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    一種無(wú)源真空吸附裝置的研究

    2022-07-13 05:48:58齊芊楓李進(jìn)春張德峰
    電子工業(yè)專用設(shè)備 2022年1期
    關(guān)鍵詞:硅片微動(dòng)無(wú)源

    齊芊楓,李進(jìn)春,張德峰

    ( 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司, 上海201203)

    目前,工件臺(tái)的發(fā)展方向是高速、高加速和高精度。其中影響精度的關(guān)鍵因素之一是線纜力干擾。由于線纜對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)存在三大阻力:靜態(tài)力、阻尼力和剛度力,而且這三大阻力具有隨機(jī)性和非線性特點(diǎn),無(wú)法完全進(jìn)行補(bǔ)償[1]。工件臺(tái)真空管路如圖1 所示。

    圖1 工件臺(tái)的真空管路

    為了減小真空管線對(duì)微動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)的干擾,目前一般采取3 種措施:①在粗動(dòng)臺(tái)和微動(dòng)臺(tái)之間設(shè)計(jì)對(duì)稱線纜,使線纜力互相抵消,減小作用在微動(dòng)臺(tái)上的線纜力。該方案可大大減小線纜干擾力,但在六自由度微動(dòng)臺(tái)中,由于線纜在非對(duì)稱方向有扭曲、拉伸,干擾力仍較大;②在粗動(dòng)臺(tái)和微動(dòng)臺(tái)之間采用氣浮隔離,進(jìn)行非接觸式真空氣路輸送,該方案在粗微動(dòng)之間沒有真空管路,但真空和正壓的高度集成,零部件設(shè)計(jì)制造難度較大,且該方案只能用于氣浮工件臺(tái),不能在磁浮工件臺(tái)中應(yīng)用;③微動(dòng)臺(tái)上采用靜電吸盤[2]吸附硅片,該方案無(wú)需真空,能從根本上消除真空管路干擾問題,但粗動(dòng)臺(tái)和微動(dòng)臺(tái)之間仍存在線纜力的干擾,且靜電吸盤方案常用于真空環(huán)境,應(yīng)用范圍受限。

    因此,研究一種基于機(jī)械驅(qū)動(dòng)的無(wú)源真空發(fā)生裝置,應(yīng)用于高精密工件臺(tái)的硅片吸附,將從根本上解決真空管路對(duì)工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)性能的干擾問題,對(duì)工件臺(tái)性能提升具有重要意義。

    1 裝置研究

    1.1 技術(shù)原理

    根據(jù)理想氣體狀態(tài)方程(波義耳定律)(式1),一定體積的理想氣體壓力與體積成反比,其氣體壓強(qiáng)與體積的關(guān)系曲線如圖2 所示。一定物質(zhì)的量的氣體,當(dāng)其體積大于大氣壓強(qiáng)下的體積V0,其壓強(qiáng)將小于大氣壓強(qiáng),即產(chǎn)生真空:

    圖2 理想氣體壓強(qiáng)與體積曲線

    式(1)中,P 為氣體壓強(qiáng);V 為氣體體積;n 為氣體物質(zhì)的量;R 為常數(shù)(8.31);T 為氣體溫度。

    無(wú)源真空吸附裝置由三部分組成:(1)真空發(fā)生裝置,可改變一定量氣體的體積,使氣體產(chǎn)生真空;(2)驅(qū)動(dòng)裝置,為真空發(fā)生裝置中的氣體體積改變提供驅(qū)動(dòng)力,并能控制氣體體積的改變量;(3)真空檢測(cè)反饋,檢測(cè)氣體真空值,并實(shí)時(shí)反饋給驅(qū)動(dòng)裝置,由驅(qū)動(dòng)裝置根據(jù)反饋值控制氣體體積的改變量;如圖3 所示。

    圖3 無(wú)源真空吸附裝置原理

    以上無(wú)源真空吸附裝置通過氣管連接到微動(dòng)臺(tái)和吸盤上,在工件臺(tái)進(jìn)行曝光運(yùn)動(dòng)過程中,對(duì)硅片進(jìn)行吸附。

    1.2 設(shè)計(jì)方案

    1.2.1 真空發(fā)生裝置設(shè)計(jì)方案

    真空發(fā)生裝置可采用兩種方案:①直線型真空發(fā)生裝置,如圖4 所示,活塞在氣腔內(nèi)作直線運(yùn)動(dòng),改變一定量氣體的體積,使氣體壓強(qiáng)小于大氣壓強(qiáng),產(chǎn)生真空,該方案結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,但所需運(yùn)動(dòng)空間較大;②旋轉(zhuǎn)型真空發(fā)生裝置,如圖5 所示,葉片在環(huán)形氣腔內(nèi)繞轉(zhuǎn)軸作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),改變環(huán)形氣腔內(nèi)一定量氣體體積,使氣體壓強(qiáng)小于大氣壓強(qiáng),產(chǎn)生真空,該方案結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜,但能節(jié)省運(yùn)動(dòng)空間,減小裝置體積。

    圖4 直線型真空發(fā)生裝置

    圖5 旋轉(zhuǎn)型真空發(fā)生裝置

    1.2.2 驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)計(jì)方案

    驅(qū)動(dòng)裝置可采用三種方案:①旋轉(zhuǎn)電機(jī)+ 滾珠絲杠,如圖6 所示,旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng),驅(qū)動(dòng)直線型真空發(fā)生裝置活塞運(yùn)動(dòng),產(chǎn)生真空;②VCM 電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),如圖7 所示,VCM電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)直線型真空發(fā)生裝置活塞運(yùn)動(dòng),產(chǎn)生真空;③機(jī)械驅(qū)動(dòng)(恒力彈簧),如圖8 所示,采用機(jī)械儲(chǔ)能機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)型真空發(fā)生裝置的旋轉(zhuǎn)葉片,產(chǎn)生真空,該機(jī)械儲(chǔ)能機(jī)構(gòu)的輸出力為恒定值,保證真空壓力的穩(wěn)定性,可采用恒力彈簧機(jī)構(gòu)。

    圖6 旋轉(zhuǎn)電機(jī)和絲杠驅(qū)動(dòng)

    圖7 VCM 電機(jī)直驅(qū)

    圖8 機(jī)械驅(qū)動(dòng)(恒力彈簧)

    1.2.3 真空檢測(cè)反饋設(shè)計(jì)方案

    真空檢測(cè)及反饋裝置由真空傳感器及其信號(hào)放大板組成,真空傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)硅片吸附真空值,并將其轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào),經(jīng)放大板反饋給驅(qū)動(dòng)裝置,以控制氣體體積的改變量,從而控制真空的穩(wěn)定性。真空檢測(cè)反饋裝置在“旋轉(zhuǎn)電機(jī)+滾珠絲杠”和“VCM 電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)”方案中應(yīng)用,但在“機(jī)械驅(qū)動(dòng)(恒力彈簧)”方案中將通過計(jì)算轉(zhuǎn)換為機(jī)械驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)規(guī)律,由機(jī)械機(jī)構(gòu)自動(dòng)控制。

    1.2.4 設(shè)計(jì)方案分析

    根據(jù)真空發(fā)生裝置、驅(qū)動(dòng)裝置和真空檢測(cè)反饋裝置的特點(diǎn),采用3 種無(wú)源真空吸附裝置設(shè)計(jì)方案,各方案優(yōu)缺點(diǎn)對(duì)比如表1 所示。

    表1 無(wú)源真空吸附裝置設(shè)計(jì)方案分析

    綜合分析上述方案,無(wú)源真空吸附裝置最終采用方案三,即“機(jī)械驅(qū)動(dòng)+ 旋轉(zhuǎn)型真空發(fā)生裝置”方案進(jìn)行產(chǎn)品應(yīng)用開發(fā)。但為節(jié)約試驗(yàn)時(shí)間和成本,采用方案一進(jìn)行原理驗(yàn)證試驗(yàn)。

    2 試驗(yàn)研究

    2.1 試驗(yàn)思路

    為提高裝置研究效率和降低研究成本,將裝置試驗(yàn)分為原理驗(yàn)證試驗(yàn)和裝置應(yīng)用試驗(yàn)兩個(gè)階段,試驗(yàn)計(jì)劃如表2 所示。

    表2 無(wú)源真空吸附裝置試驗(yàn)計(jì)劃

    2.2 吸附試驗(yàn)

    2.2.1 吸附性能指標(biāo)

    以200 mm 吸盤吸附硅片、曝光時(shí)間60 s 為例計(jì)算,硅片真空吸附性能指標(biāo)需求如表3 所示。

    表3 吸盤吸附硅片性能指標(biāo)需求

    2.2.2 理論計(jì)算

    氣體初始體積和壓強(qiáng),如圖9 所示,A 到B 之間的真空管路體積V0將作為一定量氣體的初始體積,此時(shí)氣體壓強(qiáng)為大氣壓P0。

    圖9 氣體初始體積和壓強(qiáng)

    真空壓力P1=-40 kPa 時(shí),若真空泄露按VL1計(jì)算,如圖10 所示,氣體體積和壓力關(guān)系如式(2):

    圖10 真空壓力-40 kPa 時(shí),氣體體積和壓強(qiáng)

    式(2)中,P0為氣體初始?jí)毫?;V0為氣體初始體積;V1為真空發(fā)生裝置氣體體積;VL1為真空泄漏體積。

    在真空壓力P1=-40 kPa,持續(xù)60 s 時(shí),若真空泄露按VL2計(jì)算,如圖11 所示,氣體體積和壓力關(guān)系如式(3):

    圖11 真空壓力-40 kPa,60 s 時(shí),氣體體積和壓強(qiáng)

    式(3)中,P0為氣體初始?jí)毫?;V0為氣體初始體積;V2為真空發(fā)生裝置氣體體積;VL2為真空泄漏體積;驅(qū)動(dòng)力按式(4)計(jì)算:

    式(4)中,F(xiàn) 為驅(qū)動(dòng)力;P 為真空壓力;D 為活塞直徑。

    2.2.3 手動(dòng)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)

    試驗(yàn)裝置:如圖12 所示,試驗(yàn)裝置包括,吸盤、硅片、直線氣缸(φ25 mm,行程50 mm)、真空壓力表(分辨率:1 kPa)、拉力計(jì)(分辨率:0.1 N)。試驗(yàn)結(jié)果:手動(dòng)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)結(jié)果如表4 所示。

    表4 手動(dòng)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)結(jié)果

    圖12 手動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置

    試驗(yàn)結(jié)論:

    (1)真空穩(wěn)定性不滿足,由于人為因素產(chǎn)生,自動(dòng)控制可提高指標(biāo);

    (2)驅(qū)動(dòng)力小于設(shè)計(jì)值,說明真空泄露小于計(jì)算值0.1 L/min;

    (3)驗(yàn)證了真空發(fā)生原理,且基本滿足吸附指標(biāo),可進(jìn)行下一步的電機(jī)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)。

    2.2.4 電機(jī)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)

    試驗(yàn)裝置如圖13、圖14 所示,包括吸盤、硅片、直線氣缸(φ25 mm,行程50 mm)、真空壓力傳感器(分辨率:1 kPa)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(輸出力矩:8 N·m)、滾珠絲杠(導(dǎo)程:1 mm)、控制系統(tǒng)。

    圖13 電機(jī)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)裝置

    圖14 電機(jī)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)照片

    電機(jī)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)結(jié)果如表5 所示。真空值隨時(shí)間和移動(dòng)距離變化的曲線如圖15 所示。

    表5 電機(jī)驅(qū)動(dòng)試驗(yàn)結(jié)果

    試驗(yàn)分析:

    (1)真空建立時(shí)間不滿足,由圖15 可知,移動(dòng)距離30 mm 真空壓力才能達(dá)到-40 kPa,這是由于絲杠導(dǎo)程1 mm 較?。ㄔO(shè)計(jì)值10 mm,試驗(yàn)絲杠1 mm);

    圖15 真空值、時(shí)間和移動(dòng)距離曲線

    (2)真空維持時(shí)間不滿足,由于真空建立的行程較長(zhǎng),導(dǎo)致后續(xù)維持真空行程不足;

    (3)驅(qū)動(dòng)力大于設(shè)計(jì)值,由于理論設(shè)計(jì)值未考慮驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的自身阻力,導(dǎo)致實(shí)際驅(qū)動(dòng)力大于設(shè)計(jì)值。

    試驗(yàn)結(jié)論:

    (1)實(shí)現(xiàn)了“驅(qū)動(dòng)裝置+ 真空反饋”的閉環(huán)控制功能;

    (2)需要采用10 mm 導(dǎo)程的滾珠絲杠,進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)計(jì)裝置,達(dá)到滿足指標(biāo)要求。

    3 產(chǎn)品應(yīng)用方案設(shè)計(jì)

    采用機(jī)械儲(chǔ)能機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)型真空發(fā)生裝置進(jìn)行產(chǎn)品應(yīng)用開發(fā),對(duì)其進(jìn)行小型化輕量化設(shè)計(jì),主要進(jìn)行機(jī)械儲(chǔ)能機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)和計(jì)算。

    由式(4)可知,在特定的真空發(fā)生裝置下,需要保證真空度穩(wěn)定在一定范圍,必須保證驅(qū)動(dòng)裝置輸出的驅(qū)動(dòng)力趨于恒定,而恒力彈簧可實(shí)現(xiàn)輸出恒力的功能。

    式(5)中[3],E 為彈性模量;b 為彈簧的寬度;h為彈簧厚度;Rn為彈簧圈自由狀態(tài)下的半徑,R0為彈簧初始膨脹半徑。

    根據(jù)式(2)、式(3)、式(4)和式(5)計(jì)算結(jié)果,在滿足表3 中吸附指標(biāo)的情況下,基于機(jī)械驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)型真空發(fā)生裝置的無(wú)源真空吸附裝置關(guān)鍵部件結(jié)構(gòu)尺寸如下,外形如圖16 所示。

    圖16 無(wú)源真空吸附裝置

    旋轉(zhuǎn)氣缸外形尺寸:φ25 mm×40 mm;旋轉(zhuǎn)氣缸行程:65 mm;省力轉(zhuǎn)輪:φ45 mm;儲(chǔ)能機(jī)構(gòu)(恒力彈簧):φ45 mm;能量補(bǔ)充機(jī)構(gòu)行程:20 mm;裝置總量:約0.7 kg;裝置外形尺寸:88 mm×55 mm×45 mm。

    其在微動(dòng)臺(tái)上的設(shè)計(jì)案例如圖17 所示,該微動(dòng)臺(tái)將在硅片曝光過程中,由無(wú)源真空吸附裝置自動(dòng)產(chǎn)生真空吸附硅片,微動(dòng)臺(tái)在運(yùn)動(dòng)過程中,不會(huì)產(chǎn)生真空管路的干擾。

    圖17 無(wú)源真空吸附裝置在微動(dòng)臺(tái)上的應(yīng)用設(shè)計(jì)

    4 結(jié)束語(yǔ)

    通過理論分析和試驗(yàn)研究,驗(yàn)證了一種無(wú)源真空吸附裝置的實(shí)現(xiàn)原理,為裝置產(chǎn)品應(yīng)用開發(fā)奠定了基礎(chǔ);該裝置采用全機(jī)械驅(qū)動(dòng),干擾因素較少,設(shè)計(jì)可靠性較高;該裝置體積小,質(zhì)量輕,可與微動(dòng)臺(tái)進(jìn)行模塊化設(shè)計(jì),產(chǎn)品應(yīng)用開發(fā)可行性較好;該裝置可應(yīng)用于對(duì)管線擾動(dòng)有更高要求的高精密工件臺(tái)。

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