國(guó)內(nèi)最大微納傳感器實(shí)驗(yàn)室落成

近日，湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)創(chuàng)新研究院核心實(shí)驗(yàn)室在湘潭大學(xué)正式落成。

該平臺(tái)主要依托北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)在碳基集成電路技術(shù)領(lǐng)域的先導(dǎo)性技術(shù)優(yōu)勢(shì)和體系完整的原創(chuàng)性技術(shù)，建設(shè)碳基納米器件和新型傳感器研究的國(guó)家創(chuàng)新中心和國(guó)內(nèi)一流創(chuàng)新平臺(tái)，基于該平臺(tái)研發(fā)出屬于我國(guó)的“中國(guó)芯”。

此次落成的核心實(shí)驗(yàn)室，即微納傳感器加工實(shí)驗(yàn)室，包括百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)在內(nèi)的超凈室約 1500 平方米，以及一批先進(jìn)的微納加工設(shè)備。超凈室最主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)。