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    基于廣度優(yōu)先搜索的晶粒掃描方法

    2014-07-04 03:28:36高建利侯為萍劉玉倩
    關(guān)鍵詞:晶片廣度圖像識(shí)別

    高建利,侯為萍,劉玉倩

    (中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所,北京100176)

    晶粒掃描技術(shù)是電子工藝專(zhuān)用設(shè)備的常用功能,主要應(yīng)用于LED 晶粒、半導(dǎo)體晶粒分揀、封裝和檢測(cè)設(shè)備中。晶粒以行列方式粘結(jié)在晶片環(huán)的藍(lán)膜上,設(shè)備按一定的順序?qū)Я_M(jìn)行圖像識(shí)別和拾取,這個(gè)順序就是晶粒掃描的方法。合理的晶粒掃描方法可以提高設(shè)備的效率。

    晶片環(huán)上的晶粒按行列排列,因此逐行掃描是最常用的晶粒掃描方法,但是逐行掃描也有一定缺陷:

    (1)換行時(shí)需要空走幾個(gè)晶粒位置才能判定一行到頭走下一行;

    (2)不管是否有晶粒,對(duì)每個(gè)晶粒位置都要走到并進(jìn)行晶粒識(shí)別;

    (3)掃描結(jié)束時(shí)需要連續(xù)幾行沒(méi)有晶粒才能判定掃描結(jié)束;

    (4)除了掃描起始位置之外,還需要設(shè)置晶粒間距、掃描方向、連續(xù)無(wú)晶粒數(shù)、連續(xù)無(wú)晶粒行數(shù)等掃描參數(shù);

    (5)需要從一行中拾取晶粒,不能最大限度保證質(zhì)量相似的晶粒一起拾取。

    由于逐行掃描存在以上缺點(diǎn),因此改進(jìn)晶粒掃描方法是提升設(shè)備性能的有效方式。將晶??醋鲝V度優(yōu)先搜索中的節(jié)點(diǎn),根據(jù)廣度優(yōu)先搜索算法進(jìn)行晶粒掃描,可以提升設(shè)備性能。

    1 硬件環(huán)境

    晶片臺(tái)是晶粒的承載機(jī)構(gòu),主要由圖像識(shí)別、運(yùn)動(dòng)控制、晶片臺(tái)執(zhí)行等組成,如圖1 所示。圖像識(shí)別部分包括CCD 相機(jī)、圖像采集卡、鏡頭、光源等部件,它利用機(jī)器視覺(jué)技術(shù),對(duì)晶粒圖像進(jìn)行采集和分析識(shí)別,完成晶粒的定位和缺陷檢測(cè)等功能。運(yùn)動(dòng)控制部分包括運(yùn)動(dòng)控制卡、X向電機(jī)、Y 向電機(jī)與相應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)器,通過(guò)工控機(jī)發(fā)出的數(shù)字脈沖信號(hào)控制電機(jī)的運(yùn)動(dòng)。晶片臺(tái)執(zhí)行部分是電機(jī)通過(guò)滾珠絲杠或其它方式帶動(dòng)X-Y 平臺(tái),包括X、Y 兩個(gè)軸,在平面內(nèi)做運(yùn)動(dòng),形成平面坐標(biāo)系,這樣每顆晶粒就有一個(gè)X、Y 坐標(biāo)位置。

    圖1 晶片臺(tái)機(jī)構(gòu)

    藍(lán)膜固定在晶片環(huán)上,晶粒在藍(lán)膜上的分布如圖2 所示。晶粒是刻有電路圖形的半導(dǎo)體顆粒,在藍(lán)膜上按行列排列,可能會(huì)出現(xiàn)晶??杖焙途ЯH毕莸那闆r。晶粒的X 向間距和Y 向間距都在小范圍內(nèi)波動(dòng),因此設(shè)備需要通過(guò)圖像識(shí)別的方法準(zhǔn)確定位晶粒位置以供取片使用。

    2 逐行掃描方法

    圖2 晶粒分布示意圖

    圖3 晶粒逐行掃描示意圖

    晶粒逐行掃描方法如圖3 所示,晶片臺(tái)X 向向右(或向左,Y 向?yàn)橄蛏匣蛳蛳拢┻\(yùn)動(dòng)到下一個(gè)晶粒位置處,發(fā)送圖像識(shí)別命令,根據(jù)識(shí)別結(jié)果把晶粒對(duì)準(zhǔn)到圖像中心,等待拾片機(jī)構(gòu)拾取晶粒,拾取完畢后,晶片臺(tái)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)到下一個(gè)晶粒位置處。當(dāng)本行達(dá)到連續(xù)無(wú)晶粒數(shù)后,晶片臺(tái)跳轉(zhuǎn)到第一次沒(méi)有晶粒位置的正下方(或正上方)晶粒處,并保持原來(lái)的運(yùn)動(dòng)方向繼續(xù)掃描,直到再次達(dá)到連續(xù)無(wú)晶粒數(shù)后,晶片臺(tái)運(yùn)動(dòng)到上次晶粒跳轉(zhuǎn)時(shí)晶粒的左側(cè)(右側(cè))晶粒處,并改變掃描方向?yàn)橄蜃?或向右),繼續(xù)識(shí)別對(duì)準(zhǔn)晶粒的過(guò)程。直到達(dá)到連續(xù)幾個(gè)晶粒行數(shù)后,晶粒掃描結(jié)束。

    從掃描的過(guò)程可以看出,逐行掃描需要晶粒間距、掃描方向、連續(xù)無(wú)晶粒數(shù)、連續(xù)無(wú)晶粒行數(shù)等掃描參數(shù),在每行的兩端需要空走幾個(gè)晶粒位置以判斷該行掃描完成,掃描結(jié)束時(shí)需要空走幾行以判斷掃描結(jié)束。

    3 廣度優(yōu)先搜索算法

    圖4 是一個(gè)用線或邊連接在一起的節(jié)點(diǎn)的集合,從一個(gè)給定的節(jié)點(diǎn)開(kāi)始,訪問(wèn)能夠到達(dá)的所有節(jié)點(diǎn)就是圖的搜索,廣度優(yōu)先搜索就是一種常用的圖搜索方法。如圖4 表示了廣度優(yōu)先搜索方法。

    廣度優(yōu)先算法的核心思想是:從初始節(jié)點(diǎn)開(kāi)始,生成第一層節(jié)點(diǎn),檢查目標(biāo)節(jié)點(diǎn)是否在這些后繼節(jié)點(diǎn)中,若沒(méi)有,再用產(chǎn)生式規(guī)則將所有第一層的節(jié)點(diǎn)逐一擴(kuò)展,得到第二層節(jié)點(diǎn),并逐一檢查第二層節(jié)點(diǎn)中是否包含目標(biāo)節(jié)點(diǎn)。若沒(méi)有,再用算符逐一擴(kuò)展第二層的所有節(jié)點(diǎn)……,如此依次擴(kuò)展,檢查下去,直到發(fā)現(xiàn)目標(biāo)節(jié)點(diǎn)為止,即:

    圖4 廣度優(yōu)先搜索示意圖

    1) 從圖中的某一節(jié)點(diǎn)V1開(kāi)始,先訪問(wèn)V1;

    2) 訪問(wèn)所有與V1相鄰的節(jié)點(diǎn)V2,V3,V4;

    3) 依次訪問(wèn)與V2,V3,V4相鄰的所有未曾訪問(wèn)過(guò)的節(jié)點(diǎn);

    4) 循此以往,直至所有的頂點(diǎn)都被訪問(wèn)過(guò)為止。

    5) 這種搜索的次序體現(xiàn)沿層次向橫向擴(kuò)長(zhǎng)的趨勢(shì),所以稱(chēng)之為廣度優(yōu)先搜索。

    4 廣度優(yōu)先搜索在晶粒掃描中的應(yīng)用

    4.1 條件

    將晶粒看做圖中的節(jié)點(diǎn),完成廣度優(yōu)先搜索,需要找到每個(gè)晶粒的相鄰晶粒,視場(chǎng)內(nèi)只有一顆晶粒時(shí)不能找到相鄰晶粒,因此需要調(diào)節(jié)CCD 的識(shí)別范圍內(nèi)有9 顆晶粒,這樣中心的晶粒與周?chē)? 顆晶粒相鄰,可以進(jìn)行廣度優(yōu)先搜索,如圖5 所示,視場(chǎng)內(nèi)有9 顆晶粒,因此在掃描條件中只需要指定掃描起始點(diǎn)和圖像模板,不需要設(shè)置晶粒間距、掃描方向、連續(xù)無(wú)晶粒數(shù)、連續(xù)無(wú)晶粒行數(shù)等掃描參數(shù),設(shè)置掃描參數(shù)簡(jiǎn)單,有利于設(shè)備操作。

    4.2 實(shí)現(xiàn)過(guò)程

    圖5 晶粒識(shí)別示意圖

    實(shí)際掃描過(guò)程從使用者指定的掃描起始點(diǎn)開(kāi)始掃描晶粒,通過(guò)圖像識(shí)別將與起始位置鄰接的晶粒得到第二層晶粒位置,記入隊(duì)列,再依次運(yùn)動(dòng)到第二層晶粒經(jīng)圖像識(shí)別得到第三層晶粒并記入隊(duì)列……,如此依次擴(kuò)展,掃描下去,直到拾取完所有連通區(qū)域的晶粒為止。如圖6 所示,即:

    1)運(yùn)動(dòng)到晶粒1 進(jìn)行晶粒的圖像識(shí)別,將識(shí)別到的晶粒位置像素值轉(zhuǎn)換為電機(jī)脈沖數(shù),然后對(duì)晶粒位置進(jìn)行編號(hào),中心位置晶粒編號(hào)為1,左上角為編號(hào)2,以此類(lèi)推,如圖6 所示,編到9為止;

    圖6 晶粒廣度優(yōu)先搜索示意圖

    2) 將編號(hào)的晶粒位置依次與隊(duì)列中的晶粒位置進(jìn)行對(duì)比,晶粒位置相差過(guò)小的認(rèn)為是重合晶粒,已經(jīng)進(jìn)入隊(duì)列,晶粒位置沒(méi)有重合的記入隊(duì)尾;

    3)隊(duì)列頭出列,晶片臺(tái)運(yùn)動(dòng)到對(duì)列頭位置識(shí)別并拾取晶粒;

    4)重復(fù)步驟2、3,進(jìn)行圖像識(shí)別將鄰接的晶粒記入隊(duì)尾;

    5)循此以往,直至隊(duì)列為空,連通區(qū)域的所有晶粒被拾取為止。

    這樣晶粒掃描的次序體現(xiàn)沿層次向圓周擴(kuò)展的趨勢(shì),即將廣度優(yōu)先搜索算法應(yīng)用到了晶粒掃描過(guò)程中。根據(jù)以上掃描方法設(shè)計(jì)的軟件流程如圖7 所示,晶片臺(tái)運(yùn)動(dòng)到掃描起始點(diǎn),識(shí)別晶粒,根據(jù)晶粒的識(shí)別情況對(duì)識(shí)別到的晶粒進(jìn)行編號(hào),然后將晶粒位置與隊(duì)列中保存的晶粒位置進(jìn)行比較,沒(méi)有重合的晶粒位置加入隊(duì)尾,如果隊(duì)列為空則掃描結(jié)束,否則隊(duì)列頭的晶粒位置出隊(duì)列,晶片臺(tái)運(yùn)動(dòng)到出列的晶粒位置,由拾片機(jī)構(gòu)取走晶粒,然后繼續(xù)識(shí)別晶粒。如此循環(huán)往復(fù)直到隊(duì)列為空時(shí)掃描完成。這種晶粒掃描方法避免了空走晶粒位置,對(duì)提高設(shè)備的效率有重要意義。

    圖7 晶粒廣度優(yōu)先搜索流程圖

    4.3 限制

    使用廣度優(yōu)先搜索掃描晶粒呈現(xiàn)了從掃描起始點(diǎn)沿層次向圓周擴(kuò)展的掃描趨勢(shì),只要是鄰接的晶粒就能進(jìn)行掃描。對(duì)于不與掃描晶粒塊鄰接的非連通晶粒塊,需要重新設(shè)置掃描起始點(diǎn)進(jìn)行掃描。由于是沿層次掃描晶粒,因此這種方法也不能保證質(zhì)量相似的晶粒一起拾取。需要CCD 相機(jī)的視場(chǎng)內(nèi)有9 顆晶粒并且同時(shí)識(shí)別,也是這種掃描方法的一個(gè)限制。

    5 結(jié)束語(yǔ)

    使用廣度優(yōu)先搜索方法掃描晶粒需要設(shè)置的掃描參數(shù)簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)便。由于每次移動(dòng)到晶粒位置前都已經(jīng)識(shí)別完成,廣度優(yōu)先搜索的方法能夠保證每次移動(dòng)都能到達(dá)晶粒位置,不會(huì)出現(xiàn)走空晶粒位置的情況,因此廣度優(yōu)先搜索方法能夠提高設(shè)備效率。但是這種方法也存在一些缺點(diǎn),比如只能掃描連通的晶粒,不能保證質(zhì)量相似的晶粒一起拾取等,在設(shè)備中可以根據(jù)情況選擇合適的晶粒掃描方式。

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