國內(nèi)首臺套全自動12英寸單晶硅定向儀研發(fā)成功

2019年7月5日，丹東新東方晶體儀器有限公司研制開發(fā)的國內(nèi)首臺套設(shè)備——XDF-7DZ全自動多功能單晶硅晶棒定向儀通過新產(chǎn)品鑒定。此次鑒定會由遼寧省工業(yè)和信息化廳委托丹東市工業(yè)和信息化局組織召開，鑒定委員會由北京中材人工晶體研究院有限公司黃存新教授級高工、遼寧省計量科學(xué)研究院劉劍教授級高工、北京天科合達半導(dǎo)體股份有限公司趙科新研究員等七位專家組成。專家一致認為該產(chǎn)品填補國內(nèi)空白，主要技術(shù)指標(biāo)達到國際先進水平。

XDF-7DZ全自動多功能單晶硅晶棒定向儀采用X射線與三維立體成型軟件相結(jié)合的方法，搭建了多自由度滑臺，實現(xiàn)12 inch大尺寸晶棒的一次性定向、粘結(jié)及復(fù)檢功能。系統(tǒng)通過角度之間的關(guān)系建立三維空間解析方程，選取最優(yōu)值晶棒的旋轉(zhuǎn)角和擺動角，提高了半導(dǎo)體級單晶硅晶棒的定向精度，可實現(xiàn)調(diào)距精度±0.01 mm、粘結(jié)精度≤0.05°、定向精度≤25″，單晶硅晶棒粘結(jié)成品率達到98%以上。該產(chǎn)品的研發(fā)成功適應(yīng)芯片產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的市場需求，符合國家倡導(dǎo)的節(jié)能減排和大力發(fā)展高新技術(shù)的政策，進一步助力國內(nèi)半導(dǎo)體事業(yè)的蓬勃發(fā)展，為我國自主知識產(chǎn)權(quán)結(jié)構(gòu)添磚加瓦。