• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    大偏離度非球面檢測(cè)畸變校正方法

    2017-06-07 08:24:31高松濤武東城苗二龍
    中國(guó)光學(xué) 2017年3期
    關(guān)鍵詞:非球面干涉儀畸變

    高松濤,武東城,苗二龍

    (中國(guó)科學(xué)院 長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 超精密光學(xué)工程研究中心,吉林 長(zhǎng)春 130033)

    大偏離度非球面檢測(cè)畸變校正方法

    高松濤*,武東城,苗二龍

    (中國(guó)科學(xué)院 長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 超精密光學(xué)工程研究中心,吉林 長(zhǎng)春 130033)

    在高數(shù)值孔徑(NA)投影光刻物鏡中,隨著數(shù)值孔徑的增加,非球面的偏離度越來(lái)越大。對(duì)這種大偏離度非球面進(jìn)行亞納米量級(jí)的檢測(cè),一直是光學(xué)檢測(cè)的一大難題。本文首先對(duì)一偏離度超過(guò)500 μm的偶次高次非球面進(jìn)行了計(jì)算全息圖(Computer-Generated Hologram,CGH)設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)出了滿足高精度面形檢測(cè)和刻蝕加工要求的CGH。然后,針對(duì)此設(shè)計(jì)方案,定量分析了CGH的成像畸變及畸變對(duì)像差分析的影響。分析結(jié)果表明,不同徑向位置的成像倍率偏差(畸變)最大達(dá)到了2.7∶1,并且由于畸變的存在,低階像差衍生出了明顯的高階像差。最后,針對(duì)用CGH檢測(cè)大偏離度非球面時(shí)出現(xiàn)的成像畸變,提出了采用光線追跡與最小二乘法相結(jié)合的成像畸變的校正方法,并通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了此方法的準(zhǔn)確性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,畸變校正之后相對(duì)剩余殘差小于0.2%,可以滿足高精度非球面檢測(cè)加工的要求。

    計(jì)算全息圖;CGH;畸變;非球面檢測(cè)

    1 引 言

    隨通常情況下,光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑越大,光線的入射角就越大,系統(tǒng)的像差就越難校正。此時(shí)如果采用非球面元件,則可以大大增加光學(xué)設(shè)計(jì)優(yōu)化的自由度,從而在降低光學(xué)系統(tǒng)復(fù)雜度的同時(shí),提升光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。正是由于非球面存在諸多優(yōu)點(diǎn),在高NA投影光刻物鏡中,都普遍采用非球面元件來(lái)提升像質(zhì)[1-2]。對(duì)于投影光刻物鏡而言,隨著NA的增加,不僅非球面的數(shù)量在增加,非球面的偏離度及梯度也在逐步增加[3-4]。對(duì)于這種大偏離度的非球面進(jìn)行亞納米量級(jí)的檢測(cè),一直是光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域的一大難題。

    目前,要實(shí)現(xiàn)對(duì)非球面的高精度檢測(cè),一般都采用零位補(bǔ)償法,即利用補(bǔ)償鏡[5-7]或者CGH[5,8-9],將干涉儀發(fā)出的球面波轉(zhuǎn)化為與非球面匹配的非球面波,從而實(shí)現(xiàn)零位檢測(cè)。當(dāng)非球面的偏離度梯度過(guò)大時(shí),補(bǔ)償鏡的設(shè)計(jì)往往較為困難,并且由于其含透鏡數(shù)量過(guò)多(可達(dá)4~6片),補(bǔ)償鏡的絕對(duì)精度很難保證。CGH作為二元衍射元件,其相位可以直接根據(jù)非球面方程及光路配置獲得,只要CGH的刻線不過(guò)于密集,并且多余的衍射級(jí)次不造成鬼像,從原理上來(lái)看,CGH可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大偏離度非球面的高精度檢測(cè)。

    在實(shí)際應(yīng)用中,用CGH檢測(cè)大偏離度非球面時(shí),往往會(huì)出現(xiàn)很大的成像畸變。系統(tǒng)的成像畸變主要來(lái)源于兩個(gè)方面,一方面是干涉儀,另一方向是CGH。當(dāng)前商用干涉儀的成像畸變一般較小,往往可以忽略。CGH在將干涉儀發(fā)出的球面波轉(zhuǎn)換為非球面波的同時(shí),往往會(huì)引入成像畸變;并且非球面偏離度(或偏離度梯度)越大,成像畸變?cè)酱?。成像畸變破壞了CCD像素坐標(biāo)到實(shí)際鏡面坐標(biāo)的線性映射關(guān)系,一方面使測(cè)量數(shù)據(jù)與鏡面實(shí)際位置發(fā)生錯(cuò)位,若用檢測(cè)的數(shù)據(jù)指導(dǎo)光學(xué)加工(特別是離子束面形精修,IBF),會(huì)影響光學(xué)加工的收斂性,另一方也會(huì)影響像差的分析精度。如果采用有效的畸變校正方法,可以實(shí)現(xiàn)高精度校正成像畸變,從而消除上述兩方面的影響。

    當(dāng)前,眾多論文在對(duì)成像畸變進(jìn)行校正時(shí),一般都采用“標(biāo)記點(diǎn)”法[10-14],即在被測(cè)面的特定位置上做標(biāo)記點(diǎn),進(jìn)行面形檢測(cè)之后,提取出標(biāo)記點(diǎn)在CCD坐標(biāo)的位置,根據(jù)標(biāo)記點(diǎn)在鏡面坐標(biāo)和CCD坐標(biāo)的對(duì)應(yīng)關(guān)系,利用特定的算法校正畸變。由于提取大量的標(biāo)記點(diǎn)坐標(biāo)比較費(fèi)時(shí)費(fèi)力,并且坐標(biāo)提取往往存在誤差,所以“標(biāo)記點(diǎn)”法一般適合于畸變相對(duì)較小、對(duì)畸變校正精度要求不高的系統(tǒng)。如果成像畸變較大,并且對(duì)畸變校正精度要求苛刻,則需要考慮采用新的畸變校正方法。為了解決這一問(wèn)題,論文針對(duì)一偏離度達(dá)到575 μm的高次非球面,首先設(shè)計(jì)出了滿足高精度面形檢測(cè)和刻蝕加工要求的CGH,然后定量分析了CGH所引入的畸變大小及畸變對(duì)像差分析的影響,最后采用光線追跡與最小二乘法相結(jié)合的方法,實(shí)現(xiàn)了對(duì)畸變的精確校正,并在實(shí)驗(yàn)上對(duì)校正精度進(jìn)行了驗(yàn)證。

    2 非球面檢測(cè)方案

    2.1 非球面方程

    對(duì)于偶次高次非球面,其方程可以表示為[15]:

    (1)

    圖1 非球面的偏離度和非球面梯度 Fig.1 Departure and slope of the asphere

    式中,z為非球面矢高,R為頂點(diǎn)曲率半徑,κ為二次曲面常數(shù),An為高階項(xiàng)系數(shù),M為高階項(xiàng)階數(shù),ρ為非球面的徑向坐標(biāo)。非球面的具體參數(shù)如表1所示,非球面偏離度及非球面梯度如圖1所示。從圖1可以看出,此非球面的偏離度達(dá)到了575 μm,最大梯度為48 μm/mm。

    2.2 CGH的設(shè)計(jì)

    CGH作為一種常用的檢測(cè)非球面的方法,其工作原理及設(shè)計(jì)方法已經(jīng)非常成熟,眾多文獻(xiàn)[16-19]給出了CGH相位和空間頻率的計(jì)算方法,論文此處不再贅述。但需要注意的是,CGH到非球面的距離、CGH到干涉儀焦點(diǎn)的距離需要恰當(dāng)選擇,從而使得CGH的刻線不過(guò)于密集,同時(shí)又可以避免多余衍射級(jí)次的鬼像。對(duì)于凹面非球面,在設(shè)計(jì)時(shí)一般選擇將CGH置于干涉儀焦點(diǎn)外側(cè)[16-17,19-21];但對(duì)于表1中所示的非球面,由于其非球面偏離度過(guò)大,如果選擇此種方案,為了實(shí)現(xiàn)對(duì)衍射級(jí)次的分離,需要增大CGH到干涉儀焦點(diǎn)的距離,最終使得干涉儀腔長(zhǎng)達(dá)到2 m。為了盡量減小干涉腔長(zhǎng),提高測(cè)量精度,考慮將CGH置于干涉儀焦點(diǎn)內(nèi)側(cè),最終選擇了類似凸面的檢測(cè)方案,如圖2(a)所示;該方案采用15.24 cm F/7.3 TS(Transmission Sphere),CGH前表面距離干涉儀焦點(diǎn)位置為-1 000 mm,CGH距離非球面距離為190 mm。CGH刻線的空間頻率如圖2(b)所示,最大的空間頻率為269 mm-1,對(duì)應(yīng)的刻線最小周期為3.72 μm,滿足加工要求。

    表1 非球面參數(shù)

    圖2 用CGH檢測(cè)非球面的光路圖和CGH刻線的空間頻率 Fig.2 Light path of testing asphere with CGH and spatial frequency of CGH

    3 CGH的成像畸變及其對(duì)像差的影響

    3.1 CGH的成像畸變

    根據(jù)圖2(a)所示的檢測(cè)光路圖,在Zemax軟件中,為了查看CGH的畸變,將非球面設(shè)為光闌,將Aperture Type設(shè)置為“Float By Stop Size”,并開(kāi)啟“Ray Aiming”功能,非球面與參考面上的Footprint分別如圖3(a)與圖3(b)所示。由于非球面為光闌,因此光線在非球面上實(shí)現(xiàn)了等間隔采樣;在參考面上,均勻的網(wǎng)格變的“扭曲”,此即為CGH引入的畸變。

    圖3 非球面與參考面上的Footprint Fig.3 Footprint of asphere and reference surface

    圖4 非球面不同的徑向位置在CCD上的分辨率 Fig.4 CCD resolution for the different radial positions of asphere

    假設(shè)CCD有效像素?cái)?shù)為Zygo干涉儀CCD像素?cái)?shù),非球面在CCD上所占的徑向尺寸比例為60%,忽略干涉儀自身的畸變,通過(guò)光線追跡可以獲得非球面不同的徑向位置在CCD上的分辨率,如圖4所示;從圖4中可以看出,不同的徑向位置分辨率差別極大,最大值與最小值分別為0.46 mm/pixel和0.17 mm/pixel。

    3.2 成像畸變對(duì)像差分析的影響

    對(duì)圖2(a)所示的光路進(jìn)行波像差分析,或者對(duì)非球面的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行分析時(shí),一般都會(huì)用到Zernike多項(xiàng)式。通過(guò)將波面誤差用Zernike進(jìn)行擬合,從而獲得各種像差的成分,即

    (2)

    式中,W(ρ,θ)為波面誤差,Zn(ρ,θ)為條紋Zernike的第n項(xiàng),cn為第n項(xiàng)Zernike系數(shù)。

    考慮到整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱,非對(duì)稱畸變(如偏心畸變)非常小,往往可以忽略。對(duì)于徑向畸變,存在如下關(guān)系[14]:

    (3)

    式中,k3、k5和k7等是畸變系數(shù)。

    以條紋Zernike的第三項(xiàng)(y方向傾斜)為例來(lái)分析畸變對(duì)像差的影響,若不存在畸變,則:

    (4)

    若存在畸變,將式(3)帶入式(4),則有:

    (5)

    從式(5)可以看出,如果存在畸變,傾斜(Z3)會(huì)衍生出彗差(Z8)和高階彗差(Z15、Z24等);與傾斜類似,離焦(Z4)會(huì)衍生出球差(Z9)和高階球差(Z16、Z25等)。實(shí)際上,只要存在畸變,低階像差都會(huì)衍生出更高階的像差。

    為了更直觀的觀察畸變對(duì)像差分析的影響,可以在Zemax軟件中進(jìn)行仿真分析。對(duì)于圖2(a)所示的檢測(cè)光路,若非球面傾斜0.001°,分別以非球面和參考面為光闌,對(duì)應(yīng)的干涉圖及波面的Zernike系數(shù)如圖5所示。以非球面為光闌時(shí),實(shí)現(xiàn)了在非球面上均勻采樣,非球面傾斜引入的主要像差為傾斜(彗差及高階彗差非常小);以參考面為光闌時(shí),光線在參考面上均勻采樣,但由于CGH存在較大的成像畸變,分析結(jié)果將受到畸變的影響,所以像差除了傾斜外,還包含彗差與高階彗差,與式(5)的分析結(jié)果相符。所以,在用圖2(a)所示的檢測(cè)光路進(jìn)行分析時(shí),需要將非球面設(shè)置為光闌,從而避免CGH的成像畸變對(duì)像差分析造成影響。

    圖5 非球面傾斜0.001度時(shí),分別以非球面和參考面為光闌,仿真獲得的干涉圖與Zernike系數(shù);(a)以非球面為光闌時(shí)的干涉圖;(b)以參考面為光闌時(shí)的干涉圖;(c)以非球面為光闌時(shí)的Zernike系數(shù);(d) 以參考面為光闌時(shí)的Zernike系數(shù) Fig.5 Interferograms and Zernike coefficients generated by simulation when the asphere and reference surface are set as stop respectively, and the tilt of asphere is set 0.001 degree; (a)Interferogram when the asphere is set as stop. (b)Interferogram when the reference surface is set as stop. (c)Zernike coefficients when the asphere is set as stop. (d)Zernike coefficients when the reference surface is set as stop

    4 畸變校正與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證

    4.1 畸變校正

    設(shè)非球面上的徑向坐標(biāo)為ρAsp,與之對(duì)應(yīng)的參考面和CCD的坐標(biāo)分別為ρRef和ρCCD,考慮到CGH的成像畸變,則有:

    (6)

    式中,k1表示放大倍率系數(shù),k2n-1(n≥2)表示畸變系數(shù),N表示總項(xiàng)數(shù)。

    若干涉儀的畸變可以忽略,則:

    (7)

    式中,t為放大倍率系數(shù)。

    設(shè)非球面的通光口徑半徑為RAsp,與之對(duì)應(yīng)的參考面和CCD坐標(biāo)分別為RRef和RCCD,將式(7)帶入式(6),并將坐標(biāo)進(jìn)行歸一化,則:

    (8)

    利用圖2(a)所示的光路圖,采用光線追跡法,可以獲得rAsp和rRef;而后利用式(8),選定多項(xiàng)式項(xiàng)數(shù),采用最小二乘法,可以獲得擬合出系數(shù){s2n-1};最后利用獲得的擬合系數(shù)和式(8),通過(guò)插值法即可完成對(duì)干涉圖(相位圖)的畸變校正。當(dāng)采用不同的畸變階數(shù)進(jìn)行擬合時(shí),擬合殘差如圖6所示;從圖6中可以看出,由于畸變較大(特別是高階畸變較大),只有采用較高的擬合階數(shù),才能達(dá)到較高的擬合精度(殘差最大偏差小于0.1像素)。對(duì)于這種高次多項(xiàng)式的擬合,為了達(dá)到較高的精度,往往需要很多的采樣點(diǎn),如果采用傳統(tǒng)的“標(biāo)記點(diǎn)”法,往往非常費(fèi)時(shí)費(fèi)力,并且標(biāo)記點(diǎn)的提取精度也會(huì)影響最終的校正精度;但如果采用光線追跡法,則會(huì)更加方便高效。

    圖6 采用不同的擬合階數(shù)進(jìn)行擬合時(shí)的剩余殘差 Fig.6 Fitting residuals when using different fitting orders

    需要注意的是,上述分析過(guò)程,忽略了干涉儀本身畸變的影響。實(shí)際上,如果可以獲得干涉儀內(nèi)部的光學(xué)參數(shù),干涉儀自身的成像畸變也可以通過(guò)光線追跡獲得。但對(duì)于普通商用的干涉儀,干涉儀內(nèi)部光學(xué)參數(shù)往往是不公開(kāi)的,因此不能采用光線追跡法獲得干涉儀的畸變。不過(guò)當(dāng)前商用干涉儀的畸變往往都很小,如果可以忽略,則可以方便的利用上述方法來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)畸變的精確校正。

    4.2 干涉儀成像畸變

    為了明確干涉儀自身畸變的大小,采用“標(biāo)記點(diǎn)”法對(duì)畸變進(jìn)行測(cè)量。首先,在鏡面上用激光打標(biāo)機(jī)做“+”形標(biāo)記;然后用影像儀測(cè)量標(biāo)記點(diǎn)真實(shí)的坐標(biāo)位置;最后,在干涉圖中提取標(biāo)記點(diǎn)在CCD坐標(biāo)下的位置,如圖7所示。通過(guò)對(duì)比標(biāo)記點(diǎn)的真實(shí)坐標(biāo)位置與CCD坐標(biāo)位置,從而可以獲得干涉儀的畸變。計(jì)算結(jié)果表明,干涉儀的成像畸變約為0.08%,干涉儀成像畸變可以忽略不計(jì)。

    圖7 (a)帶有標(biāo)記點(diǎn)的干涉圖;(b)在干涉圖中提取標(biāo)記點(diǎn)坐標(biāo) Fig.7 (a)Interferogram with fiducials; (b)Extracting the coordinates of fiducials on the interferogram

    圖8 CGH的實(shí)物圖 Fig.8 Image of CGH

    4.3 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證

    圖9 (a)畸變校正之前的干涉圖;(b)畸變校正之后的干涉圖 Fig.9 (a)Interferogram before correcting distortion; (b)Interferogram after correcting distortion

    針對(duì)圖2(a)所示的CGH設(shè)計(jì)方案,加工制作了CGH,如圖8所示,并用此CGH完成了對(duì)非球面的檢測(cè)。為了從實(shí)驗(yàn)上驗(yàn)證4.1中所論述的畸變校正方法,用數(shù)控機(jī)床在非球面上做了均勻網(wǎng)格標(biāo)記點(diǎn),畸變校正前后的干涉圖如圖9所示。從圖9(a)上可以看出,原本均勻的網(wǎng)格,扭曲為圖3(b)仿真出的形狀;由于徑向的放大倍率變化很大(畸變很大),原本為圓形的標(biāo)記點(diǎn)變成了橢圓形。從圖9(b)可以看出,完成畸變校正之后,扭曲的標(biāo)記點(diǎn)網(wǎng)格又變?yōu)榫鶆蚓W(wǎng)格,并且標(biāo)記點(diǎn)形狀恢復(fù)為圓形。對(duì)比標(biāo)記點(diǎn)的真實(shí)坐標(biāo)與校正之后的坐標(biāo),相對(duì)殘差如圖10所示,相對(duì)殘差<0.2%,可以滿足高精度非球面檢測(cè)加工的要求,非球面的檢測(cè)結(jié)果如圖11所示。

    圖10 畸變校正的相對(duì)殘差 Fig.10 Relative residual of distortion correction

    圖11 非球面檢測(cè)結(jié)果 Fig.11 Testing result of asphere

    5 結(jié) 論

    針對(duì)一大偏離度高偶次非球面,首先完成了CGH的設(shè)計(jì);該設(shè)計(jì)通過(guò)將CGH置于干涉儀焦點(diǎn)內(nèi)側(cè),在明顯縮短干涉腔長(zhǎng)度的同時(shí),實(shí)現(xiàn)了對(duì)CGH多余衍射級(jí)次的分離,從而避免了衍射鬼像的干擾,同時(shí)保證CGH的刻線密度滿足刻蝕加工的要求。然后,針對(duì)該檢測(cè)方案,定量分析了CGH的成像畸變及畸變對(duì)像差分析的影響;分析結(jié)果表明,不同徑向位置的成像倍率偏差(畸變)最大達(dá)到了2.7∶1,并且由于畸變的存在,低階像差衍生出了明顯的高階像差。最后,通過(guò)將光線追跡與最小二乘法相結(jié)合,給出了成像畸變的校正方法,并通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了此方法的準(zhǔn)確性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,校正之后的殘差小于0.2%,可以滿足高精度非球面檢測(cè)加工的要求。

    [1] IKEZAWA H,OHMURA Y,MATSUYAMA T,etal.. A hyper-NA projection lens for ArF immersion exposure tool[J].SPIE,2006,6154:615421.

    [3] ROSTALSKI H J,DODOC A,ULRICH W,etal.. Projection optical system:US,0258152 A1[P]. 2007-11-08.

    [4] DODOC A. High-NA projection objective:US,7848016 B2[P]. 2010-12-07.

    [5] 師途,楊甬英,張磊,等.非球面光學(xué)元件的面形檢測(cè)技術(shù)[J].中國(guó)光學(xué),2014,7(1):26-46. SHI T,YANG Y Y,ZHANG L,etal.. Surface testing methods of aspheric optical elements[J].ChineseOptics,2014,7(1):26-46.(in Chinese)

    [6] OFFNER A. A null corrector for paraboloidal mirrors[J].AppliedOptics,1963,2(2):153-155.

    [7] KIM Y S,KIM B Y,LEE Y W. Design of null lenses for testing of elliptical surfaces[J].AppliedOptics,2001,40(19):3215-3219.

    [8] WYANT J C,BENNETT V P. Using computer generated holograms to test aspheric wavefronts[J].AppliedOptics,1972,11(12):2833-2839.

    [9] BURGE J. A null test for null correctors-error analysis[J].QualityandReliabilityforOpticalSystems,1993,1993:86-97.

    [10] 李銳鋼,鄭立功,薛棟林,等.大口徑高次、離軸非球面干涉測(cè)量中投影畸變的標(biāo)定方法[J].光學(xué) 精密工程,2006,14(4): 533-538. LI R G,ZHENG L G,XUE D L,etal.. Calibration method for projection distortion in interferometric testing high order and off-axis aspheric surface with big aperture[J].Opt.PrecisionEng.,2006,14(4):533-538.(in Chinese)

    [11] ZHAO C Y,BURGE J. Orthonormal vector polynomials in a unit circle, application: fitting mapping distortions in a null test[J].SPIE,2009,7426:74260V1-74260V8.

    [12] NOVAK M,ZHAO C Y,BURGE J. Distortion mapping correction in aspheric null testing[J].SPIE,2008,7063:7063131-7063138.

    [13] 王會(huì)峰.一種成像測(cè)量圖像徑向幾何畸變的校正方法[J].應(yīng)用光學(xué),2010,31(1):55-59. WANG H F. Radial geometrical distortion correction in imaging measurement system[J].J.AppliedOptics,2010,31(1):55-59.(in Chinese)

    [14] 高松濤,王高文,張健,等.用計(jì)算全息圖校正非球面的畸變[J].光學(xué) 精密工程,2013,21(8):1929-1935. GAO S T,WANG G W,ZHANG J,etal.. The distortion correction of asphere testing with computer-generated hologram[J].Opt.PrecisionEng.,2013,21(8):1929-1935.(in Chinese)

    [15] 高松濤,隋永新,楊懷江.用計(jì)算全息圖對(duì)非球面的高精度檢測(cè)與誤差評(píng)估[J].光學(xué)學(xué)報(bào),2013,33(6):0612003. GAO S T,SUI Y X,YANG H J. High precise testing of asphere with computer-generated hologram and error evaluation[J].ActaOpticaSinica,2013,33(6):0612003.(in Chinese)

    [16] XIE Y,CHEN Q,WU F. Design of twin computer-generated holograms used for testing concave conic mirrors[J].SPIE,1995,6723:67235S.

    [17] QI Y J,WANG P,JIANG Y. Design of CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method[J].SPIE,2007,6723:672362.

    [18] 許英朝,張新,周平.一種三次非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的相位板的檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J].光學(xué)學(xué)報(bào),2008,28(5):971-975. XU Y CH,ZHANG X,ZHOU P. Optical design for unsymmetrical aspherical cubic phase plate testing system[J].ActaOpticaSinica,2008,28(5):971-975.(in Chinese)

    [19] 謝意,陳強(qiáng),伍凡,等.用雙計(jì)算全息圖檢測(cè)凹非球面[J].光學(xué)學(xué)報(bào),28(7):1313-1317. XIE Y,CHEN Q,WU F,etal.. Concave asphereical surface testing with computer-generated holograms[J].ActaOpticaSinica,2008,28(7):1313-1317.(in Chinese)

    [20] 高松濤,武東城,彭石軍,等.用計(jì)算全息圖檢測(cè)非球面時(shí)的自補(bǔ)償效應(yīng)分析[J].光學(xué)學(xué)報(bào),2015,35(11):1112002. GAO S T,WU D CH,PENG SH J,etal.. Self-compensating effect analysis in testing asphere with computer-generated hologram[J].ActaOpticaSinica,2015,35(11):1112002.(in Chinese)

    [21] 黃亞,馬俊,朱日宏,等.基于計(jì)算全息的光學(xué)自由曲面測(cè)量不確定度分析[J].光學(xué)學(xué)報(bào),2015,35(11):1112007. HUANG Y,MA J,ZHU R H,etal.. Investigation of measurement uncertainty of optical freeform surface based on Compurter-Generated Hologram[J].ActaOpticaSinica,2015,35(11):1112007.(in Chinese)

    Distortion correcting method when testing large-departure asphere

    GAO Song-tao*, WU Dong-cheng, MIAO Er-long

    (EngineeringResearchCenterofExtremePrecisionOptics,StateKeyLaboratoryofAppliedOptics,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China)

    With the increase in numerical aperture, the aspheric departure is also increasing in the high-NA projection objective. It is a problem to test the large-departure asphere in nanometers in the optical metrology. For an asphere with aspheric departure exceeding 500 micrometers, firstly, we design a CGH to satisfy the demands of high precise testing and etching fabrication. Secondly, the imaging distortion and the effect of distortion on aberration are analyzed quantitatively. The analysis results show that the maximum magnification deviation is 2.7∶1 for the different radial positions, and the low order aberrations will generate high order aberrations obviously. Lastly, we propose the ray trace and least square method to correct the imaging distortion when testing large-departure asphere with CGH, and verify the precision of the method through the experiments. The results show that the relative residue is less than 0.2% after correcting, and the precision will satisfy the demands of high precise optical testing and fabrication.

    computer-generated hologram;CGH;distortion;asphere testing

    2017-01-13;

    2017-02-24

    國(guó)家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.2009ZX02205) Supported by National Science and Technology Major Project of China(No.2009ZX02205)

    2095-1531(2017)03-0383-08

    O436.1

    A

    10.3788/CO.20171003.0383

    高松濤(1985—),男,河南郟縣人,博士,助理研究員,主要從事高精度非球面面形檢測(cè)技術(shù)方面的研究。E-mail:gaost965@126.com

    *Correspondingauthor,E-mail:gaost965@126.com

    猜你喜歡
    非球面干涉儀畸變
    基于改進(jìn)的邁克爾遜干涉儀對(duì)熱變形特性的研究
    用于原子干涉儀的光學(xué)鎖相環(huán)系統(tǒng)
    非對(duì)稱干涉儀技術(shù)及工程實(shí)現(xiàn)
    在Lightroom中校正鏡頭與透視畸變
    基于最優(yōu)模糊的均勻圓陣干涉儀測(cè)向算法
    航天相機(jī)非球面光學(xué)元件的離子束拋光工藝研究
    輻射誘導(dǎo)染色體畸變的快速FISH方法的建立
    微小非球面納米拋光工藝研究
    《癌變·畸變·突變》2014年第26卷索引
    《癌變·畸變·突變》第六屆編委會(huì)第2次會(huì)議紀(jì)要
    最新在线观看一区二区三区| 中文字幕人成人乱码亚洲影| 757午夜福利合集在线观看| xxx96com| 国产一区二区三区在线臀色熟女| 99在线人妻在线中文字幕| 亚洲欧美日韩无卡精品| 国产精品综合久久久久久久免费| 欧美日韩精品网址| 国产av麻豆久久久久久久| 欧美极品一区二区三区四区| 男女下面进入的视频免费午夜| 国产一级毛片七仙女欲春2| 成人国产一区最新在线观看| 国产精品久久久久久精品电影| 免费大片18禁| 99精品久久久久人妻精品| 国产亚洲欧美98| 成人精品一区二区免费| 久久精品91蜜桃| 12—13女人毛片做爰片一| 91麻豆精品激情在线观看国产| 变态另类丝袜制服| 日韩欧美三级三区| 午夜福利视频1000在线观看| 99久久综合精品五月天人人| 亚洲欧美日韩东京热| 九九在线视频观看精品| 国产真实伦视频高清在线观看 | 国产高清三级在线| 岛国在线观看网站| 中文字幕av成人在线电影| 88av欧美| 亚洲七黄色美女视频| 久久婷婷人人爽人人干人人爱| 国产精品一区二区三区四区久久| 亚洲av熟女| 午夜激情欧美在线| 日本在线视频免费播放| 在线国产一区二区在线| 亚洲av成人不卡在线观看播放网| 国产主播在线观看一区二区| 五月玫瑰六月丁香| 色播亚洲综合网| 舔av片在线| 成人av在线播放网站| 久久草成人影院| 丰满人妻熟妇乱又伦精品不卡| 中国美女看黄片| 最后的刺客免费高清国语| 亚洲av电影不卡..在线观看| 18+在线观看网站| netflix在线观看网站| ponron亚洲| 国产一区二区在线观看日韩 | 99在线视频只有这里精品首页| 69av精品久久久久久| 色精品久久人妻99蜜桃| 亚洲国产中文字幕在线视频| 日本一本二区三区精品| 搞女人的毛片| 久久这里只有精品中国| 我要搜黄色片| 欧美日韩亚洲国产一区二区在线观看| 香蕉久久夜色| 精品不卡国产一区二区三区| 丁香欧美五月| 综合色av麻豆| 99在线视频只有这里精品首页| 一级毛片女人18水好多| 欧美日韩综合久久久久久 | 午夜精品久久久久久毛片777| 人妻久久中文字幕网| 国产成人av激情在线播放| 亚洲电影在线观看av| 国产真实伦视频高清在线观看 | 亚洲最大成人中文| 热99在线观看视频| 日本免费a在线| 国产日本99.免费观看| 一本精品99久久精品77| 日韩精品中文字幕看吧| 国产精品,欧美在线| 18禁在线播放成人免费| 亚洲五月婷婷丁香| 亚洲一区高清亚洲精品| 国产 一区 欧美 日韩| 熟妇人妻久久中文字幕3abv| 亚洲av成人不卡在线观看播放网| 88av欧美| 宅男免费午夜| 午夜老司机福利剧场| 欧美成人a在线观看| 久久久国产精品麻豆| 国产高清有码在线观看视频| 久久久久性生活片| 久久久久久久久中文| 亚洲精品在线观看二区| 免费av毛片视频| 搡女人真爽免费视频火全软件 | 国产成人欧美在线观看| 毛片女人毛片| 桃红色精品国产亚洲av| 免费看十八禁软件| 美女 人体艺术 gogo| 男人的好看免费观看在线视频| 夜夜爽天天搞| 欧美成人性av电影在线观看| 一区二区三区免费毛片| 中国美女看黄片| 午夜精品在线福利| 一进一出抽搐动态| 久久精品国产亚洲av香蕉五月| 动漫黄色视频在线观看| 国产99白浆流出| 国产一区二区在线av高清观看| 最后的刺客免费高清国语| 国产成人欧美在线观看| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 日韩成人在线观看一区二区三区| 在线免费观看的www视频| 午夜a级毛片| АⅤ资源中文在线天堂| 麻豆成人午夜福利视频| 国产精品电影一区二区三区| 女同久久另类99精品国产91| www.色视频.com| 美女cb高潮喷水在线观看| 中出人妻视频一区二区| 色尼玛亚洲综合影院| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 色噜噜av男人的天堂激情| 亚洲真实伦在线观看| 亚洲av电影在线进入| 亚洲欧美日韩高清专用| 国产伦在线观看视频一区| 在线观看av片永久免费下载| 国产私拍福利视频在线观看| 欧美色视频一区免费| 在线播放国产精品三级| 亚洲中文字幕日韩| 免费av毛片视频| 99国产综合亚洲精品| 精品午夜福利视频在线观看一区| 久久精品国产亚洲av涩爱 | 国产精品野战在线观看| 一进一出抽搐gif免费好疼| 97超视频在线观看视频| 好男人在线观看高清免费视频| 国产成人aa在线观看| 亚洲精品国产精品久久久不卡| 一个人观看的视频www高清免费观看| 色在线成人网| 成年女人看的毛片在线观看| 熟妇人妻久久中文字幕3abv| 久久久久久久久中文| 成人18禁在线播放| 麻豆成人午夜福利视频| 国内毛片毛片毛片毛片毛片| 国产一区二区亚洲精品在线观看| 国产一区二区激情短视频| 国产一区二区在线av高清观看| 国产精品 国内视频| 亚洲最大成人手机在线| 欧美成狂野欧美在线观看| 欧美在线一区亚洲| 九九热线精品视视频播放| 香蕉av资源在线| 亚洲一区二区三区不卡视频| aaaaa片日本免费| 色视频www国产| 亚洲国产中文字幕在线视频| 国产综合懂色| 看免费av毛片| 两个人看的免费小视频| 中文字幕久久专区| 99久久综合精品五月天人人| 亚洲avbb在线观看| 国产亚洲欧美98| 亚洲欧美激情综合另类| 51国产日韩欧美| 午夜激情欧美在线| 亚洲一区高清亚洲精品| 久99久视频精品免费| 亚洲人与动物交配视频| 日本 欧美在线| 日韩欧美精品v在线| 国产精品98久久久久久宅男小说| 亚洲在线自拍视频| 久久久国产成人精品二区| 亚洲欧美日韩高清在线视频| 欧美最黄视频在线播放免费| 中文资源天堂在线| 白带黄色成豆腐渣| 精品久久久久久久人妻蜜臀av| 色尼玛亚洲综合影院| 国产精华一区二区三区| 天天躁日日操中文字幕| 99国产精品一区二区蜜桃av| 亚洲av第一区精品v没综合| 色综合站精品国产| 亚洲内射少妇av| 国产一区二区在线av高清观看| 草草在线视频免费看| 色噜噜av男人的天堂激情| 国产精品香港三级国产av潘金莲| 亚洲专区中文字幕在线| 老汉色∧v一级毛片| 欧美三级亚洲精品| 精品一区二区三区av网在线观看| 亚洲在线观看片| 午夜精品在线福利| 午夜福利视频1000在线观看| 俺也久久电影网| 制服人妻中文乱码| 一进一出抽搐gif免费好疼| 国产极品精品免费视频能看的| 亚洲国产精品sss在线观看| 婷婷精品国产亚洲av在线| 亚洲av成人不卡在线观看播放网| 亚洲成人久久性| 色哟哟哟哟哟哟| 久久久久久九九精品二区国产| 精品国产超薄肉色丝袜足j| 国产高清视频在线播放一区| 国产精品影院久久| 搡女人真爽免费视频火全软件 | 国产精品野战在线观看| 午夜久久久久精精品| 窝窝影院91人妻| 成人永久免费在线观看视频| 国产爱豆传媒在线观看| 国产高清激情床上av| 亚洲18禁久久av| 久久久久久久久大av| 黄片小视频在线播放| 麻豆国产97在线/欧美| 少妇丰满av| 男女下面进入的视频免费午夜| 久久精品夜夜夜夜夜久久蜜豆| 亚洲精品美女久久久久99蜜臀| 欧美性猛交╳xxx乱大交人| 亚洲五月天丁香| 亚洲成av人片免费观看| 日本一二三区视频观看| 18美女黄网站色大片免费观看| 最近视频中文字幕2019在线8| 露出奶头的视频| 亚洲内射少妇av| 亚洲熟妇熟女久久| 国产黄a三级三级三级人| 日韩高清综合在线| 国产亚洲精品av在线| 91在线观看av| 国产伦在线观看视频一区| 夜夜躁狠狠躁天天躁| 高潮久久久久久久久久久不卡| 亚洲一区高清亚洲精品| 美女cb高潮喷水在线观看| 欧美一区二区国产精品久久精品| 1024手机看黄色片| 久久久精品大字幕| 亚洲无线观看免费| 亚洲一区二区三区不卡视频| 国产成+人综合+亚洲专区| 免费人成在线观看视频色| 又黄又粗又硬又大视频| 黄色成人免费大全| 99久久99久久久精品蜜桃| 国产老妇女一区| 白带黄色成豆腐渣| 国产精品98久久久久久宅男小说| 身体一侧抽搐| 国产爱豆传媒在线观看| 日本五十路高清| 欧美bdsm另类| 欧美bdsm另类| 国产私拍福利视频在线观看| 99在线人妻在线中文字幕| 国产高清有码在线观看视频| 久久九九热精品免费| 一区二区三区免费毛片| 亚洲精品456在线播放app | 99在线视频只有这里精品首页| 日本a在线网址| 成年女人永久免费观看视频| or卡值多少钱| 精品免费久久久久久久清纯| 18禁美女被吸乳视频| 免费人成视频x8x8入口观看| 在线观看午夜福利视频| 青草久久国产| 成人18禁在线播放| 久久久久免费精品人妻一区二区| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 国产精品综合久久久久久久免费| 神马国产精品三级电影在线观看| 日本 av在线| 国产国拍精品亚洲av在线观看 | 岛国视频午夜一区免费看| 90打野战视频偷拍视频| 啪啪无遮挡十八禁网站| 男女之事视频高清在线观看| 深爱激情五月婷婷| 日韩高清综合在线| 18美女黄网站色大片免费观看| 亚洲人与动物交配视频| 欧美日韩国产亚洲二区| 一a级毛片在线观看| 岛国在线免费视频观看| 黑人欧美特级aaaaaa片| av天堂中文字幕网| 亚洲电影在线观看av| 日韩精品青青久久久久久| 国产真实伦视频高清在线观看 | 男女床上黄色一级片免费看| 国产精品女同一区二区软件 | 蜜桃久久精品国产亚洲av| 国产高清三级在线| 两个人的视频大全免费| 九九久久精品国产亚洲av麻豆| 亚洲欧美日韩卡通动漫| 国产精品亚洲av一区麻豆| 好看av亚洲va欧美ⅴa在| 亚洲成人精品中文字幕电影| 少妇的逼好多水| 亚洲黑人精品在线| 成熟少妇高潮喷水视频| 搞女人的毛片| 亚洲真实伦在线观看| 舔av片在线| 欧美极品一区二区三区四区| 9191精品国产免费久久| 亚洲电影在线观看av| 国产精品av视频在线免费观看| 99国产综合亚洲精品| 搡老妇女老女人老熟妇| 性欧美人与动物交配| 国产69精品久久久久777片| 一级黄片播放器| 熟女少妇亚洲综合色aaa.| 91麻豆av在线| 99热精品在线国产| 久久香蕉精品热| 国产精品久久久久久亚洲av鲁大| 色哟哟哟哟哟哟| 国产精品99久久99久久久不卡| 日日夜夜操网爽| 97超级碰碰碰精品色视频在线观看| netflix在线观看网站| 亚洲欧美日韩无卡精品| АⅤ资源中文在线天堂| 天美传媒精品一区二区| 国产精品久久视频播放| 丰满人妻熟妇乱又伦精品不卡| 欧美区成人在线视频| 日韩欧美国产一区二区入口| 亚洲av二区三区四区| 人妻夜夜爽99麻豆av| www日本黄色视频网| 88av欧美| 亚洲av电影在线进入| 搡老妇女老女人老熟妇| 狂野欧美白嫩少妇大欣赏| 欧美乱色亚洲激情| 久久精品国产亚洲av香蕉五月| 国产精品免费一区二区三区在线| 国内揄拍国产精品人妻在线| 深夜精品福利| 成年女人永久免费观看视频| 最近在线观看免费完整版| 一卡2卡三卡四卡精品乱码亚洲| 国产色婷婷99| 国产毛片a区久久久久| 美女免费视频网站| 嫁个100分男人电影在线观看| 老司机福利观看| 色av中文字幕| 蜜桃久久精品国产亚洲av| 国产色爽女视频免费观看| 免费无遮挡裸体视频| 1000部很黄的大片| 亚洲精品美女久久久久99蜜臀| 97超级碰碰碰精品色视频在线观看| 9191精品国产免费久久| 国产亚洲欧美在线一区二区| 亚洲国产色片| 午夜久久久久精精品| 一本精品99久久精品77| 成熟少妇高潮喷水视频| 日日夜夜操网爽| 久久久久免费精品人妻一区二区| 亚洲一区二区三区不卡视频| 国产真人三级小视频在线观看| 成年免费大片在线观看| 又粗又爽又猛毛片免费看| 国产欧美日韩一区二区精品| 午夜精品一区二区三区免费看| 国产精品99久久久久久久久| 国产精品一区二区三区四区免费观看 | 老熟妇乱子伦视频在线观看| 婷婷精品国产亚洲av在线| 波多野结衣高清作品| 最近在线观看免费完整版| 久久精品国产99精品国产亚洲性色| 天堂影院成人在线观看| 在线十欧美十亚洲十日本专区| 久久久久国产精品人妻aⅴ院| 色哟哟哟哟哟哟| 亚洲中文字幕日韩| 久久亚洲精品不卡| 亚洲欧美日韩高清专用| 韩国av一区二区三区四区| 日本黄色视频三级网站网址| 国产三级在线视频| 久久中文看片网| 18美女黄网站色大片免费观看| 色综合欧美亚洲国产小说| 午夜免费男女啪啪视频观看 | 国产精品女同一区二区软件 | 国产精品国产高清国产av| 亚洲av免费在线观看| 亚洲久久久久久中文字幕| 亚洲中文日韩欧美视频| 国产亚洲精品一区二区www| av天堂中文字幕网| 国产蜜桃级精品一区二区三区| 亚洲av电影在线进入| 一级黄片播放器| 成熟少妇高潮喷水视频| 国产伦精品一区二区三区四那| 91字幕亚洲| 天天添夜夜摸| av专区在线播放| 宅男免费午夜| 人妻久久中文字幕网| 波野结衣二区三区在线 | 国产av麻豆久久久久久久| 亚洲成人久久性| 国产精品免费一区二区三区在线| 国产精华一区二区三区| 亚洲国产中文字幕在线视频| 国产亚洲精品综合一区在线观看| av在线蜜桃| 搡女人真爽免费视频火全软件 | 日韩欧美在线乱码| 久久精品影院6| 国产精品久久视频播放| www日本在线高清视频| 久久精品国产自在天天线| 99精品在免费线老司机午夜| 淫妇啪啪啪对白视频| 久久国产精品影院| 好男人电影高清在线观看| 长腿黑丝高跟| 夜夜爽天天搞| 国产单亲对白刺激| 国产成+人综合+亚洲专区| 女人高潮潮喷娇喘18禁视频| 我要搜黄色片| 夜夜夜夜夜久久久久| 国产伦在线观看视频一区| 日本五十路高清| 欧美性猛交黑人性爽| 别揉我奶头~嗯~啊~动态视频| 一级毛片女人18水好多| 久久香蕉精品热| 国产免费av片在线观看野外av| 欧美激情在线99| 老师上课跳d突然被开到最大视频 久久午夜综合久久蜜桃 | 每晚都被弄得嗷嗷叫到高潮| 久久中文看片网| 成年人黄色毛片网站| 国产色婷婷99| 亚洲专区中文字幕在线| 欧美日韩乱码在线| 久久国产精品人妻蜜桃| 男人舔奶头视频| 听说在线观看完整版免费高清| 久久精品国产99精品国产亚洲性色| 岛国在线观看网站| 国产一区在线观看成人免费| 18禁美女被吸乳视频| 精品午夜福利视频在线观看一区| 精品不卡国产一区二区三区| 综合色av麻豆| 激情在线观看视频在线高清| 精品电影一区二区在线| 99国产精品一区二区蜜桃av| 欧美日本视频| 亚洲精品国产精品久久久不卡| 久久国产精品人妻蜜桃| 欧美午夜高清在线| 午夜精品一区二区三区免费看| 听说在线观看完整版免费高清| 国产熟女xx| 久久精品综合一区二区三区| 国产成人av激情在线播放| 日韩欧美精品v在线| 禁无遮挡网站| 亚洲精品一卡2卡三卡4卡5卡| 亚洲无线在线观看| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美 | 一个人免费在线观看电影| 日韩欧美国产在线观看| 中文字幕av成人在线电影| 最后的刺客免费高清国语| 欧美不卡视频在线免费观看| 深爱激情五月婷婷| 中文资源天堂在线| 变态另类丝袜制服| 高潮久久久久久久久久久不卡| 国产伦精品一区二区三区视频9 | 色尼玛亚洲综合影院| 欧美bdsm另类| 国产单亲对白刺激| 又紧又爽又黄一区二区| 90打野战视频偷拍视频| 观看免费一级毛片| 免费av毛片视频| 蜜桃久久精品国产亚洲av| 一区福利在线观看| 国产日本99.免费观看| 每晚都被弄得嗷嗷叫到高潮| 亚洲最大成人手机在线| 国产精品1区2区在线观看.| 国产精品久久久久久人妻精品电影| 色综合婷婷激情| 长腿黑丝高跟| 两个人看的免费小视频| 午夜福利18| 日本撒尿小便嘘嘘汇集6| 国产高清视频在线播放一区| 99久久无色码亚洲精品果冻| 岛国在线观看网站| 欧美一区二区亚洲| 国产午夜精品论理片| 性色av乱码一区二区三区2| 老熟妇乱子伦视频在线观看| 熟女人妻精品中文字幕| 亚洲美女视频黄频| 18+在线观看网站| 久久久久国内视频| 91久久精品电影网| 中文字幕精品亚洲无线码一区| 午夜福利在线在线| 日韩有码中文字幕| 亚洲成人免费电影在线观看| 欧美成人一区二区免费高清观看| 亚洲精品一卡2卡三卡4卡5卡| 99久久无色码亚洲精品果冻| 国产精品98久久久久久宅男小说| 一区二区三区免费毛片| 久久久久国产精品人妻aⅴ院| 最近最新中文字幕大全免费视频| 国产精品亚洲美女久久久| 岛国在线免费视频观看| 又紧又爽又黄一区二区| 日本黄色片子视频| 亚洲国产欧洲综合997久久,| 国产毛片a区久久久久| 一边摸一边抽搐一进一小说| 国产亚洲精品久久久久久毛片| 国产精华一区二区三区| 欧美区成人在线视频| 中亚洲国语对白在线视频| 婷婷亚洲欧美| 两个人视频免费观看高清| 免费av观看视频| 免费高清视频大片| 啦啦啦韩国在线观看视频| 国产成年人精品一区二区| 国产探花在线观看一区二区| 有码 亚洲区| 国产亚洲精品综合一区在线观看| 国产精品精品国产色婷婷| 9191精品国产免费久久| 黄色视频,在线免费观看| 欧美乱码精品一区二区三区| 男女之事视频高清在线观看| 特级一级黄色大片| 女人十人毛片免费观看3o分钟| 国产精品乱码一区二三区的特点| 日日干狠狠操夜夜爽| 女同久久另类99精品国产91| 俺也久久电影网| 中文亚洲av片在线观看爽| 国产亚洲av嫩草精品影院| 亚洲成人久久性| 无人区码免费观看不卡| 美女免费视频网站| 国产色爽女视频免费观看| 91在线精品国自产拍蜜月 | 老鸭窝网址在线观看| 亚洲成人免费电影在线观看| 国产欧美日韩一区二区精品| 欧美一区二区精品小视频在线| 在线免费观看不下载黄p国产 | 日本黄色片子视频| 成人三级黄色视频| 亚洲久久久久久中文字幕| 丰满人妻一区二区三区视频av | 午夜福利高清视频| 首页视频小说图片口味搜索| 男人舔女人下体高潮全视频| 欧美国产日韩亚洲一区| 日韩欧美三级三区| 国内精品久久久久精免费| 国产精品日韩av在线免费观看| 人妻夜夜爽99麻豆av| 午夜激情福利司机影院| 欧美日本亚洲视频在线播放| 在线播放国产精品三级| 男女之事视频高清在线观看| 伊人久久大香线蕉亚洲五|