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    三維Saddle FET的溫度特性仿真及量子仿真驗(yàn)證

    2018-10-30 01:38:22夏正亮
    微處理機(jī) 2018年5期
    關(guān)鍵詞:擺幅場(chǎng)效應(yīng)晶體管

    夏正亮,劉 溪

    (沈陽工業(yè)大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院,沈陽110870)

    1 引言

    隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,在提高產(chǎn)品性能的同時(shí),縮小產(chǎn)品體積也是近年來的主要發(fā)展方向之一,而最直接的方法之一就是縮小基本器件單元的尺寸。為了提高器件的集成度,減小單個(gè)微納器件尺寸,有很多的科研團(tuán)隊(duì)通過深入研究提出了各種新的器件結(jié)構(gòu),其中無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管就是最有發(fā)展前景的器件類型之一[1-2]。無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在簡(jiǎn)單的工藝制作流程和較好的電學(xué)特性[3-6]。此后研究人員又提出了多柵結(jié)構(gòu),包括最開始的雙柵結(jié)構(gòu),以及后來出現(xiàn)的各種三維結(jié)構(gòu)如FinFET、I形柵無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管、Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管以及H形柵無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管等[7-8]。然而隨著器件尺寸的不斷縮小,相應(yīng)的,很多負(fù)面反應(yīng),如短溝道效應(yīng),ION-IOFF比降低和器件在不同溫度、壓力等環(huán)境下性能不穩(wěn)定等狀況相繼出現(xiàn)。其中,Saddle和H型柵無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管等是部分團(tuán)隊(duì)近年來為了保證器件在集成度不降低的情況下保持較好的電學(xué)特性而提出的新型無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu),其主要相似處在于U形溝道的設(shè)計(jì),使得器件集成度提高的同時(shí)保持了有效溝道長(zhǎng)度,同時(shí)通過設(shè)計(jì)柵極的位置、形狀等來增強(qiáng)對(duì)溝道的控制能力,從而提高器件的性能[9]。

    基于上述現(xiàn)狀,本研究針對(duì)相同極限尺寸(溝道寬度5nm)下,新型Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管與已經(jīng)比較成熟的FinFET在溫度變化時(shí)各自的電學(xué)性能及穩(wěn)定情況,進(jìn)行對(duì)比分析,同時(shí)運(yùn)用量子模型仿真展開驗(yàn)證,以避免在過小尺度下經(jīng)典仿真出現(xiàn)較大的誤差。

    2 無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)

    FinFET和Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的器件結(jié)構(gòu)分別如圖1(a)和圖1(b)所示。所有器件結(jié)構(gòu)圖均使用Silvaco TCAD軟件中的Devedit3D工具繪制。

    圖1 兩種無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)圖

    FinFET和Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的器件仿真參數(shù)如表1所示,兩個(gè)器件各對(duì)應(yīng)參數(shù)尺寸大小相同。

    表1 仿真參數(shù)

    3 經(jīng)典仿真分析

    為了研究FinFET和Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管在不同溫度下的電學(xué)特性,分別選取溫度變量為300K、340K和380K,用到的仿真模型有Thomas(ANALYTIC)、Arora's Model(ARORA)、Shockley Read Hall(SRH)、Auger(AUGER)、Concentration dependent lifetime SRH(CONSRH)、Band Gap Narrowing(BGN)以及帶帶隧穿模型(bbt.std)等。所有仿真通過軟件Silvaco TCAD中的deckbuild工具完成,仿真結(jié)果如圖2所示。

    圖2 經(jīng)典仿真結(jié)果

    圖2中的(a)、(b)、(c)分別是 FinFET 和 Saddle 無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管在不同溫度下的線性特性曲線、亞閾值擺幅和ION-IOFF比,不難看出隨著溫度的上升,器件的反向泄漏電流呈增大趨勢(shì),而正向?qū)娏鞒氏陆第厔?shì),導(dǎo)致ION-IOFF比降低;同時(shí)亞閾值擺幅SS也在增大,說明溫度的上升會(huì)導(dǎo)致器件的工作性能下降。在器件尺寸如此小的情況下,F(xiàn)inFET的反向泄漏電流比Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管大近3個(gè)數(shù)量級(jí),兩者正向電流相差不大,導(dǎo)致FinFET的ION-IOFF比要比Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管低3個(gè)數(shù)量級(jí)左右;同時(shí)FinFET的亞閾值擺幅也比Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管大很多,說明具有更大的有效溝道長(zhǎng)度的Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管在極限尺寸下可能有更好的電學(xué)特性。

    4 量子仿真驗(yàn)證

    為驗(yàn)證在極限尺寸下經(jīng)典仿真的準(zhǔn)確性,設(shè)計(jì)用量子仿真來檢測(cè)FinFET和Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管在不同溫度下的特性,需要在原有經(jīng)典模型基礎(chǔ)上添加的量子物理模型有The Bohm Quantum Potential(bqp.n)、hcte和費(fèi)米(fermi、fermi.ni)。仿真結(jié)果如圖3所示。

    圖3中的(a)、(b)、(c)分別是量子仿真下 FinFET和Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管在不同溫度下的線性特性曲線、亞閾值擺幅和ION-IOFF,對(duì)比圖2可以看出,量子仿真下兩種器件的線性特性都有所下降,尤其是亞閾值擺幅SS比經(jīng)典仿真要大得多。其中FinFET的正向和反向電流均有增大,Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管只有正向?qū)娏髟龃螅移鋪嗛撝禂[幅SS增大相對(duì)較小。

    圖3 量子仿真結(jié)果

    仿真對(duì)比實(shí)驗(yàn)的結(jié)果說明,在溝道寬度僅5nm的極限尺寸下,器件中的工作電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)已經(jīng)偏離經(jīng)典范圍較大,需要考慮量子效應(yīng),進(jìn)行量子仿真來檢測(cè)器件的性能。隨著溫度的升高,兩種器件亞閾值會(huì)增大,而ION-IOFF比會(huì)減小,其中有效溝道較長(zhǎng)的Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管受影響相對(duì)較小。

    5 結(jié)束語

    對(duì)Saddle無結(jié)場(chǎng)效應(yīng)晶體管器件在極限尺寸5nm溝道寬度下的溫度特性做了上述仿真分析,通過與相同尺寸的FinFET結(jié)構(gòu)對(duì)比仿真,發(fā)現(xiàn)新型Saddle場(chǎng)效應(yīng)晶體管在高集成度的極限尺寸下依然可以保留比較好的電學(xué)特性,并且在溫度較高環(huán)境下也只受輕微的影響。同時(shí)也證明了在溝道寬度不大于5nm情況下,經(jīng)典仿真結(jié)果已經(jīng)具有較大誤差,量子效應(yīng)不能忽略,應(yīng)添加量子模型進(jìn)行修正,以完成更為精確的仿真。

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