(廣東理工學(xué)院,廣東 肇慶 526100)
Ⅲ-Ⅴ族氮化物半導(dǎo)體GaN、AlN及其相關(guān)的三元合金化合物,具有禁帶寬度大、介電常量小、耐高溫、硬度高等特點,在高溫器件、高密度集成的電子器件等方面擁有著廣泛的應(yīng)用前景[1-3]。近來,晶體高壓結(jié)構(gòu)相變的性質(zhì)引起人們的關(guān)注,諸如金剛石壓砧技術(shù)及應(yīng)用[4]。實驗上Perlin等人已經(jīng)通過X射線吸收光譜方法得到相變壓強(纖鋅礦結(jié)構(gòu)到氯化鈉結(jié)構(gòu))為47.0 GPa[5]。然而,對于GaN的熱力學(xué)性質(zhì)少有提及。我們對熱力學(xué)性質(zhì)的研究,使得了解耐高溫材料器件的制造及應(yīng)用起到一定的幫助。通過第一性原理廣義梯度近似(Generalized Gradient Approximation ,GGA)方法,計算了纖鋅礦(Wurtzite)結(jié)構(gòu)、巖鹽(Rocksalt)結(jié)構(gòu)及閃鋅礦(Zinc blende)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和熱力學(xué)性質(zhì)。
計算基于密度泛函理論下的第一性原理從頭算方法[6-7],采用Perdew-Burke-Ernergof(PBE)交換關(guān)聯(lián)泛函[8-9]GGA交換關(guān)聯(lián)勢。GGA考慮了電子密度的非均勻性,在局域密度近似(Local Density Approximation,LDA)的基礎(chǔ)上加入了密度的一階導(dǎo)數(shù)。PBE交換關(guān)聯(lián)能具有如下形式:
(1)
其中,F(xiàn)x(s)=1+k-k/(1+μs2/k),=2/3=0.219,=0.066 725,k=0.804。
(2)
進行結(jié)構(gòu)優(yōu)化時,我們采用了非體積守恒張力的方法,允許原子坐標(biāo)及原胞參數(shù)進行弛豫,計算不同體積的能量,所有自洽計算最后能量的收斂精度都達到0.1meV/atom;而后得到穩(wěn)定結(jié)構(gòu)的晶格參數(shù);最后計算最穩(wěn)定結(jié)構(gòu),在不同壓力下的熱膨脹系數(shù)及體積。
所有計算過程在Spanish Initiative for Electronic Simulations with Thousands of Atoms (SIESTA)[10-11]完成。鎵的價態(tài)電子為3d104s24p1,氮的為2s22p3。
經(jīng)過幾何優(yōu)化,我們得到了零溫零壓下GaN晶體平衡狀態(tài)下的晶格常數(shù),體彈模量及體彈模量一階導(dǎo)數(shù),并在表1中列出實驗值及其它計算結(jié)果。Wurtzite結(jié)構(gòu)參數(shù)c和a與實驗值相近。體彈模量B為190 GPa,可以看到氮化鎵該結(jié)構(gòu)體積形變比較困難。體彈模量一階導(dǎo)數(shù)反應(yīng)了其形變變化快慢。可以發(fā)現(xiàn),我們的計算結(jié)果與這些結(jié)論一致。
表1 零溫零壓下氮化鎵的晶格參數(shù)(?),體彈模量(GPa)以及體彈模量一階導(dǎo)數(shù)
通過Murnaghan狀態(tài)方程[13],擬合總能量和體積,我們得到不同壓強,不同溫度下纖鋅礦結(jié)構(gòu)的氮化鎵熱膨脹系數(shù)的變化曲線。從圖1中可以看到,熱膨脹系數(shù)隨著壓力的增大,而緩慢增大;隨著溫度的升高而增大,且相比較壓力,熱膨脹系數(shù)對溫度較為敏感。
圖1 熱膨脹系數(shù)隨壓強與溫度之間的關(guān)系
圖2中,我們計算得到了在不同壓力下,纖鋅礦結(jié)構(gòu)氮化鎵的體積變化曲線。可以看到隨著壓力增加,體積逐漸減小,被壓縮的體積較微小。
圖2 體積隨壓強的變化關(guān)系
在圖3中,我們繪出了纖鋅礦結(jié)構(gòu)在不同溫度和壓力下的等體熱容。可以看到,在溫度較低時,熱容隨溫度迅速增加;當(dāng)升高到一定溫度時,熱容變化微小,趨近于一個極限值。而壓力對熱容的影響較小。
圖3 熱容隨溫度壓強變化曲線
文中運用基于密度泛函理論的SIESTA軟件,優(yōu)化幾何結(jié)構(gòu),計算氮化鎵晶體能量。晶格參數(shù)的計算與實驗測量所得到的吻合比較好,并計算了體彈模量。熱膨脹系數(shù)隨溫度、壓強的變化曲線,表明纖鋅礦結(jié)構(gòu)氮化鎵對溫度更加敏感。體積變化曲線及定體熱容曲線都表明,低壓強對于其熱力學(xué)性質(zhì)影響不大;定體熱容隨溫度變化趨近于一個極限值。