模塊化組合式氣體純化器和氬氣純化系統(tǒng)

申請(專利)號:201520005021.2

公開(公告)日:2015-07-01

申請(專利權)人:南京特種氣體廠有限公司

本實用新型公開了一種模塊化組合式氣體純化器，包括密封罐體、進氣管和出氣管，進氣管由密封罐體頂部通入密封罐體底部，出氣管設于密封罐體頂部;密封罐體內部裝有若干個吸氣劑模塊，每個吸氣劑模塊包括一容器和充裝在所述容器中的吸氣劑。本實用新型公開還公開了一種包括上述純化器的氬氣純化系統(tǒng)，高純原料氬氣源經(jīng)過第一開關閥連接至純化器的進氣管，配器瓶經(jīng)過第二開關閥連接至純化器的出氣管，氣相色譜儀經(jīng)過第三開關閥連接至純化器的出氣管。本實用新型設計合理，使用方便，提高了純化器整體效率，減少再生及更換次數(shù)，降低了純化成本，能夠實現(xiàn)高純氬氣的純化，純化產(chǎn)品質量穩(wěn)定。