“基于低溫多晶硅TFT基板的有源OLED關鍵技術研發(fā)”通過驗收

華南理工大學材料科學學院彭俊彪教授課題組負責，并與南開大學、創(chuàng)維集團聯(lián)合開發(fā)的國家“863計劃”新型平板顯示重大項目“基于低溫多晶硅TFT基板的有源OLED關鍵技術研發(fā)”，于2012年7月1日通過由科技部主持的結題驗收會。驗收專家組在聽取匯報后，對項目驗收資料進行了審查，并就相關問題進行了質詢和探討，實地考察了基地建設情況和中試實驗室。

該課題建設完成了AMOLED技術研發(fā)的中試基地，自主研制了用于非晶硅薄膜晶化的半導體激光晶化系統(tǒng)，研究了晶化激光光斑的調制技術，表征了晶化多晶硅薄膜結構，完成了低溫多晶硅TFT材料和7英寸基板的結構設計，以及顯示屏驅動技術;自主設計了新型的五元素體系新型金屬氧化物半導體材料，突破了金屬氧化物薄膜制備技術;自主完成TFT器件結構與陣列基板設計，打通了制備金屬氧化物TFT陣列的整套工藝，突破了有機發(fā)光薄膜與TFT集成技術;自主研發(fā)了顯示屏驅動技術，研制完成了可圖像顯示的5～7英寸全彩色AMOLED顯示屏。專家組一致認為，該課題綜合技術實力居于國內領先水平，一致同意通過驗收。

該課題取得的科技成果已經開始在廣州新視界光電科技有限公司進行轉化，將在2～3年內實現(xiàn)規(guī)模量產，廣泛應用于智能手機、平板電腦、大尺寸電視等高端顯示領域。