernandes F.等[34]通過使用WC鉆頭鉆孔來對(duì)比TiAlN涂層和TiAlCrN涂層的切削性能,在100m/min的測試速度下,TiAlCrN涂層的切削表現(xiàn)明顯優(yōu)于TiAlN涂層。主要原因在于,高溫滑動(dòng)摩擦過程中形成Cr-O摩擦層的潤滑性能優(yōu)于TiAlN涂層形成的Al、Ti氧化物,導(dǎo)致含Cr涂層的摩擦性能更加優(yōu)良。Xu Y.X.等[35]通過直流磁控濺射制備出了TiAlN涂層和不同Cr含量的TiAlCrN涂層,對(duì)比高溫抗氧化性能發(fā)現(xiàn),當(dāng)溫度為850℃時(shí),不含Cr元素的TiAlN涂層已經(jīng)完全氧化形成多孔氧化皮,而TiAlCrN涂層因?yàn)樾纬闪酥旅?、黏附、具有保護(hù)性能的氧化層,所以都能承受850℃高溫氧化20h,氧化層中Al和Cr元素均勻分布,厚度為0.7μm;當(dāng)溫度升至900℃時(shí),不同含Cr元素涂層的抗氧化性能有著顯著的差異,含Cr元素較低的涂層Ti0.35Al0.42Cr0.23N和Ti0.29Al0.36Cr0.35N已經(jīng)完全被氧化,而含Cr元素高的Ti0.26Al0.33Cr0.41N和Ti0.24Al0.29Cr0.47N能夠承受900℃高溫氧化20h。Sui Xudong[36]在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了進(jìn)一步實(shí)驗(yàn),研究發(fā)現(xiàn),TiAlCrN在600℃和800℃時(shí)都無明顯氧化,當(dāng)氧化溫度升至1000℃時(shí),低Cr涂層嚴(yán)重氧化而高Cr涂層仍保持優(yōu)異的抗氧化性。對(duì)低Cr涂層Ti0.32Al0.38Cr0.30N而言,致密富鋁氧化層變?yōu)槭杷刹贿B續(xù)的富鈦鋁氧化層是其抗氧化性差的主要原因。然而,Ti0.17Al0.19Cr0.64N因其致密且連續(xù)的富鉻氧化層可以很好限制Ti原子向表面擴(kuò)散,同時(shí)限制O原子向內(nèi)部擴(kuò)散。圖6為Ti0.32Al0.38Cr0.30N和Ti0.17Al0.19Cr0.64N在1000℃氧化后的橫截面形貌。

    (a)Ti0.32Al0.38Cr0.30N

    (b)Ti0.17Al0.19Cr0.64N

    與Cr元素相同,Zr元素添加到TiAlN涂層中也可以顯著提高涂層的硬度、熱穩(wěn)定性和抗氧化能力。TiAlZrN硬度通常能超過40GPa,并且相較于Cr、Y、V和Nb元素更加便宜,但是在700~800℃時(shí),TiAlZrN涂層的高溫性能卻會(huì)變差,反而溫度升至850℃以上時(shí),其高溫性能會(huì)進(jìn)一步大幅提升,優(yōu)于TiAlCrN涂層。

    Chen Li等[37]研究了添加ZrN對(duì)TiAlN涂層結(jié)構(gòu)和抗氧化性的影響,發(fā)現(xiàn)在700℃和800℃時(shí),TiAlZrN涂層的抗氧化性能變差,這是因?yàn)閆r元素對(duì)O元素的親和力較高導(dǎo)致抗氧化性降低,且ω-AlN的形成以及沉積態(tài)TiAlZrN涂層晶粒尺寸過小促進(jìn)了氧的擴(kuò)散;在850℃以上時(shí),含Zr元素涂層抗氧化性卻得到良好改善,850℃和900℃氧化10h后的TiAlN涂層已經(jīng)完全氧化,而TiAlZrN顯現(xiàn)出了更好的抗氧化性,Zr元素延緩銳鈦礦型TiO2向金紅石型鈦酸鹽轉(zhuǎn)變,并且促進(jìn)了致密Al2O3的生成,這些因素過度補(bǔ)償了Zr元素對(duì)O元素的高親和力以及對(duì)ω-AlN的影響,從而提高了涂層的高溫性能。Braic V.等[38]采用陰極電弧技術(shù)在高速鋼鉆頭上沉積了雙層的TiAlN/TiAlZrN涂層,以提高刀具的干切削能力,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,單層TiAlN和TiAlZrN涂層的鉆頭壽命提高1.5~1.8倍,且TiAlZrN涂層壽命更長,而TiAlN/TiAlZr復(fù)合涂層鉆頭壽命能提高2.1~2.3倍。劉慧君等[39]通過陰極弧蒸發(fā)制備了Ti0.55Al0.45N、Ti0.45Al0.48Zr0.07N和Ti0.45Al0.49Cr0.06N,對(duì)比研究了摻雜Zr元素和Cr元素對(duì)TiAlN涂層結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和高溫性能的影響。研究結(jié)果表明,Ti0.55Al0.45N,Ti0.45Al0.48Zr0.07N和Ti0.45Al0.49Cr0.06N涂層的硬度分別為(28.6±0.9)GPa,(31.9±0.9)GPa和(31.0±0.9)GPa,Ti0.45Al0.48Zr0.07N和Ti0.45Al0.49Cr0.06N的斷裂韌性明顯優(yōu)于Ti0.55Al0.45N。Ar氣保護(hù)氣高溫退火實(shí)驗(yàn)則表明,Zr元素的加入使ω-AlN形成溫度由1100℃上升至1200℃,而Cr元素的加入使ω-AlN形成溫度降低至1000℃,說明Zr元素提高了TiAlN涂層的熱穩(wěn)定性,而Cr元素卻降低了熱穩(wěn)定性能,其原因是加入Cr元素促進(jìn)了調(diào)幅分解生成的亞穩(wěn)相向其穩(wěn)定相轉(zhuǎn)變。在后續(xù)的高溫氧化實(shí)驗(yàn)中,800℃氧化30h后,Ti0.45Al0.48Zr0.07N的抗氧化性因?yàn)門iZrO4的形成而降低,氧化膜厚度約為1.26μm,較Ti0.55Al0.45N(1.01μm)和Ti0.45Al0.49Cr0.06N(0.33μm)厚;在850℃氧化30h后,Ti0.45Al0.48Zr0.07N涂層在其余兩種涂層均完全氧化的狀況下仍保持完整的涂層形貌,并表現(xiàn)出更好的抗氧化性能。圖7為Ti0.55Al0.45N,Ti0.45Al0.48Zr0.07N和Ti0.45Al0.49Cr0.06N涂層在850℃氧化30h后的橫斷面形貌。

    圖7 涂層在850℃氧化30h后的橫斷面形貌 [39]

    3.2 稀土元素的影響

    稀土元素在傳統(tǒng)表面改性中起重要作用,能有效提高表面硬度、耐磨性、疲勞強(qiáng)度、膜基結(jié)合力以及高溫性能。因此在制備過程中,硬質(zhì)合金刀具涂層可以以固態(tài)稀土靶材的形式引入稀土元素。目前,國內(nèi)外在刀具涂層中主要引入Y元素和Ce元素,原因是二者原子半徑幾乎相等,性質(zhì)基本相同。

    劉大勇[40]和王寶健[41]通過添加稀土元素Ce提高了TiAlN涂層性能,膜基結(jié)合力提高5~10N,磨損試驗(yàn)中磨痕寬度相應(yīng)減少,耐磨性提高,高溫試驗(yàn)則表明稀土元素Ce明顯提升了涂層的抗氧化性,Ce元素優(yōu)先與氧結(jié)合形成致密氧化物,阻礙氧擴(kuò)散;同時(shí)Ce元素固溶于Al2O3中,提高了其附著能力,因此切削過程中含Ce元素涂層的壽命提升20%。Qia Z.B.等[42]采用復(fù)合靶濺射制備ZrYN涂層,其原因是Y元素與作為活性元素的O元素的高親和力可以有效提高涂層的抗氧化性。S.Domínguez-Meister等[43]通過物理氣相沉積法沉積的Cr1-xAlxN涂層在高溫環(huán)境下會(huì)生成致密且黏附的Al和Cr2O的混合氧化皮,能夠極好地抑制O元素向涂層內(nèi)部擴(kuò)散,即便Al元素含量較低時(shí),也能在900℃的溫度下提供優(yōu)良的抗氧化性。同時(shí),向其中引入Y元素能夠大幅提高在極限溫度以上的耐熱性和抗氧化性,使分解開始溫度提高至1100℃。Liu Shiyu等[44]研究發(fā)現(xiàn),在800℃時(shí),CrAlYN涂層的氧化層主要由Cr2O3組成,且當(dāng)Y元素的摻雜水平為0.5%時(shí),具有最好的抗氧化性;在1100℃時(shí),氧化層為Cr2O3和Al2O3競爭生長,當(dāng)Y元素的摻雜水平為2%時(shí),具有最好的抗氧化性;但隨著Y元素含量增加,涂層的硬度開始降低,這與氮化鋁和氮化鉻界面形成的半非結(jié)晶層有關(guān)。

    3.3 多層涂層

    雖然多元涂層能夠明顯提升刀具的切削性能,但是多元涂層與硬質(zhì)合金基體的結(jié)合力往往很低,很容易導(dǎo)致涂層過早失效,設(shè)置過渡層可緩沖應(yīng)力和阻斷應(yīng)力。多元多層結(jié)構(gòu)不僅可以解決膜基結(jié)合力低的問題,并且能結(jié)合不同涂層的特點(diǎn),使涂層的硬度、韌性、抗高溫性能和耐磨性均優(yōu)于單層涂層。

    鐘星[45]制備的AlCrN/AlCrSi(Y)N多層涂層經(jīng)過1100 °C恒溫氧化2h后發(fā)現(xiàn),其多層納米涂層的抗氧化性能均優(yōu)于單層的AlCrN、AlCrSiN和AlCrYN涂層。肖白軍[46]利用電弧離子鍍的方法制備了AlCrN/AlTiSiN多層涂層,在鈦合金切削實(shí)驗(yàn)中,相比AlCrN和AlTiSiN涂層刀具,多層涂層刀具切削力和切削溫度最小,表面加工質(zhì)量最好,并且使用壽命提高兩倍以上,因此多層結(jié)構(gòu)明顯提高了涂層的熱穩(wěn)定性和抗氧化性,AlCrN/AlTiSiN多層涂層在1100℃才析出弱化相ω-AlN,相比單層涂層提高了200℃。Li Guodong等[47]為了提高硬質(zhì)合金刀具TiAlSiN涂層在切削加工Inconel718鎳基高溫合金時(shí)的性能,引入Ti元素作為中間層制備多層涂層(TiAlSiN為8層,每層厚度270nm,Ti為7層,相互交替,表面為TiAlSiN)。如圖8所示,Ti層的引入顯著改善了TiAlSiN涂層的高脆性,改善程度隨Ti層厚度變化而變化,當(dāng)Ti層厚度為25nm時(shí)韌性最佳,切削實(shí)驗(yàn)也表明,Ti層的引入使涂層表現(xiàn)出更好的切削性能,多層結(jié)構(gòu)明顯提升了涂層韌性,減輕了Inconel718合金加工時(shí)析出硬質(zhì)相帶來連續(xù)沖擊載荷的影響,提高了涂層壽命。

    圖8 TiAlSiN/Ti多層涂層結(jié)構(gòu)[48]

    為了提高TiAlN涂層在高溫快速切削時(shí)的性能,Zhang Quan等[48]交替沉積了AlTiN/AlCrSiN多層膜,AlTiN/AlCrSiN多層涂層呈面心立方結(jié)構(gòu),具有細(xì)小柱狀晶。相比TiAlN涂層在800℃的劇烈氧化,AlTiN/AlCrSiN多層涂層在800℃幾乎沒有氧化層,當(dāng)加熱至1000℃時(shí)才形成0.3μm致密氧化膜,并且在高速干式切削中,AlTiN/AlCrSiN多層涂層使用壽命也有所提高。

    4 結(jié)語

    本文從涂層制備方法和涂層種類兩個(gè)方面歸納總結(jié)切削高溫合金用涂層,分析總結(jié)了制備方法和涂層性能在國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀。在切削高溫合金的復(fù)雜工況中,高硬度與高耐磨性僅是刀具涂層能正常使用的基礎(chǔ),而高溫抗氧化性與熱穩(wěn)定性才是刀具涂層的切削效率和使用壽命的決定性因素。目前,可以從以下幾點(diǎn)出發(fā)來提高涂層的熱穩(wěn)性。

    (1)摻雜與O元素親和力高的元素(例如Si、Cr、Zr和Y元素等),生成致密氧化膜保護(hù)基體的同時(shí),抑制了ω-AlN相和TiO2等疏松氧化相的形成。

    (2)引入過渡涂層,制備多層梯度涂層,并使單層涂層厚度趨于納米化,汲取各單層涂層的優(yōu)點(diǎn),在提升膜基結(jié)合力的同時(shí)提升涂層的高溫性能。

    (3)改進(jìn)涂層制備技術(shù),結(jié)合各種技術(shù)優(yōu)點(diǎn),研發(fā)新型復(fù)合沉積技術(shù),制備出具有納米復(fù)合結(jié)構(gòu)的超硬耐高溫涂層。

    總體來說,切削高溫合金用涂層的設(shè)計(jì)正朝著多元多層的方向發(fā)展,且各單一膜層的厚度也趨于納米化。同時(shí),結(jié)合制備技術(shù)來提升涂層性能也是研究熱點(diǎn)之一。此外,突破現(xiàn)有理論框架,開發(fā)新型超硬耐高溫涂層也是未來研究的熱門方向。

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