打造一流微納制造平臺

20世紀70年代，微電子技術(shù)呈飛速發(fā)展趨勢。為適應我國兵器工業(yè)專用電路品種多、數(shù)量少、要求特殊、更新?lián)Q代快等特點，加快基礎(chǔ)應用技術(shù)及軍用微電子技術(shù)研究，助推我國常規(guī)兵器機械化、電子化水平提升，安徽北方微電子研究院集團公司（簡稱“微電子院”）的前身——光電集成器件研究分所正式成立。

經(jīng)過幾十年的發(fā)展，微電子院如今已成為國家半導體行業(yè)優(yōu)勢單位、中國兵器工業(yè)集團微電子領(lǐng)域研產(chǎn)一體化產(chǎn)業(yè)集團。

技術(shù)創(chuàng)新不停歇

從依托國產(chǎn)設備構(gòu)成的1.5英寸半導體集成電路研制能力，到借助引進厚膜混合集成電路生產(chǎn)線、形成4英寸半導體集成電路研制能力，再到建成6英寸半導體集成電路工藝線、6英寸硅基MEMS工藝線、6英寸LTCC工藝線等九大工藝制造平臺，連續(xù)攻克3微米、1.5微米、0.25微米到12納米設計與制造技術(shù)……40多年來，微電子院始終堅持在服務國家和集團公司戰(zhàn)略中找定位、謀發(fā)展，在加強關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)中固主業(yè)、強基業(yè)，在打造微納制造獨門絕技中求突破、建新功，技術(shù)和工藝創(chuàng)新不斷取得新突破。

進入新時代，微電子院認真審視微納制造技術(shù)應用的新領(lǐng)域，開辟了硅基MEMS/ MOMES器件與微系統(tǒng)、光電器件與組件、智能傳感與智慧互聯(lián)等八大技術(shù)路徑。

作為國內(nèi)最早研究MEMS制造技術(shù)單位，微電子院的硅基MEMS制造技術(shù)已對標國際，形成多套工藝體系，包括G- SOI工藝體系、E- SOI工藝體系、TSV- SOI工藝體系、BCB-壓阻工藝體系、介質(zhì)橋膜工藝體系以及MOEMS體硅工藝體系。其中，超高縱深垂直全不等高梳齒工藝、高真空度晶圓級真空鍵合工藝、多層硅硅直接鍵合工藝等關(guān)鍵技術(shù)達到國際先進水平，產(chǎn)品領(lǐng)域涉及慣性MEMS、光MEMS、環(huán)境感知MEMS等，涵蓋了不同領(lǐng)域的制造和生產(chǎn)需求，高性能慣性MEMS器件銷量穩(wěn)居行業(yè)第一，近5年累計銷售達15萬余軸，有效支撐了我國自主可控高性能MEMS產(chǎn)品的研制。

當前，作為光學技術(shù)發(fā)展最活躍的領(lǐng)域之一，微納光學元件可以像集成電路一樣在潔凈室內(nèi)批量制造，正逐步實現(xiàn)商業(yè)化應用。

微電子院精準地捕捉到微納光學元件潛在的巨大應用價值，基于自身在MEMS技術(shù)上的優(yōu)勢，按照“突破一批、布局一批、跟蹤一批”的原則，與多家國內(nèi)單位開展聯(lián)合攻關(guān)，有望取得新的突破。

產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新不懈怠

全面建成社會主義現(xiàn)代化強國，離不開堅實的物質(zhì)技術(shù)基礎(chǔ)。黨的二十大報告提出，要“建設現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系”“加快構(gòu)建新發(fā)展格局，著力推動高質(zhì)量發(fā)展”。今年的政府工作報告把“大力推進現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設，加快發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力”擺在各項工作之首。這給戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)之一的微納制造產(chǎn)業(yè)帶來了難得的發(fā)展機遇。

對此，微電子院精準捕捉市場需求信息，因需施策、因策用力，充分發(fā)揮研發(fā)設計、晶圓制造、封裝測試、集成應用全產(chǎn)業(yè)鏈的價值創(chuàng)造能力，用好先進傳感、高端芯片、微納系統(tǒng)、硅光集成、人工智能等領(lǐng)域技術(shù)儲備，堅持IDM和代工“雙管齊下”，以科技創(chuàng)新優(yōu)勢轉(zhuǎn)化為產(chǎn)業(yè)發(fā)展優(yōu)勢。

一是連續(xù)啟動“春苗計劃”1.0和2.0版，將慣性器件、壓力傳感器、溫度傳感器等孵化成3個百萬級產(chǎn)品和3個千萬級產(chǎn)業(yè)。

二是推進微納制造產(chǎn)業(yè)基金公司、晶圓制造公司、傳感器公司、電子雷管模組公司“1+3”產(chǎn)業(yè)平臺落地。

三是利用微納制造作為新興產(chǎn)業(yè)的自有稟賦，先后謀劃在國務院國資委、科技部、工信部和省市實施集成電路、人工智能、微納制造等項目中的站位，成為腦機接口、人形機器人、特種機器人等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)和未來產(chǎn)業(yè)的牽頭單位、榜主單位、參與單位。

四是通過組織召開MEMS中國（蚌埠）智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會、腦機接口產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展大會、特種機器人智能傳感器創(chuàng)新發(fā)展大會等重要會議，組建創(chuàng)新聯(lián)盟，成立創(chuàng)新聯(lián)合體，聚集優(yōu)質(zhì)資源，建立完善研學產(chǎn)用一體推進的產(chǎn)業(yè)鏈，全面支持傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型，搶占未來產(chǎn)業(yè)高地。

管理創(chuàng)新不止步

人是企業(yè)擁有的重要資源，也是企業(yè)的核心競爭力所在。微電子院雖然近幾年實現(xiàn)了快速發(fā)展，但規(guī)模體量還是不大，企業(yè)化運作才剛剛開始，人才儲備還有不少的短板。

為此，微電子院結(jié)合時代和行業(yè)發(fā)展特點，通過“引、育、培、聯(lián)”等途徑有效緩解人才短缺矛盾。

近5年來，微電子院通過成建制引進傳感器、電源、ASIC電路、封裝等5個技術(shù)團隊100余人，與高校合作培養(yǎng)碩博士、開辦微納制造“3+1”定制班，選送青年人才苗子進院校和上級機關(guān)學習，在北京、西安、合肥、廣州建立研發(fā)中心及測試中心等人才飛地，與清華、北大、中科院等40多家高校和科研院所開展戰(zhàn)略合作，全面提升聚集和使用優(yōu)質(zhì)創(chuàng)新資源的能力。

與此同時，微電子院還改革事業(yè)部制，通過組建科技產(chǎn)業(yè)部，實行業(yè)務板塊管理；建立市場開發(fā)部、市場分公司“1+6”市場銷售體系，構(gòu)建“虛擬+實股”“一項一策”等“1+N”激勵機制；設立質(zhì)量安全“兩個百萬”正向激勵基金，全面激發(fā)人才活力。

值得一提的是，在生產(chǎn)經(jīng)營中，微電子院邊實踐邊總結(jié)，先后提出一系列創(chuàng)新理念引領(lǐng)公司高質(zhì)量發(fā)展。例如，用“企業(yè)與職工同發(fā)展”“產(chǎn)業(yè)夢、平臺夢、員工福利夢”激發(fā)員工積極性創(chuàng)新性；用“堅持不懈對外合作，堅持不懈打造合作共贏的營銷體系”指導科研和市場工作；用“管理嚴一點、日子苦一點、發(fā)展快一點、考核狠一點”的拼勁與狠勁干事創(chuàng)業(yè)；用自主可控、黨建引領(lǐng)等五項重點工程明確發(fā)展路徑。這些理念通過實踐，已在職工中形成共識，被寫入微電子院“十四五”發(fā)展規(guī)劃。

國家有政策，集團有支持，市場有需求，職工有期待。如今，微電子院正處于快速發(fā)展的大好時期。下一步，微電子院要在習近平新時代中國特色社會主義思想的指導下，牢記國資央企科研創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)控制、安全支撐的使命任務，著力推進創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、人才鏈、資金鏈融合發(fā)展，全面提升服務強軍勝戰(zhàn)、服務新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展、服務現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設的能力，朝著打造國內(nèi)一流的微納制造平臺和融合發(fā)展的微電子產(chǎn)業(yè)基地目標不懈奮斗。

編輯/王盈 統(tǒng)籌/簡單