中國首臺高端光刻機赴法國參展記

1978 年夏天，舉世矚目的法國工業(yè)展覽會在巴黎隆重舉行。國務(wù)院決定讓清華大學徐端頤團隊自主研發(fā)的第一臺光刻機參加展出。然而，作為中國首臺高端光刻機的研發(fā)者，徐端頤和同事們并沒有親自護送這臺光刻機遠赴法國。這也導致中國光刻機在參展期間差點遭受不應(yīng)有的質(zhì)疑……

研發(fā)制造 一切都從零開始

1970年的一天深夜，北京突然來了一個緊急電話，命令徐端頤立即返回北京，有重要任務(wù)?；氐奖本┖?，徐端頤才知道，原來是要他負責研制國家半導體工業(yè)和國防工業(yè)急需的關(guān)鍵設(shè)備——自動光刻機。于是，來自貴州的青年助教徐端頤臨危受命，承擔了重任。

清華大學為徐端頤配備了實力很強的研制隊伍。研制隊伍成員涵蓋全校5個系，人數(shù)多達數(shù)百人，是一次大規(guī)模的集團作戰(zhàn)。

因為光刻機的制造技術(shù)太復雜，難度太高，國際“巴黎統(tǒng)籌委員會”（巴統(tǒng)）早就將其列為尖端技術(shù)產(chǎn)品，對華實行封鎖禁運。此時的中國與外界隔絕，難以獲得外國相關(guān)資料。徐端頤率領(lǐng)其團隊研制光刻機，全部圖紙都是由自己設(shè)計，全部零部件都是在自己的車間里加工制造，一切都是從零開始。在極其困難的條件下，經(jīng)過一年多的艱苦努力，徐端頤團隊終于研制出中國的第一臺高端光刻機，各項技術(shù)指標均達到了國際一流水平。

1978年3月，全國科學大會在北京召開。徐端頤在1971年主持研究完成的中國首臺高端自動光刻機，榮獲全國科學大會獎。

一波三折

中國代表團進退維谷

1978年中國的第一臺高端光刻機在法國巴黎國際工業(yè)展覽會上閃亮登場，引起了國際科學界的高度關(guān)注和極大興趣。這是因為，高端光刻機的研發(fā)、制造難度實在太大，擁有這種技術(shù)和能力的國家寥寥無幾。中國在幾乎與世隔絕的環(huán)境中居然獨立自主地研發(fā)出世界一流的光刻機，令人難以置信。

這個神秘的東方大國，一定有許多獨到的、值得學習的東西。于是，渴望學習的各國科學家慕名而來，虛心地向中國科學家請教。然而，面對各國科學家的提問，負責解說的幾位中國科學家支支吾吾，答非所問，令人大失所望！

當時代表中國前往巴黎，并在展覽會上擔任中國光刻機解說的這幾位干部和工程師，在各自領(lǐng)域中都是佼佼者。但是，他們對光刻機并不熟悉。面對各國科學家專業(yè)性極強的各種提問，負責解說的這幾位中國干部及專家難以回答，未免左支右絀，場面尷尬。

經(jīng)過幾番禮貌的不同層次的提問以后，目光犀利的世界一流的科學家們很快得出了結(jié)論：這幾位中國人對光刻機一竅不通。一群不懂光刻機的人怎么能造出世界頂級的高端光刻機？這就不能不讓人懷疑這臺中國光刻機的真實效能了！

如果這臺中國光刻機涉嫌造假，被媒體曝光，那將會成為本屆國際工業(yè)展覽會的最大丑聞。展覽會的主辦者找到中國代表團負責人，善意地提出：請中國代表團自己悄悄把光刻機從展臺上撤下來，裝箱運走，卷鋪蓋走人算了……這是委婉地向中國代表團下達了逐客令！

中國代表團感到事態(tài)嚴重，只能火速將這一意外情況報告國內(nèi)高層領(lǐng)導，請求指示，領(lǐng)導高層迅速采取了應(yīng)對措施。

笑傲群雄 代表團載譽歸來

當天夜里，徐端頤只身一人，登上了從北京飛往巴黎的飛機。徐端頤到達巴黎后，立即投入工作，在國際工業(yè)展覽會現(xiàn)場里，擔任中國自動光刻機的講解員。徐端頤是中國清華大學首臺光刻機研發(fā)團隊的領(lǐng)軍人物和設(shè)計者，對這臺光刻機的設(shè)計、制造中的每一個環(huán)節(jié)和每一個部件都了然于胸。他的英語特別好，根本不用翻譯人員，便直接在展覽會現(xiàn)場與觀眾進行交流，回答了觀眾提出的各種問題。

人們這時才知道，中國的這臺光刻機里，有很多獨到的新發(fā)明、新技術(shù)，擁有完全的知識產(chǎn)權(quán)，足以笑傲群雄。人們也才真切地認識到，中國科學家睿智勤奮，待人真誠，是值得信任、深交的朋友。

巴黎國際工業(yè)展覽會落下帷幕后，中國代表團載譽歸來，皆大歡喜……

（摘自《文史天地》 章正遠/文）