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    大功率GaN基HEMT技術(shù)發(fā)展路線和主要申請人專利技術(shù)分析綜述

    2016-12-28 17:52武樹杰李娟娟
    中國科技縱橫 2016年20期
    關(guān)鍵詞:技術(shù)路線

    武樹杰++李娟娟

    【摘 要】大功率HEMT(High Electron Mobility Transistor:高電子遷移率晶體管)由于其優(yōu)良的性能,在各個領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,隨著第三代(3G)、第四代(4G)無線通訊,全球定位系統(tǒng),軍用雷達,高速鐵路,和電動汽車的發(fā)展,對微電子材料提出了更高的要求,要求材料具有高的熱穩(wěn)定性、高抗輻射性、高頻響應(yīng)、耐腐蝕性、耐高壓和傳輸大電流和更快的傳輸速度。通過分析大功率HEMT(High Electron Mobility Transistor:高電子遷移率晶體管)相應(yīng)數(shù)據(jù)庫中分類號的分布以及與技術(shù)的關(guān)聯(lián),給出了技術(shù)路線圖,并給出了過內(nèi)技術(shù)的發(fā)展,分析了國內(nèi)外申請人人代表性專利。

    【關(guān)鍵詞】高電子遷移率晶體管 二維電子氣 技術(shù)路線

    1 引言

    GaN基HEMT具有大電流密度、高功率密度、低噪聲、良好的頻率特性決定了GaN在軍用民用兩個領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用前景,GaN基HEMT的單位功率密度是GaAs基HEMT的10倍,可以減小系統(tǒng)尺寸并降低阻抗匹配的難度。GaN基功率器件具有較高的工作電壓,一般民用通訊基站前端工作電壓為28V,使用Si和GaAs需要降低工作電壓,需要變壓器,并可能產(chǎn)生失真。GaN基功率器件可以工作于42V,可以減小系統(tǒng)體積和系統(tǒng)復(fù)雜程度,并且GaN基功率器件可以工作在Ka波段以及300℃的高溫環(huán)境,在武器應(yīng)用方面有著重要的應(yīng)用價值。其覆蓋1-100GHz的工作頻率可以廣泛應(yīng)用于3G\4G通訊、衛(wèi)星通訊、相控陣雷達、智能武器等方面。

    2 專利技術(shù)發(fā)展路線

    GaN是理想的耐高溫、高頻、大功率微波器件材料,1991年美國APA光學(xué)公司的Khan等人成功研制出世界上首支AlGaN/GaN HEMT,并在美國提出了專利申請(701,792; 26,528公開號分別為:US5192987A,US5296359A)分別為具有GaN/AlxGa1-xN異質(zhì)結(jié)的HEMT器件[1],以及制造方法的另一專利申請,上述兩項專利申請還不能進行大規(guī)模的應(yīng)用,處于實驗室階段,但是開啟了GaN基功率器件的研究。

    2003年NEC公司通過引入場板技術(shù)增大器件的柵漏擊穿電壓,功率密度達到11.2W/mm@10GHz;克里(CREE)在具有InGaN背勢壘上的SiC襯底上制備的AlGaN/GaN材料上研制了150nm柵長的HEMT,功率密度達到了13.7W/mm@30GHz;2008年HRL研制的AlGaN/GaN/Al0.04Ga0.96N的雙異質(zhì)結(jié)HEMT峰值頻率高達200GHz。

    2.1 全球?qū)@麪顩r分析

    美國引用量最多,然后是中國和歐洲,日本引用的很少,這與日本的撰寫習(xí)慣有關(guān),日本申請人通常只引用自己本國的專利申請,從年代引用的情況來看,以美國的引用為例,其變化趨勢與GaN基HEMT在全球申請隨時間的變化一致。后繼申請的技術(shù)方案均是以該申請文件中的披露的技術(shù)方案為基礎(chǔ),并沒有對器件主要結(jié)構(gòu)進行突破,均是改善行發(fā)明,在提高材料質(zhì)量的大目標下,通過改進器件的局部結(jié)構(gòu),如:柵極和源漏極之間的隔離,柵極介質(zhì),柵極形狀,限制溝道區(qū)2DEG的材料等方面改善器件的性能。下邊以克里公司為例說明通過場板技術(shù),提高器件性能。

    克里公司在GaN基HEMT器件取得領(lǐng)先優(yōu)勢,得益于期生長的出其他公司不能比擬的高質(zhì)量的GaN,其場板技術(shù)提高器件的性能,公開號為CN1950945A的專利文獻[2]及其相應(yīng)的同族,公開了一種晶體管,包含多個位于一基片上的有源半導(dǎo)體層,并且其源極與漏極與這些半導(dǎo)體層接觸。在這些源極與漏極之間以及多個半導(dǎo)體層上形成一柵極。在這些半導(dǎo)體層上配置多個場板,每一場板從該柵極的邊緣朝該漏極延伸,并且每一場板與這些半導(dǎo)體層、以及與這些場板的其它場板隔離。這些場板的最高場板電連接至該源極,并且這些場板的其它場板電連接至柵極或源極,能夠解決場板至漏極電容的引起減小增益影響輸出穩(wěn)定性的技術(shù)問題。

    2.2 國內(nèi)專利狀況分析

    從我國主要的申請人可以看出,主要的參與者包括中科院、中國電子集團,其中,最為活躍的是中科院半導(dǎo)體研究所,中科院微電子研究所,中國電子集團13所,中國電子集團55所。高校研究者為西安電子科技大學(xué)。主要的研究的企業(yè)為西安能訊半導(dǎo)體。

    中科院半導(dǎo)體研究所的特長在于提供高質(zhì)量的GaN材料,其處于國內(nèi)領(lǐng)先水平,并實現(xiàn)了小量供片,國內(nèi)的西安電子科技大學(xué)的對GaN基微電子材料進行了深入的研究。由國家牽頭,中科院半導(dǎo)體所和中國電子集團合作,2000年制作出了國內(nèi)首支GaN基HEMT器件,并由半導(dǎo)體所提供材料,與中國電子集團的13所和55所合作,在2003年制造出C波段大尺寸GaN基HEMT器件,在2004制造出輸出功率大于1W的國內(nèi)第一支X波段GaN基HEMT器件,2008年制造出X波段GaN基HEMT器件脈沖輸出功率為176W,連續(xù)輸出功率為130.32W,功率密度為17.8W/mm。

    3 結(jié)語

    本文主要以中文專利摘要數(shù)據(jù)庫、德溫特世界專利索引數(shù)據(jù)庫和世界專利文摘庫數(shù)據(jù)庫收錄的專利為樣本,通過分析了國內(nèi)外大功率GaN基HEMT器件的專利技術(shù)路線,以及主要申請人做了進一步分析,總體上來說,GaN基HEMT器件結(jié)構(gòu)和已經(jīng)趨于穩(wěn)定,如何進一步提高器件的性能成為主要的研究熱點。

    參考文獻:

    [1]US5192987,Muhammed A. Khan James M. VanHove Jon N. Kuznia Donald T. Olson ,”High electron mobility transistor with GaN/AlxGa1-xN heterojunctions”.

    [2]CN1950945A,吳益逢 P·帕里克 U·米史拉 M·摩爾,具有多個場板的寬能帶隙晶體管.

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