陳 雷,潘 松,徐張凡
(南京航空航天大學(xué),南京 210016)
超聲波電動(dòng)機(jī)是一種新概念的微特電機(jī)。超聲波電動(dòng)機(jī)利用壓電材料的逆壓電效應(yīng),讓定子振動(dòng)在超聲頻域內(nèi),通過(guò)摩擦耦合將定子的振動(dòng)轉(zhuǎn)化為轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)或動(dòng)子的直線運(yùn)動(dòng)。由于超聲波電動(dòng)機(jī)具有較新的原理和結(jié)構(gòu),與傳統(tǒng)電磁電機(jī)相比具有響應(yīng)快、噪聲小、低速大轉(zhuǎn)矩、易控制和不受電磁干擾等優(yōu)點(diǎn),因此超聲波電動(dòng)機(jī)在航空航天、仿生機(jī)械、醫(yī)療器械等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用[1-5]。
目前的超聲波電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)技術(shù)使得超聲波電動(dòng)機(jī)展示了其特殊優(yōu)越性,但是這些驅(qū)動(dòng)技術(shù)主要是按電機(jī)的速度、力矩作為指標(biāo)設(shè)計(jì)的,驅(qū)動(dòng)電壓較大,電機(jī)運(yùn)行的穩(wěn)定性、效率有待進(jìn)一步提高。鑒于此,在超聲波電動(dòng)機(jī)現(xiàn)有的驅(qū)動(dòng)技術(shù)基礎(chǔ)之上,應(yīng)向提高驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)整體效率的方向發(fā)展[6]。
超聲波電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)控制器的體積相對(duì)電機(jī)而言較大,在實(shí)際應(yīng)用中受到很大的限制。因此,要將超聲波電動(dòng)機(jī)商品化,必須使驅(qū)動(dòng)、控制系統(tǒng)小型化[7]。
對(duì)于驅(qū)動(dòng)器而言,超聲波電動(dòng)機(jī)是一個(gè)容性負(fù)載,這對(duì)驅(qū)動(dòng)器提出了一些特殊要求。常規(guī)旋轉(zhuǎn)行波超聲波電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)為兩相相差90°的正弦信號(hào),頻率為30 kHz~50 kHz,電壓峰峰值在100~600 V。國(guó)內(nèi)外開(kāi)發(fā)的驅(qū)動(dòng)器普遍采用正弦信號(hào)直接放大方案和脈寬調(diào)制(PWM)逆變式驅(qū)動(dòng)方案[8]。
在正弦信號(hào)直接放大方案中,信號(hào)發(fā)生器和大型功率放大器直接產(chǎn)生兩路高壓具有相位差的正弦信號(hào)來(lái)驅(qū)動(dòng)超聲波電動(dòng)機(jī)。大型功率放大器和信號(hào)發(fā)生器均具有較大體積,只適用于實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行實(shí)驗(yàn)探究[9]。
在PWM逆變式驅(qū)動(dòng)方案中,PWM發(fā)生器生成四路頻率可變、相位互差90°的PWM波信號(hào),功率放大/匹配電路將4路PWM信號(hào)放大產(chǎn)生兩相相差90°的正弦功率信號(hào)[10]。脈寬調(diào)制逆變式驅(qū)動(dòng)方案中,方波信號(hào)在被功率放大/匹配電路放大和濾波成正弦功率信號(hào)時(shí)引入了大量低次諧波,波形容易失真,能量在功率放大和濾波過(guò)程中有較大的損耗。
本文從驅(qū)動(dòng)器小型化和減小驅(qū)動(dòng)信號(hào)失真的角度出發(fā),以嵌入式微處理器為核心,基于有源濾波器和Class-D(D類)功率放大芯片,研究了一種新型高性能超聲波電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)方案?;谟性礊V波器的正弦信號(hào)發(fā)生器,能產(chǎn)生諧波分量較小的正弦信號(hào),并具有較小的體積。理論上Class-D功率放大的效率高達(dá)90%,輸出信號(hào)為單極性SPWM差分信號(hào),諧波分量較PWM波更小,可以提供失真度更小的驅(qū)動(dòng)波形,提高驅(qū)動(dòng)器能量轉(zhuǎn)化效率[11]。
為滿足超聲波電動(dòng)機(jī)對(duì)驅(qū)動(dòng)器的要求,提出了如圖1所示的驅(qū)動(dòng)方案。采用數(shù)字信號(hào)處理(DSP)芯片為控制核心,設(shè)計(jì)了新型驅(qū)動(dòng)器。該芯片產(chǎn)生兩路頻率可調(diào)的相位差為90°的PWM波,并為MAX295芯片提供高頻時(shí)鐘信號(hào)?;贛AX295的正弦信號(hào)發(fā)生器將兩路PWM波轉(zhuǎn)化為兩路相位差為90°正弦信號(hào)。Class-D功率放大芯片TPA3116D2將兩路信號(hào)轉(zhuǎn)化為兩組差分SPWM波。通過(guò)變壓器將兩組SPWM波升壓,最后通過(guò)匹配電路產(chǎn)生正弦功率信號(hào),從而實(shí)現(xiàn)電機(jī)起停、正反轉(zhuǎn)及調(diào)頻調(diào)速的功能。
圖1 驅(qū)動(dòng)器硬件框圖
有源濾波器MAX295芯片是Maxim公司的八階巴特沃斯濾波器。巴特沃斯濾波器為一種有源低通濾波器,工作原理為濾除方波信號(hào)中頻率高于截止頻率的諧波分量,得到與方波信號(hào)頻率相等的正弦信號(hào),并提供無(wú)功補(bǔ)償。八階巴特沃斯濾波器可以等效為如圖2所示的基本梯形濾波器電路結(jié)構(gòu)。
圖2 等效基本梯形濾波器電路結(jié)構(gòu)
巴特沃斯濾波器的特點(diǎn)是頻率響應(yīng)曲線在通頻帶和阻頻帶內(nèi)都很平坦,過(guò)渡帶較長(zhǎng),通過(guò)增加濾波器階數(shù)可以有效減小過(guò)渡帶長(zhǎng)度。
有源濾波器MAX295芯片的3 dB截止頻率范圍為0.1 Hz~50 kHz,時(shí)鐘頻率對(duì)3 dB截止頻率的比為50∶1。旋轉(zhuǎn)行波環(huán)形超聲波電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)頻率范圍為37 kHz~45 kHz,最高驅(qū)動(dòng)頻率小于50 kHz,因此,嵌入式處理器的時(shí)鐘信號(hào)滿足MAX295的時(shí)鐘頻率要求,MAX295產(chǎn)生的正弦波信號(hào)可滿足驅(qū)動(dòng)頻率要求。
該正弦信號(hào)發(fā)生器的電路圖和實(shí)物圖如圖3和圖4所示。時(shí)鐘信號(hào)和兩路相位差為90°的PWM波均由DSP芯片提供,時(shí)鐘信號(hào)和PWM波頻率比保持為50∶1,可以調(diào)節(jié)可調(diào)電阻來(lái)得到不同幅值的正弦信號(hào)。正弦信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生的正弦波信號(hào)如圖5所示。
圖3 正弦信號(hào)發(fā)生器電路圖(單相)
圖5 兩相正弦信號(hào)波形
時(shí)鐘信號(hào)的頻率、PWM波的頻率和相位可通過(guò)嵌入式處理器的寄存器值配置來(lái)調(diào)節(jié)。通過(guò)調(diào)節(jié)可調(diào)電阻對(duì)輸出信號(hào)分壓,實(shí)現(xiàn)對(duì)正弦信號(hào)幅值的調(diào)節(jié)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,該正弦信發(fā)生器具有較好的信號(hào)參數(shù)調(diào)節(jié)性能。
功率放大電路基于Class-D音頻芯片設(shè)計(jì),采用TI公司雙通道50 W的模擬輸入音頻功放芯片TPA3116D2。
TPA3116D2具有左右兩路聲道,可為超聲波電動(dòng)機(jī)的兩相提供輸出信號(hào)。信號(hào)輸入端支持單端或差分輸入,本文采用單端輸入的方式。在信號(hào)輸入端使用電容濾除正弦信號(hào)中的直流分量。芯片內(nèi)部通過(guò)控制開(kāi)關(guān)元件的通斷產(chǎn)生兩組SPWM差分波形[12]。該芯片作為音頻功放芯片,輸出信號(hào)的頻率為20 Hz~22 kHz,TRUM-40電機(jī)最高驅(qū)動(dòng)頻率為45 kHz左右,實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,該款芯片也可以提供30 kHz~50 kHz的正弦信號(hào)輸出,能夠滿足超聲波電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)要求。該芯片的載波頻率調(diào)節(jié)范圍為400 kHz~1 200 kHz,滿足過(guò)采樣要求。本文采用的參數(shù)為載波頻率400 kHz,功率增益26 dB。
根據(jù)選擇的參數(shù),功率放大電路的電路圖和實(shí)物圖如圖6和圖7所示。
圖6 功率放大電路原理圖
圖7 功率放大電路實(shí)物圖
在輸入頻率為43 kHz,峰峰值為400 mV的正弦信號(hào)時(shí),單通道輸出的兩路SPWM的差分信號(hào)如圖8所示。圖9為兩路差分信號(hào)差分得到的單極性SPWM波。根據(jù)面積等效原理,不同窄脈沖面積相同且形狀不同時(shí),其在慣性環(huán)節(jié)的輸出波形基本相同,低頻段非常接近,僅在高頻段略有差異[10]。對(duì)于超聲波電動(dòng)機(jī),單極性的SPWM波可等效為圖9中虛線所示的正弦波。
圖8 TPA3116D2單通道輸出差分信號(hào)
圖9 TPA3116D2單通道輸出的相對(duì)電位差
在音頻功放芯片的輸出端,通常采用LC低通濾波,來(lái)濾除SPWM波中的二次和三次諧波。本方案利用超聲波電動(dòng)機(jī)本身的容性負(fù)載和變壓器副邊漏感構(gòu)成低通濾波器,將SPWM波濾成正弦波。
根據(jù)TRUM-40電機(jī)15 W的功率、40 kHz的驅(qū)動(dòng)頻率以及300~400 V的峰峰值驅(qū)動(dòng)電壓等參數(shù)要求,設(shè)計(jì)了變比為1∶15和1∶20的變壓器。表1為變壓器選用參數(shù)。
表1 變壓器設(shè)計(jì)參數(shù)
匹配電路主要用于濾波和無(wú)功補(bǔ)償。在PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器中,超聲波電動(dòng)機(jī)為容性負(fù)載,可以串聯(lián)電感構(gòu)成低通濾波器,濾掉PWM波中的三次諧波和五次諧波等高次諧波分量,有效地改善輸出電壓和電流的波形,但PWM波的諧波分量較大,能量損失較高。SPWM波形主要諧波分量為二次諧波和三次諧波[13],且增益較小,在本方案中只需利用變壓器副邊漏感即可構(gòu)成低通濾波器,能量損失更小。TRUM-40電機(jī)和副邊漏感組成的電路仍然呈容性,需要進(jìn)一步設(shè)計(jì)匹配模塊,提高驅(qū)動(dòng)器效率。
圖10為Class-D驅(qū)動(dòng)方案的單相匹配電路。LT為變壓器副邊漏感,Rm和Cm為超聲波電動(dòng)機(jī)的等效負(fù)載,LT和Cm構(gòu)成了低通濾波器;Lm為并聯(lián)匹配電感,用于補(bǔ)償無(wú)功功率。
圖10 Class-D音頻功放驅(qū)動(dòng)方案單相匹配電路
使用阻抗分析儀測(cè)量待匹配電路的阻抗,然后計(jì)算,使電路呈現(xiàn)阻性所需的并聯(lián)匹配電感值。由于阻抗分析儀只能測(cè)出電路在低電壓下的阻抗特性,和工作狀態(tài)下電路的阻抗特性有較大區(qū)別,因此本文還需要對(duì)匹配電感的電感值進(jìn)一步修正。使用可調(diào)電感進(jìn)行調(diào)試匹配,當(dāng)電機(jī)空載轉(zhuǎn)速穩(wěn)定在60 r/min時(shí),選取電源電流最小時(shí)的電感。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,TRUM-40電機(jī)的匹配電感值為4.2 mH~4.5 mH。
超聲波電動(dòng)機(jī)作為驅(qū)動(dòng)器的負(fù)載,當(dāng)電機(jī)工作在共振和反共振頻率附近時(shí)可以近似等效為電容與電阻的并聯(lián)[14]。PWM逆變式驅(qū)動(dòng)方案需要電機(jī)工作頻率與LC匹配電路諧振頻率接近,其電路等效模型如圖11所示。
圖11 PWM逆變式驅(qū)動(dòng)方案等效電路圖
圖11中,電感L和電容C構(gòu)成LC諧振網(wǎng)絡(luò)。電阻Rm和電容Cm為超聲波電動(dòng)機(jī)的等效負(fù)載。超聲波電動(dòng)機(jī)的功率主要由方波的基波控制,它必須由LC諧振網(wǎng)絡(luò)和電機(jī)負(fù)載共同作用才能產(chǎn)生正弦波。在恒壓驅(qū)動(dòng)條件下,當(dāng)電機(jī)負(fù)載特性發(fā)生變化時(shí),超聲波電動(dòng)機(jī)兩端的真正電壓較高,且電壓對(duì)負(fù)載變化較敏感,導(dǎo)致電機(jī)振動(dòng)特性變化。這些電路特性難以實(shí)現(xiàn)較好的匹配電路。
基于Class-D音頻功放的驅(qū)動(dòng)方案,其電路等效模型如圖12所示。
圖12 Class-D音頻功放驅(qū)動(dòng)方案等效電路圖
圖12中,Llk為變壓器副邊漏感,Lma為并聯(lián)匹配電感。驅(qū)動(dòng)波形為差分SPWM波,諧波分量較方波更小,使用變壓器漏感和電機(jī)的容性負(fù)載即可構(gòu)成LC低通濾波網(wǎng)絡(luò),產(chǎn)生正弦波驅(qū)動(dòng)電機(jī)。當(dāng)電機(jī)負(fù)載特性發(fā)生變化時(shí),AB兩點(diǎn)之間電壓不會(huì)發(fā)生明顯變化,對(duì)負(fù)載變化不敏感。這些特性更有利于匹配電路的設(shè)計(jì),產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)波形具有更小的諧波分量。
單極性SPWM波的重要參數(shù)包括調(diào)制波頻率和載波頻率,載波頻率與調(diào)制波頻率之比(載波比)較小會(huì)導(dǎo)致SPWM波中的諧波分量較大。載波比最大值受嵌入式處理器的硬件限制。在本文中,調(diào)制波可近似認(rèn)為頻率等于電機(jī)驅(qū)動(dòng)頻率的正弦波,載波為頻率400 kHz的雙極性等腰三角波。單極性SPWM輸出波形數(shù)學(xué)表達(dá)式如下[15]:
(1)
式中:Uo為調(diào)制正弦波;uc為雙極性等腰三角波;Ud為SPWM波峰峰值。設(shè)置電機(jī)驅(qū)動(dòng)頻率為40 kHz,使用Simulink仿真軟件對(duì)該參數(shù)下的單極性SPWM波進(jìn)行頻譜分析,分析結(jié)果如圖13所示。仿真結(jié)果顯示單極性SPWM波的主要諧波分量為二次諧波和三次諧波,二次諧波的幅值相當(dāng)于基波幅值的50%,三次諧波的幅值相當(dāng)于基波幅值的40%。
圖13 單極性SPWM波頻譜分析仿真結(jié)果
單極性SPWM波經(jīng)過(guò)LC低通濾波網(wǎng)絡(luò)后,得到的電機(jī)驅(qū)動(dòng)波形的頻譜分析結(jié)果如圖14所示。二次諧波幅值相對(duì)于基波幅值的百分比從50%下降至10%,三次諧波幅值相對(duì)于基波幅值的百分比從40%下降至5%,產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)波形較為接近正弦波形。
圖14 電機(jī)驅(qū)動(dòng)波形頻譜分析仿真結(jié)果
雖然PWM波的主要諧波分量(三次諧波、五次諧波)的增益比單極性SPWM波稍小,但是PWM逆變式驅(qū)動(dòng)方案的功率放大電路容易在開(kāi)關(guān)管開(kāi)閉時(shí)引入更大的諧波分量;PWM逆變驅(qū)動(dòng)方案的匹配電路對(duì)匹配電感及電容的精確度要求更高;功率方波經(jīng)過(guò)濾波后,驅(qū)動(dòng)波形的諧波分量比SPWM波更大。綜上所述,Class-D音頻功放驅(qū)動(dòng)方案電路更容易實(shí)現(xiàn),驅(qū)動(dòng)波形諧波分量更小。
使用PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器和Class-D方案驅(qū)動(dòng)器對(duì)同一臺(tái)TRUM-40電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)實(shí)驗(yàn),從輸出波形和電機(jī)性能兩方面對(duì)兩種方案進(jìn)行比較。
圖15為使用PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器的TRUM-40電機(jī)在70 r/min轉(zhuǎn)速下的驅(qū)動(dòng)電壓波形,電源電壓為12 V,頻率為43 kHz,此時(shí)電源電流約為0.5 A。通過(guò)示波器的FFT功能可見(jiàn),驅(qū)動(dòng)信號(hào)中還有較多諧波分量,主要為三次和五次諧波等高次諧波,僅三次諧波就達(dá)到23 dB。除此之外,還含有大量高次諧波。
(a) 輸出波形
(b) 輸出波形FFT分析
圖16為Class-D驅(qū)動(dòng)方案的輸出波形,電源電壓為12 V,驅(qū)動(dòng)電壓峰峰值為240 V,此時(shí)電機(jī)可正常起動(dòng)。波形在波峰波谷處有較小失真。通過(guò)示波器的FFT功能對(duì)波形分析可看出,主要諧波分量是增益為7.5 dB左右的二次和三次諧波,和一些增益較小的高頻諧波,明顯比PWM逆變式的諧波分量少。
(a) 輸出波形
(b) 輸出波形FFT分析
驅(qū)動(dòng)電壓峰峰值上升至300 V時(shí),電機(jī)的電壓波形如圖17所示。當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓峰峰值增大時(shí),波形失真變化程度較小。電機(jī)轉(zhuǎn)速達(dá)到70 r/min,電源電流為0.4 A左右,Class-D驅(qū)動(dòng)方案比PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器的電源電流小0.1 A左右。通過(guò)示波器的FFT功能對(duì)輸出波形進(jìn)行分析可見(jiàn),諧波分量與峰峰值240 V的輸出波形的諧波分量類似,主要還是二次和三次諧波,增益略有提升,達(dá)到9 dB。
(a) 輸出波形
(b) 輸出波形FFT分析
為了進(jìn)一步減少驅(qū)動(dòng)波形中的諧波分量以及改善電流波形,可以進(jìn)一步調(diào)節(jié)由變壓器漏感和電機(jī)容性負(fù)載所構(gòu)成的低通濾波器的時(shí)間常數(shù),改善濾波效果,也可以將SPWM波的載波頻率提高至1.2 MHz,提高信噪比,使驅(qū)動(dòng)信號(hào)更加平滑。
對(duì)兩種驅(qū)動(dòng)方案的輸出轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)矩進(jìn)行測(cè)試。電源電壓都為12 V,電機(jī)驅(qū)動(dòng)頻率選用41 kHz,測(cè)試結(jié)果如圖18所示。
兩種方案的輸出轉(zhuǎn)矩和轉(zhuǎn)速相差較小,輸出功率基本相同。PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電機(jī)的空載電流為0.58 A,堵轉(zhuǎn)電流為0.65 A;Class-D方案驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電機(jī)的空載電流為0.38 A,堵轉(zhuǎn)電流0.47 A。在輸出功率相同的條件下,Class-D方案驅(qū)動(dòng)器的電源功率均比PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器小,Class-D方案的驅(qū)動(dòng)器對(duì)電能的轉(zhuǎn)化效率明顯高于PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器的轉(zhuǎn)化效率。
圖18 PWM逆變方案與Class-D方案輸出轉(zhuǎn)矩和轉(zhuǎn)速對(duì)比
PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器在功率放大電路中使用了開(kāi)關(guān)管,電機(jī)工作時(shí)發(fā)熱現(xiàn)象嚴(yán)重,在環(huán)境溫度不太高時(shí)就需要配備散熱片來(lái)散熱。
在Class-D方案中,TPA3116D2也具有較大的發(fā)熱量,功率放大電路的電流值容易受溫度影響,因此在高低溫實(shí)驗(yàn)箱中測(cè)量了Class-D方案驅(qū)動(dòng)器在不同環(huán)境溫度下驅(qū)動(dòng)TRUM-40電機(jī)的空載電流,檢驗(yàn)該驅(qū)動(dòng)器能否在較高環(huán)境溫度下正常工作。電機(jī)工作狀態(tài)參數(shù)為驅(qū)動(dòng)電壓峰峰值330 V,頻率41 kHz,測(cè)量電機(jī)工作20 min后,測(cè)得的電源電流數(shù)據(jù)如圖19所示。
圖19 Class-D方案驅(qū)動(dòng)器在不同環(huán)境溫度下電源電流曲線
實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示,Class-D方案驅(qū)動(dòng)器在TPA3116D2芯片沒(méi)有加裝散熱片的情況下,其空載電源電流對(duì)環(huán)境溫度不敏感,在芯片工作溫度范圍內(nèi),空載電流穩(wěn)定在0.37~0.39 A。該驅(qū)動(dòng)器具有較好的熱穩(wěn)定性,更適合應(yīng)用在一些工作環(huán)境較為惡劣的場(chǎng)合。
從驅(qū)動(dòng)電路的復(fù)雜程度來(lái)看,Class-D方案驅(qū)動(dòng)器需要額外的正弦信號(hào)發(fā)生器,但是其功率放大電路只需一片TPA3116D2芯片,電路結(jié)構(gòu)比PWM逆變驅(qū)動(dòng)方案更簡(jiǎn)單。
從驅(qū)動(dòng)器輸出波形來(lái)看,Class-D方案驅(qū)動(dòng)器的輸出波形失真較小,更接近正弦波;PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器的輸出波形在波峰波谷處失真明顯,主要諧波為三次諧波和五次諧波等高次諧波,且增益較大。
從驅(qū)動(dòng)器效率來(lái)看,兩種方案驅(qū)動(dòng)器分別驅(qū)動(dòng)電機(jī),輸出功率相同時(shí),Class-D方案的電源功率更小,其效率明顯高于PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器。
兩種驅(qū)動(dòng)器的綜合性能對(duì)比如表2所示。
表2 兩種驅(qū)動(dòng)器的性能對(duì)比
本文基于有源濾波器和Class-D功率放大芯片,設(shè)計(jì)了一種新型超聲波電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)方案,用于驅(qū)動(dòng)超聲波電動(dòng)機(jī)。使用DSP和MAX295芯片得到兩路相位差為90°的正弦信號(hào),再通過(guò)基于Class-D功率放大芯片TPA3116D2的功率放大電路和相應(yīng)的變壓器進(jìn)行功率和電壓放大并直接用于驅(qū)動(dòng)超聲波電動(dòng)機(jī),最后通過(guò)并聯(lián)匹配電感對(duì)電機(jī)進(jìn)行無(wú)功補(bǔ)償。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,與傳統(tǒng)的PWM逆變式驅(qū)動(dòng)器相比,本驅(qū)動(dòng)方案具有諧波分量小、體積小、效率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。同時(shí),本文驅(qū)動(dòng)方案可進(jìn)一步優(yōu)化,有效提高超聲波電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)性能,減小超聲波電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器的體積。