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    不同制造工藝銅箔電爆驅(qū)動飛片能力

    2015-05-10 00:55:57付秋菠沈瑞琪
    含能材料 2015年8期
    關(guān)鍵詞:飛片磁控濺射銅箔

    郭 菲, 付秋菠, 王 窈, 王 猛, 黃 輝, 沈瑞琪

    (1. 南京理工大學(xué)化工學(xué)院, 江蘇 南京 210094; 2. 中國工程物理研究院, 四川 綿陽 621999)

    1 引 言

    爆炸橋箔是沖擊片雷管的核心部件,高壓脈沖電流通過時,迅速產(chǎn)生膨脹的高溫高壓等離子體,驅(qū)動飛片在炮筒中加速,高速撞擊炸藥使其爆轟,實現(xiàn)沖擊片雷管的功能。爆炸橋箔材料直接影響到?jīng)_擊片雷管的性能及使用,因此,用于爆炸橋箔的材料應(yīng)具有良好的電爆性能,且加工方便,成本可控。目前,用于沖擊片雷管爆炸橋箔的材料主要為銅。銅箔的制造工藝很多,例如蒸發(fā)[1]、磁控濺射[2]、壓延[3]、電鍍[4]等,但是目前用于沖擊片雷管的銅箔制造工藝主要為蒸發(fā)(evaporation)和磁控濺射(sputtering)[5-6]兩種。蒸發(fā)和磁控濺射都屬于物理氣相沉積(physical vapor deposition,PVD)。不同的銅箔制造工藝,在微觀上會影響銅箔的晶體結(jié)構(gòu),進而影響到銅箔的電爆性能[7],但是對于蒸發(fā)銅箔和磁控濺射銅箔對驅(qū)動飛片能力的影響卻并沒有相關(guān)的研究報道。

    為此,本研究通過電子束蒸發(fā)和磁控濺射兩種薄膜沉積工藝制備了銅箔,分析對比了其顯微晶體結(jié)構(gòu)、電阻、電阻率以及沉積速率等; 研究了爆炸橋箔在不同起爆電壓條件下電爆驅(qū)動飛片的速度,并進行了起爆六硝基茋-Ⅳ的閾值實驗,從微觀和宏觀上討論這兩種銅箔在電爆驅(qū)動飛片能力方面的差異。

    2 實驗部分

    2.1 制備工藝

    研究分別選用電子束蒸發(fā)、磁控濺射兩種工藝制備了樣品。

    電子束蒸發(fā)的設(shè)備為成都真空機械廠定制的ZZS680電子束真空鍍膜機,本底真空度為2×10-3Pa,電子槍功率10 kW。

    磁控磁控濺射的設(shè)備為JGP560型超高真空多功能磁控磁控濺射儀,靶材為99.99%的Cu靶,基片與靶距離約為13 cm。本底真空度優(yōu)于1.2×10-4Pa,工作氣體Ar的壓強為0.3 Pa,氣體流量約為80~90 sccm。基底溫度為300 ℃。

    2.2 實 驗

    采用電子束蒸發(fā)、磁控濺射兩種工藝,在陶瓷基底上制備銅箔,并進行XRD測試。

    將銅箔光刻成如圖1所示的蝴蝶形爆炸橋箔,與飛片、炮筒裝配成實驗組件,進行飛片速度測試。將爆炸橋箔和飛片、炮筒、六硝基茋-Ⅳ藥柱裝配成沖擊片雷管,進行起爆閾值實驗。

    圖1爆炸橋箔形狀

    Fig.1Shape of exploding bridge foil

    2.3 實驗條件

    X射線粉末衍射儀(XRD)為德國Bruker公司D8 Advance型,使用萬特一維陣列探測器,中低溫樣品臺,管電壓40 kV,管電流40 mA; 掃描范圍5°~50°,步長為0.02°,步速為0.1 s/step。光子多普勒測速系統(tǒng)(PDV)為自制非標(biāo)系統(tǒng)。起爆閾值實驗采用GJB377-1987《感度實驗用升降法》進行實驗和評估。

    3 結(jié)果與討論

    3.1 XRD測試結(jié)果及分析

    圖2為電子束蒸發(fā)銅箔和磁控濺射銅箔的XRD測試結(jié)果。

    圖2兩種工藝所得銅箔的XRD圖譜

    Fig.2XRD of copper foil obtained by the process of e-beam evaporated deposition and magnetron sputtering

    從圖2可以看出,兩種工藝制造的銅箔均為結(jié)晶態(tài),其中磁控濺射銅箔的Cu(111)晶面擇優(yōu)取向程度較高,形成較強的Cu(111)結(jié)構(gòu)。 由于擇優(yōu)生長會減小晶粒間的內(nèi)應(yīng)力,增強界面效應(yīng),增加了晶界電阻; 同時Cu(111)晶面有良好的抗電遷移能力,也增加了晶界電阻。晶界電阻的增加,有利于金屬在電爆過程中的能量轉(zhuǎn)換,可提高飛片的速度[8]; 另一方面,在Cu(111)晶面上,磁控濺射銅箔的衍射峰半峰寬更寬,根據(jù)謝樂(Scherrer)公式[9],表明磁控濺射銅箔的晶粒尺寸更小。晶粒尺寸越小,薄膜的比表面積越大,表面自由能大,材料再融化需要的能量越低,也越有利于銅箔的引爆。因此在電爆方面,磁控濺射法制造的銅箔應(yīng)優(yōu)于電子束蒸發(fā)法制造的銅箔。

    3.2 電阻率及電阻

    按圖3所示的四探針法測得了兩種工藝銅箔的電阻,并計算其電阻率,結(jié)果見表1。

    從表1可以看出,磁控濺射銅箔的電阻率比電子束蒸發(fā)銅箔電阻率高17%,對于相同尺寸的橋箔而言,電子束蒸發(fā)銅箔的電阻也相應(yīng)會小于磁控濺射銅箔的電阻。根據(jù)文獻[8]的數(shù)值模擬結(jié)果可知,當(dāng)起爆回路參數(shù)固定以后,橋箔電阻對飛片速度的影響呈正比例,即相同尺寸的橋箔,其電阻越大,驅(qū)動飛片能力越強,飛片的終態(tài)速度會越大。因此,分析認為,磁控濺射銅箔驅(qū)動飛片的能力應(yīng)優(yōu)于電子束蒸發(fā)銅箔。

    圖3四探針電阻測量圖示(mm)

    Fig.3Schematic diagram of four-point probe measurement method(mm)

    表1兩種工藝所得銅箔的銅箔電阻及電阻率

    Table1Resistance and resistivity of copper foil obtained by two process

    processresistance/mΩresistivity/Ω·mmagnetronsputtering341.81×10-8e?beamevaporateddeposition291.54×10-8

    3.3 沉積速率

    為了對比兩種工藝的沉積速率,分別沉積了(4000±100)nm厚的銅箔,測試其所需時間,計算平均沉積速率,結(jié)果見表2。

    表2兩種工藝所得銅箔的沉積速率

    Table2Deposition rate of copper foil obtained by two process

    processthickness/nmdepositiontime/saveragedepositionrate/nm·s-1magnetronsputtering4000±1004159.6±0.2e?beamevaporateddeposition4000±10010004±0.1

    從表2可以看出,沉積4000 nm厚的銅箔,磁控濺射工藝需要415 s(約7 min),而電子束蒸發(fā)工藝需要的時間為1000 s(約17 min),磁控濺射工藝的平均沉積速率約為電子束蒸發(fā)工藝的2.4倍。以此可以看出,磁控濺射工藝沉積鍍膜的制造效率要遠高于電子束蒸發(fā)工藝,在實際使用中,磁控濺射工藝的經(jīng)濟性也優(yōu)于電子束蒸發(fā)工藝。

    3.4 驅(qū)動飛片能力實驗及分析

    分別采用電子束蒸發(fā)和磁控濺射工藝將銅箔沉積在陶瓷塞上,然后光刻成如圖1所示的爆炸橋箔,再與飛片、炮筒按圖4所示裝配成實驗用的沖擊片組件。所有實驗件參數(shù)除因制造工藝造成的爆炸橋箔材質(zhì)不同外,其余零部件參數(shù)完全相同,詳見表3。采用南京理工大學(xué)的光子多普勒測試系統(tǒng)(PDV)[10]分別在1.5,2.0 kV和3.0 kV起爆電壓條件下進行了電子束蒸發(fā)銅箔和磁控濺射銅箔的電爆炸驅(qū)動飛片實驗,并測試了飛片的速度歷程。圖5所示的實驗系統(tǒng)中,電容為0.22 μF,光纖為OZ公司生產(chǎn)的單模光纖(SN: 146796-10)。

    表3速度測試實驗件參數(shù)

    Table3Parameter of flyer in velocity measurement

    sizeofexplodingbridgefoil/mmflyerthickness/mmflyerdiameter/mmbarrelthickness/mm0.4×0.4×0.0040.05Φ0.50.4

    分析處理不同起爆電壓條件下兩種工藝的飛片速度歷程曲線如圖6所示。從圖6可以看出,在同一起爆電壓條件下,在最初的0~4×10-7s的時間內(nèi),飛片速度都會有迅速的爬升; 4×10-7s之后,飛片都會達到一個最大速度,并維持這一速度繼續(xù)飛行。隨著起爆電壓的增加,飛片能達到的最大速度也在增加,在3.0 kV的起爆電壓條件下,兩種工藝制備的爆炸橋箔都驅(qū)動飛片達到了約4000 m·s-1的速度。

    圖4沖擊片組件結(jié)構(gòu)示意圖

    1—殼體, 2—炮筒, 3—飛片, 4—陶瓷塞(含爆炸橋箔)

    Fig.4Diagram of slapper assembly

    1—shell; 2—barrel; 3— flyer; 4—header(including exploding bridge foil)

    圖5PDV測試原理示意圖

    Fig.5Principle diagram of PDV system

    a. 1.5 kVb. 2.0 kVc. 3.0 kV

    圖6兩種工藝制備銅箔驅(qū)動飛片的速度歷程

    Fig.6Comparison of velocity histories of flyer at different firing voltages

    在相同電壓條件下,磁控濺射工藝的爆炸橋箔驅(qū)動飛片達到的最大速度都要略大于電子束蒸發(fā)工藝的爆炸橋箔,如圖7所示; 但是差距不大,均為0.1~0.2 km·s-1之間。分析認為,磁控濺射工藝的爆炸橋箔在驅(qū)動飛片能力方面略強于電子束蒸發(fā)工藝的爆炸橋箔,但是優(yōu)勢并不明顯。

    圖7兩種工藝銅箔驅(qū)動飛片在不同電壓下的最大速度

    Fig.7Comparison of maximum velocity of two kinds of flyers at different firing voltage

    3.5 起爆六硝基茋實驗

    將參數(shù)如表3所示的爆炸橋箔和飛片、炮筒、六硝基茋-Ⅳ藥柱裝配成沖擊片雷管,按照GJB377-1987《感度實驗用升降法》進行了升降法實驗。實驗裝置電容為0.22 μF,六硝基茋-Ⅳ藥柱尺寸為Φ5 mm×4 mm,密度1.55 g·cm-3。實驗結(jié)果見表4。

    從表4可以看出,在起爆六硝基茋-Ⅳ的能力方面,磁控濺射工藝的爆炸橋箔50%發(fā)火電壓(U50%)和99.9%發(fā)火電壓(U99.9%)發(fā)火電壓都略低于電子束蒸發(fā)工藝的爆炸橋箔,但優(yōu)勢同樣不明顯,這個結(jié)果與飛片速度測試結(jié)果一致。實驗結(jié)果表明,兩種工藝制備的爆炸橋箔在一定的電壓條件下都能正常驅(qū)動飛片起爆六硝基茋-Ⅳ,但磁控濺射工藝爆炸橋箔的起爆能量略低于電子束蒸發(fā)工藝的爆炸橋箔。

    表4升降法實驗結(jié)果

    Table4Results of up and down method

    processnumberU50%/kVU99.9%/kVσmagnetronsputtering242.192.420.07e?beamevaporateddeposition222.242.460.03

    Note:U50%is 50% firing voltage.U99.9%fire voltage.σis stardard error.

    4 結(jié) 論

    (1) 與電子束蒸發(fā)工藝相比,磁控濺射工藝制備銅箔的晶粒尺寸更小,電阻率高17%,沉積速率更快,是電子束蒸發(fā)銅箔的2.4倍。

    (2) 在相同輸入電壓條件下,與電子束蒸發(fā)工藝相比,磁控濺射工藝的爆炸橋箔驅(qū)動飛片速度更高,起爆六硝基茋-Ⅳ需要的能量更低。

    (3) 兩種工藝制造的銅箔均滿足沖擊片雷管對爆炸箔制備的要求,可以作為沖擊片雷管用爆炸箔的制造工藝使用,但如果條件允許,優(yōu)先推薦使用磁控濺射工藝來制造銅箔。

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