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    拓荊科技:在中國建立世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體薄膜設(shè)備公司

    2017-09-04 00:17
    中國經(jīng)貿(mào)導(dǎo)刊 2017年19期
    關(guān)鍵詞:沉積薄膜集成電路

    沈陽拓荊科技有限公司是國內(nèi)唯一能夠生產(chǎn)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的12英寸PECVD設(shè)備企業(yè)。公司自2010年成立至今,已申請(qǐng)專利318項(xiàng),其中發(fā)明專利220項(xiàng),國際專利25項(xiàng),已授權(quán)105項(xiàng)。形成了12英寸PECVD(等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備)、ALD(原子層沉積設(shè)備)、3D NAND PECVD(三維閃存專用薄膜設(shè)備)的三個(gè)完整系列產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于集成電路、3D-TSV、光波導(dǎo)、LED、3D-NAND閃存、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域,打破了國際壟斷,填補(bǔ)了多項(xiàng)國內(nèi)空白。公司董事長姜謙介紹,拓荊公司不斷占領(lǐng)市場(chǎng)的法寶,就是創(chuàng)新。產(chǎn)品已在中芯國際、長江存儲(chǔ)、廈門聯(lián)芯等國內(nèi)主流集成電路生產(chǎn)線上得到批量應(yīng)用。自籌資金開展研發(fā)的12英寸ALD設(shè)備,薄膜厚度的精確性可達(dá)到原子級(jí),在半導(dǎo)體、醫(yī)療器材、新能源、軍工等領(lǐng)域擁有廣泛的應(yīng)用前景。拓荊公司已成為國家集成電路產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略布局中的一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)企業(yè),吸引了國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金為首的戰(zhàn)略投資總額達(dá)8.1億元。拓荊公司未來的創(chuàng)新將繼續(xù)與市場(chǎng)緊密互動(dòng),積極配合客戶的應(yīng)用拓展,在28nm及以下通用介質(zhì)、非晶碳硬掩膜、三維閃存疊加層、ALD、14nm ULK/SiC等技術(shù)方面尋求突破,把握市場(chǎng)先機(jī)。endprint

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