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    一種低噪聲MEMS電容式加速度傳感器的設(shè)計(jì)

    2019-10-19 15:26:30周巖李彥哲李金平孫風(fēng)光
    科技創(chuàng)新導(dǎo)報(bào) 2019年12期
    關(guān)鍵詞:低噪聲

    周巖 李彥哲 李金平 孫風(fēng)光

    摘? ?要:基于差分電容原理和MEMS技術(shù),設(shè)計(jì)了一種低噪聲MEMS電容式加速度傳感器。該加速度傳感器包括一個(gè)敏感芯片和一個(gè)采用變送集成技術(shù)的信號調(diào)理電路。通過優(yōu)化敏感芯片的結(jié)構(gòu)和低噪聲的信號調(diào)理電路相結(jié)合,制作出加速度傳感器。利用MEMS技術(shù)制作的微結(jié)構(gòu)封裝的加速度傳感器經(jīng)過測試,驗(yàn)證了該傳感器具有高靈敏度,高分辨率和低噪聲特點(diǎn)。

    關(guān)鍵詞:低噪聲? 差分電容? MEMS? 加速度傳感器

    中圖分類號:TP212? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?文獻(xiàn)標(biāo)識碼:A? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 文章編號:1674-098X(2019)04(c)-0105-02

    在我國航天航空事業(yè)蓬勃發(fā)展的今天,加速度傳感器在航天航空系統(tǒng)中發(fā)揮著越來越重要的作用。本文主要研究利用差分電容原理、體硅MEMS敏感結(jié)構(gòu)的低噪聲加速度傳感器的可行性,并進(jìn)行了相關(guān)的實(shí)驗(yàn)測試。該加速度傳感器具有體積小、重量輕、高靈敏度和低噪聲等特點(diǎn),可以滿足航天航空系統(tǒng)對傳感器小型化的要求。

    1? 敏感芯片設(shè)計(jì)

    為了提高加速度傳感器靈敏度、提高測量范圍和減小非線性誤差,敏感結(jié)構(gòu)采用差動(dòng)式電容結(jié)構(gòu) ,如圖1所示。與單邊活動(dòng)的電容傳感器相比,它具有誤差范圍小、測量范圍寬等優(yōu)點(diǎn)。

    若活動(dòng)極板的初始位置距兩個(gè)固定極板的距離均為d0,則固定極板l和活動(dòng)極板3之間的電容與固定極板2和活動(dòng)極板3之間的初始電容相等,若令其為C0,當(dāng)活動(dòng)極板3在被測物體作用下向固定極板2移動(dòng)Δd時(shí),則位于中間的活動(dòng)極板到兩側(cè)的固定極板的距離分別為:

    活動(dòng)極板和兩個(gè)固定極板構(gòu)成電容分別C1和C2,當(dāng)二者形成差動(dòng)式電容器時(shí),其電容差等效為:

    由上式可見電容的變化量與位移△d成非線性關(guān)系,但微小量檢測中,如線膨脹測量等,一般都可以略去高次項(xiàng),那么就得到下式,輸出特性得到改善。

    靈敏度S為:

    芯片的彈性敏感元件為對稱的“四梁-慣性質(zhì)量”結(jié)構(gòu),中間慣性質(zhì)量對加速度具有敏感特性,將加速度信號轉(zhuǎn)換成慣性質(zhì)量的位移量,慣性質(zhì)量相對上下極板間的距離發(fā)生變化,通過檢測電容量的變化實(shí)現(xiàn)加速度的測量。為消除電容可動(dòng)極板各點(diǎn)位移量不同所引起的輸出非線性問題,減小傳感器的橫向靈敏度比, 通常傳感器采用對稱結(jié)構(gòu),當(dāng)四懸臂梁結(jié)構(gòu)在慣性質(zhì)量產(chǎn)生位移時(shí),只有四個(gè)梁產(chǎn)生彎曲變形,慣性質(zhì)量基本保持不變。為了進(jìn)一步提高靈敏度采用一種折疊梁彈性結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是可以增大慣性質(zhì)量的位移量,使電容可動(dòng)極板產(chǎn)生的電容變化量增大,從而提高靈敏度,如圖2所示。

    2? 調(diào)理電路設(shè)計(jì)

    選用電容式信號測量電路作為加速度傳感器的信號調(diào)理電路,該電路主要包括電荷放大器、移相器、相敏解調(diào)、放大電路及低通濾波幾部分。這樣,在MEMS加速度傳感器尺寸作得小的情況下,可以獲得大的靈敏度、動(dòng)態(tài)范圍和頻響并且可以有效減小甚至消除寄生電容影響。圖3為信號調(diào)理電路原理框圖。

    從電路原理框圖可以看出,該電路使用到了兩個(gè)運(yùn)算放大器,構(gòu)成兩路電荷放大結(jié)構(gòu)。兩路運(yùn)算放大器的一致性和運(yùn)算放大器周圍器件的一致性對檢測精度有很大影響。為增強(qiáng)兩路結(jié)構(gòu)中運(yùn)算放大器的一致性,同時(shí)減小電路板面積,實(shí)際電路中采用的是雙運(yùn)放芯片來解決此問題。

    3? 加速度傳感器性能

    利用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)的加速度傳感器如圖4所示。該加速度傳感器具有很小的輸出噪聲,MEMS加速度傳感器等效噪聲如圖5所示。MEMS加速度傳感器滿量程下輸出噪聲為500ng/。

    4? 結(jié)語

    基于差分電容原理和MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)、制作了一種低噪聲MEMS加速度傳感器。本文很好解決了小型化加速度傳感器低噪聲、高靈敏微結(jié)構(gòu)的問題。通過測試,得出MEMS加速度傳感器具有很好的具有高靈敏度,高分辨率和低噪聲特點(diǎn)。目前,傳感器的初步設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)已經(jīng)完成。如何優(yōu)化傳感器性能和實(shí)現(xiàn)傳感器工程化應(yīng)用是后續(xù)的工作。

    參考文獻(xiàn)

    [1] 曹新平,張大成,黃如,等.一種大厚度的三軸差分電容式微硅加速度計(jì)[J].儀器儀表學(xué)報(bào),2002(6):572-575.

    [2] 李清寶,陸德仁,王渭源.變面積結(jié)構(gòu)微機(jī)械電容式加速度傳感器[J].中國工程學(xué)報(bào),2000,2(2):36-40.

    [3] 羅斯建.電容式微機(jī)械加速度計(jì)檢測電路研究[D].浙江大學(xué),2007.

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