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    上海微電子“智”造中國芯

    2016-03-02 18:19:25宋杰
    中國經(jīng)濟(jì)周刊 2016年8期
    關(guān)鍵詞:光刻機(jī)集成電路高端

    宋杰

    上海微電子裝備有限公司總經(jīng)理賀榮明

    隨著信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,集成電路(也就是常說的“芯片”)成為手機(jī)、平板電腦等電子移動(dòng)終端離不開的設(shè)備,而光刻機(jī)是半導(dǎo)體芯片制造業(yè)中的最核心設(shè)備。以光刻機(jī)為代表的高端半導(dǎo)體裝備支撐著集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展,芯片越做越小,集成的電路越來越多,能使終端變得小巧玲瓏。

    在光刻機(jī)領(lǐng)域,上海微電子裝備有限公司(下稱“SMEE”)取得了重要突破,并在先進(jìn)封裝光刻機(jī)產(chǎn)品方面形成了系列化和量產(chǎn)化,在國際同類產(chǎn)品中處于先進(jìn)水平,還實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)海外市場的銷售突破。SMEE也被列入國家發(fā)改委2016年1月底公布的國家認(rèn)定企業(yè)技術(shù)中心名單。

    在微觀世界里“造房子”

    近日,在浦東張江園區(qū)SMEE展覽館里,SMEE人事總監(jiān)賀躍進(jìn)向《中國經(jīng)濟(jì)周刊》記者介紹了組成光刻機(jī)的核心部件。他將制造光刻機(jī)比作是在微觀世界里“造房子”——成像系統(tǒng)由幾十個(gè)直徑為200~300毫米的透鏡組成,定位精度都是納米級(jí)。微米級(jí)的瞬時(shí)傳輸控制技術(shù),猶如兩架空客以1000/小時(shí)公里同步高速運(yùn)動(dòng),在瞬間對(duì)接穿針引線;玻璃鏡面加工等精度,誤差不會(huì)超過0.5毫米。

    SMEE總經(jīng)理賀榮明接受《中國經(jīng)濟(jì)周刊》記者采訪時(shí)表示,光刻機(jī)是集成電路裝備中技術(shù)難度最高、價(jià)值量最大的部分,由于技術(shù)的超高難度導(dǎo)致在全世界形成了超高的技術(shù)門檻。

    據(jù)了解,當(dāng)今世界能夠擁有這種技術(shù)、生產(chǎn)這種產(chǎn)品的只有兩三個(gè)國家的兩三家公司。賀榮明表示,集成電路行業(yè)發(fā)展的很多技術(shù)路線、工藝路線是非常依賴于光科技的發(fā)展路線,所以從這個(gè)角度,它就成為信息產(chǎn)業(yè)集成電路行業(yè)發(fā)展的重要基石;從另一個(gè)角度來講,我國正在進(jìn)行大的結(jié)構(gòu)調(diào)整,對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)提出了非常高的期待與要求,不僅涉及到整個(gè)國家的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整發(fā)展,從某種程度它也涉及到整個(gè)信息產(chǎn)業(yè)的安全,所以如何在集成電路行業(yè)擁有自己的核心裝備,對(duì)國家國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展就至為重要。

    光刻機(jī)是集成度非常高,涉及的門類、領(lǐng)域、科技種類非常廣泛的集成性的設(shè)備,由于這種設(shè)備的發(fā)展會(huì)牽引帶動(dòng)很多關(guān)鍵單元技術(shù)、子技術(shù)、子學(xué)科的發(fā)展,“牽一發(fā)而動(dòng)全身”,它可以牽引推動(dòng)整個(gè)高科技基礎(chǔ)領(lǐng)域的發(fā)展。

    據(jù)了解,以光刻機(jī)為代表的產(chǎn)品主要應(yīng)用于四大領(lǐng)域,芯片制造、芯片先進(jìn)封裝、LED制造、下一代顯示屏制造。另外還有類光科技產(chǎn)品,包括激光封裝、激光退火等設(shè)備,去年開始在試驗(yàn),今年逐步開始小批生產(chǎn),未來為移動(dòng)穿戴、智能時(shí)代提供產(chǎn)品。

    賀榮明表示,光刻機(jī)的自主研發(fā)可以概括為一個(gè)“難”字,“因?yàn)殡y,有時(shí)候就逼著你沒有后路背水一戰(zhàn)去創(chuàng)新?!比魏我粋€(gè)行業(yè)的發(fā)展,特別是高端裝備的發(fā)展,其實(shí)最重要的還是人才,光刻機(jī)人才與其他行業(yè)相比,涉及面更廣,有幾十個(gè)專業(yè),所有的技術(shù)在這個(gè)產(chǎn)品上匯聚、交雜,形成異常復(fù)雜的設(shè)備,對(duì)人才的廣泛性、多樣性提出更高要求。

    不要只埋頭搞科研,還要會(huì)“沿途下蛋”

    賀榮明告訴記者,高端光刻機(jī)開發(fā)的周期非常長,難度也非常高,如果在整個(gè)過程中只是走研發(fā)的道路,而不是及時(shí)考慮產(chǎn)業(yè)化,那么對(duì)整個(gè)項(xiàng)目的開發(fā)、人才團(tuán)隊(duì)的鼓勵(lì)都會(huì)帶來管理上的困難 。SMEE的決策者們?cè)跊Q定以高端光刻機(jī)開發(fā)為主線的同時(shí),每天都在考慮當(dāng)離高端產(chǎn)品的開發(fā)還有一定高峰要攀登的時(shí)候,在“半山腰”、在“山腳”下,能不能把已經(jīng)掌握、部分掌握的技術(shù)變成產(chǎn)品,去服務(wù)于行業(yè)?;谶@個(gè)思路,SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的產(chǎn)品。

    比如說,同樣是光刻機(jī),它在前道的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用難度非常高,但是后道的先進(jìn)封裝對(duì)光刻機(jī)的應(yīng)用越來越廣泛,可以先行進(jìn)入,所以SMEE就抓住了這個(gè)契機(jī),開發(fā)了一款適用于先進(jìn)封裝行業(yè)的光刻機(jī)。此前,這種光刻機(jī)完全依賴于進(jìn)口,而今SMEE 已經(jīng)占領(lǐng)了80%以上的國內(nèi)市場?,F(xiàn)在市場上高端智能手機(jī)上都有SMEE 自主研發(fā)的先進(jìn)封裝光刻機(jī)的功勞。這樣一來,產(chǎn)品的研發(fā)形成了一種階梯、波浪,“前面在不斷瞄準(zhǔn)高科技的發(fā)展,同時(shí)它不斷把掌握的技術(shù)輻射為具有應(yīng)用前景又能為國民經(jīng)濟(jì)、產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域提供很好技術(shù)支撐的產(chǎn)品,這樣兩個(gè)目標(biāo)形成一種互動(dòng)、良性循環(huán)。既通過高科技的研發(fā)來錘煉人才,又通過產(chǎn)品的市場化來打造工程性人才,這種人才的分合匯聚組合讓公司向兩維領(lǐng)域發(fā)展(一維是技術(shù)高度,一維是產(chǎn)業(yè)寬度),不讓公司變?yōu)榧兇獾难邪l(fā)機(jī)構(gòu),同時(shí)也不讓公司太功利化。這兩者融合能為公司將來高端光刻機(jī)的發(fā)展提供良好的發(fā)展模式?!辟R榮明表示。

    賀榮明直言,企業(yè)運(yùn)營的最大壓力在于技術(shù)突破和人才團(tuán)隊(duì)的聚焦與持續(xù)發(fā)展。由于我國技術(shù)基礎(chǔ)比較薄弱,不但要攻克技術(shù)上的難點(diǎn),還要解決攻克過程中的管理問題。在供應(yīng)鏈的打造和高科技行業(yè)上受到國外的限制等,使得我國整個(gè)技術(shù)門類還不健全,整個(gè)資源鏈還不完善,現(xiàn)在一方面以自主創(chuàng)新為主,一方面用更寬泛的國際視野面向全球整合資源?!拔覈咚侔l(fā)展,吸引了全球高科技人才、組織對(duì)我們充滿期待,這樣迎來了利用國際資源解決自身瓶頸,使得SMEE在堅(jiān)持自主創(chuàng)新的同時(shí)全球化、國際化。”

    從跟蹤國際專利到不斷掌握擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端光刻設(shè)備的總體設(shè)計(jì)技術(shù)、集成技術(shù)和關(guān)鍵單元技術(shù),SMEE形成了系列完整的產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)了“用中國人的光刻機(jī)造中國芯”的夢想。 截至2015年底,SMEE獲得的專利總數(shù)1800項(xiàng)左右,85%是發(fā)明專利,800項(xiàng)已獲授權(quán),其中國際發(fā)明專利140多項(xiàng),獲授權(quán)的國際發(fā)明專利42項(xiàng)。這些專利滲透在各個(gè)產(chǎn)品之中,為高科技產(chǎn)品走向世界提供自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的法律保障。

    SMEE在布局知識(shí)產(chǎn)權(quán)規(guī)劃時(shí),很早就成立了知識(shí)產(chǎn)權(quán)與技術(shù)管理部,有20多位知識(shí)產(chǎn)權(quán)工程師、法律專家,定期分析收集全球?qū)I(yè)技術(shù)領(lǐng)域的各種專利,包括新產(chǎn)生專利、即將失效的專利等,每個(gè)季度,知識(shí)產(chǎn)權(quán)與技術(shù)管理部提交知識(shí)產(chǎn)權(quán)戰(zhàn)略工作報(bào)告,以供SMEE進(jìn)行戰(zhàn)略決策。

    值得一提的是,每年SMEE以任務(wù)形式下達(dá)“專利指標(biāo)”,并且與績效考核掛鉤,使產(chǎn)品進(jìn)入市場不侵權(quán)不被起訴,“比如先進(jìn)封裝光刻機(jī)技術(shù)有400項(xiàng)專利在保護(hù)著它,使它很好地進(jìn)入市場,用戶可以放心使用,我們也不會(huì)受到競爭對(duì)手的干擾?!备呖萍计髽I(yè)發(fā)展,知識(shí)產(chǎn)權(quán)的戰(zhàn)略規(guī)劃與產(chǎn)品發(fā)展必須要同步。目前,SMEE已成為國家級(jí)知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)。

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