• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    波紋管驅(qū)動超精密定位平臺建模及復合控制

    2014-09-20 06:07:20田艷兵王濤王美玲張棟
    電機與控制學報 2014年7期
    關(guān)鍵詞:復合控制控制精度波紋管

    田艷兵, 王濤, 王美玲, 張棟

    (1.北京理工大學 自動化學院,北京 100083;2.青島理工大學自動化工程學院,山東青島 266520)

    0 引言

    精密伺服是超精密加工中的關(guān)鍵技術(shù),是衡量一個國家超精密加工水平的重要指標。目前,國內(nèi)外超精密伺服控制精度已經(jīng)達到納米級。精密伺服定位系統(tǒng)多以電驅(qū)動,為避免摩擦對控制效果的影響,一般裝配有氣浮導軌。電機驅(qū)動分為直接驅(qū)動和間接驅(qū)動兩種模式。間接驅(qū)動借助滾軸絲杠等傳動機構(gòu)將電機轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)換為直線運動,其傳動效率較低,往返行程間隙大,限制了控制精度的提高;直接驅(qū)動采用直線電機驅(qū)動[1],如音圈電機等[2],傳動效率高,但是輸出力較小。2007年,東京工業(yè)大學的H.Shino等采用8個音圈電機驅(qū)動[3],完成了5nm精度等級的二維精確定位,定位精度很高,行程受到限制。特別是對于二維定位多采用“H”型疊壓結(jié)構(gòu),機械結(jié)構(gòu)復雜。有學者嘗試在一個平面機械結(jié)構(gòu)內(nèi)的二維定位,天津大學的馮曉梅等設計了基于音圈電機的氣浮平臺,精度能達到微米級[4]。

    目前,氣動伺服系統(tǒng)多采用氣缸驅(qū)動,電磁干擾小,設備維護方便。近年來,氣缸驅(qū)動或者氣缸復合驅(qū)動的超精密定位系統(tǒng)在國內(nèi)外得到廣泛研究和運用,取得了一些成果。臺灣科技大學的Mao-Hsiung Chiang等采用氣缸和壓電驅(qū)動結(jié)合的模式[5],較好的解決了控制精度和運動行程的問題,其控制精度達到微米級,但兩級進給模式使得機械結(jié)構(gòu)復雜,不利于控制精度的提高。

    基于氣缸的定位伺服系統(tǒng)精度不高,往往需要配備雙級驅(qū)動機構(gòu),在二維定位中采用的“H”型結(jié)構(gòu)后,使得機械平臺更復雜,各種承載平臺之間存在的摩擦不利于精密控制[6]。本文設計了一種基于新型金屬波紋管驅(qū)動的單級進給模式的氣動定位平臺,以氣浮平臺為支撐,采用高精密光柵尺進行位移反饋,簡化了系統(tǒng)機械結(jié)構(gòu),降低了成本。針對系統(tǒng)在運動過程中存在的遲滯現(xiàn)象,建立基于PI的遲滯數(shù)學模型,為了改善系統(tǒng)的控制效果,采用了PI逆模型控制和反饋PID自整定控制,在2 500 μm的行程范圍內(nèi),取得了較好的控制精度和響應速度。

    1 硬件平臺

    系統(tǒng)硬件主要由3部分組成?;诓y管的運動驅(qū)動機構(gòu);氣浮導軌產(chǎn)生的靜壓軸承支撐的工作平臺以及位置檢測反饋部分。由單片機調(diào)節(jié)高精度壓力比例閥,控制波紋管內(nèi)部壓力,調(diào)整其伸縮量,控制平臺位移。為增加平臺剛度和穩(wěn)定性,在運動平臺另一側(cè)安裝有預緊彈簧。整個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖和實物圖如圖1所示。

    圖1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖和實物圖Fig.1 Block diagram and actual picture of the system

    1.1 運動驅(qū)動機構(gòu)

    系統(tǒng)驅(qū)動機構(gòu)采用電氣比例閥控制的驅(qū)動波紋管。波紋管是一類子午線呈波紋狀的旋轉(zhuǎn)體,依靠內(nèi)部氣體壓力的變化產(chǎn)生伸縮運動,產(chǎn)生位移。按形狀可分為“U”型、“Ω”型、“S”型等[7]。其中“U”型波紋管承受壓力大,靜態(tài)特性較好,輸出位移與輸入信號線性關(guān)系好,無摩擦,模型簡單。通過單片機的12位D/A數(shù)據(jù)口控制高速比例閥,實現(xiàn)波紋管的位置控制[8]。

    1.2 支撐體結(jié)構(gòu)

    支撐體結(jié)構(gòu)主要由氣浮導軌和工作平臺組成,工作平臺由高剛度的多孔質(zhì)氣浮導軌產(chǎn)生靜壓空氣軸承支撐。

    氣浮導軌為工作臺定向并提供無摩擦支撐。氣浮導軌的氣孔噴射壓縮空氣到工作臺表面產(chǎn)生懸浮力,當懸浮力與工作平臺重量平衡時,平臺處于穩(wěn)定懸浮狀態(tài)。支撐臺負載發(fā)生變化或有外界擾動時,氣浮平臺表面和載物臺之間的間隙改變,懸浮力重新達到平衡[9],具有自平衡能力。該系統(tǒng)氣浮導軌為封閉矩形,氣浮導軌的上下、左右均有氣孔。上下兩側(cè)氣浮導軌會在上、下兩個面產(chǎn)生靜壓面,以提高靜壓軸承的剛性,左、右兩個面靜壓面起到導向作用。對于空氣靜壓軸承設計可以采用有限元分析方[10-11],在此不再贅述,多孔質(zhì)空氣靜壓軸承的原理示意圖如圖2所示。

    圖2 氣浮導軌Fig.2 Aerostatic slider

    1.3 檢測元件

    系統(tǒng)采用MicroE公司生產(chǎn)的Mercury3500系列的光柵尺進行位置反饋,其檢測分辨率可以達到5nm[12]。

    2 系統(tǒng)遲滯模型

    波紋管作為驅(qū)動機構(gòu),近年來已有學者對其進行了一定的研究,其工作壽命和機械特性已經(jīng)在實驗中得到驗證[13]。作為執(zhí)行機構(gòu),波紋管在低速或者靜態(tài)下,有著很好的線性,但是其采用氣體驅(qū)動,由于氣體本身的可壓縮性,在動態(tài)運動的情況下,波紋管驅(qū)動系統(tǒng)輸入和輸出之間存在遲滯現(xiàn)象。遲滯是指系統(tǒng)的運行軌跡在上行和下行之間存在間隙,也即系統(tǒng)的輸入和輸出之間并不是一一對應的關(guān)系,具體到波紋管來說,就是其電磁比例閥的輸入電壓所對應的波紋管產(chǎn)生的輸出位移不是一一對應的,這對于超精密定位系統(tǒng)有著較大的影響。

    目前關(guān)于波紋管的遲滯特性大多基于金屬材料特性進行改進,來減小遲滯的影響,但是效果不好。本文對其遲滯特性進行研究,通過建立系統(tǒng)遲滯模型,找出針對性的控制策略,降低遲滯對系統(tǒng)定位精度的影響[14]。

    系統(tǒng)遲滯特性由其初載曲線確定。在該系統(tǒng)中,其初載曲線可以通過實驗獲取,將驅(qū)動電磁壓力比例閥從無源狀態(tài)下開始,逐步施加驅(qū)動電壓到最大值過程中,采集位移參數(shù),得到波紋管驅(qū)動平臺的運行軌跡。為了驗證波紋管的遲滯特性,平臺加載后,進行初載特性實驗,其實驗數(shù)據(jù)見表1。

    波紋管驅(qū)動平臺的初載特性實驗在低頻輸入下進行,電壓的變化速率較慢。實驗中系統(tǒng)輸入電壓信號變化速率為0.5 V/s,系統(tǒng)的輸出響應可以很好的抑制波紋管的動態(tài)特性,增加系統(tǒng)模型的精度。

    表1 實驗數(shù)據(jù)Table 1 Experimental data

    2.1 PI模型

    從表1的實驗數(shù)據(jù)中可以看出,波紋管驅(qū)動系統(tǒng)遲滯現(xiàn)象明顯,需要建立針對性的遲滯模型。目前常見的遲滯模型有Preisach模型、KP模型、PI模型等。PI模型是從Preisach模型發(fā)展而來的一種模型[15],由Krasnosel’skii和Pokrovskii建立,由許多加權(quán)重疊的間隙算子(Backlash Operator)組成的,算子的特性由閾值r和權(quán)值ω決定,不同閾值的遲滯算子通過加權(quán)ω疊加,形成遲滯特性曲線。閾值r決定了基本遲滯算子的寬度,權(quán)值ω決定了基本遲滯算子的斜度[16]。

    在構(gòu)建遲滯模型時,間隙算子的數(shù)學形式為

    其中,T為采樣周期。式(1)是一個基于y(0)的遞歸公式,有

    y0為系統(tǒng)在沒有激勵源的情況下的初值,一般情況下可以取0。

    加權(quán)ω之后形成加權(quán)遲滯算子,即

    從而PI遲滯模型可以通過n個加權(quán)遲滯算子累加得到,有

    PI模型的一個顯著優(yōu)點是模型的解析逆容易得到,從而可以通過PI逆模型對控制對象線性化,線性化后的模型便于控制和分析,在線性化的基礎上進行控制方案的研究,其線性化原理如圖3所示[17]。

    圖3 基于PI逆矩陣的控制器設計原理Fig.3 Controller design based on PI inverse matrix

    2.2 模型參數(shù)辨識

    從式(4)可以看出,決定系統(tǒng)PI模型的2個主要參數(shù)為r和ω。在實際操作過程中,PI模型參數(shù)的辨識可以利用系統(tǒng)帶載實驗數(shù)據(jù)形成的初載曲線進行,根據(jù)實驗數(shù)據(jù),對式(5)所描述的數(shù)學模型,用Matlab的ployfit函數(shù)進行擬合,并用最小方差優(yōu)化,可以得到辨識后的系統(tǒng)參數(shù)如表2所示。

    表2 參數(shù)辨識結(jié)果Table 2 Result of parameters identification

    結(jié)合PI模型,其解析逆模型參數(shù)也容易求得,可以建立基于逆模型的前饋控制器,能夠較好的完成軌跡跟蹤。

    2.3 模型驗證

    為了驗證建立模型的精度,在實驗室平臺上進行實驗[18]。仿真實驗中將系統(tǒng)模型放在SIMULINK中進行,壓力比例閥輸入信號和壓力輸出按線性關(guān)系處理。而對于實驗平臺則是按照一定規(guī)律輸入電壓信號,通過光柵尺檢測位移輸出。上位機軟件采用Labwindows進行設計,下位機采用MSP430單片機系統(tǒng)對高精度壓力比例閥進行控制,調(diào)整壓力,控制波紋管伸縮量,并和上位機進行通信。在實驗中,電磁比例閥控制電壓信號變化軌跡為(0.0v-1.5v-0.0v-1.4v-0.2v-1.0v-0.5v-0.8v-0.6v)。

    變化速率為0.5V/s,實驗輸出和模型輸出如圖4所示。

    圖4 模型輸出和實驗輸出Fig.4 Model output and experimental output

    從圖中可以看出,通過初載曲線擬合建立的PI遲滯模型可以很好地逼近系統(tǒng)的實際輸出,所建立的遲滯模型是有效的,精度較高。

    3 控制策略研究

    實驗表明,在波紋管驅(qū)動特性中,遲滯特性是影響其控制精度的主要因素,因此在控制器設計中,重點考慮遲滯特性的線性化,根據(jù)PI模型采用PI逆模型進行處理。

    3.1 前饋開環(huán)控制

    將波紋管驅(qū)動系統(tǒng)辨識得到的遲滯模型進行求逆,逆模型直接串聯(lián)在被控對象前面,將系統(tǒng)線性化,逆模型作為前饋控制器。這種方案稱為前饋控制方案,盡管缺少反饋環(huán)節(jié),但是在某些精度要求不高的場所,該種方案可以減少位置檢測反饋裝置,從而從很大程度上降低成本。實驗研究表明,采用直接前饋開環(huán)控制,控制精度可以達到十幾個微米的等級,因此也有一定的實用價值。

    考慮系統(tǒng)在運動過程中存在的動態(tài)特性影響,可以在前饋控制器前加入針對動態(tài)特性的控制環(huán)節(jié),作為總的前饋控制器。波紋管驅(qū)動精密定位平臺前饋控制框圖如圖5所示。

    圖5 系統(tǒng)遲滯逆模型開環(huán)控制Fig.5 Open-loop control based on inverse hysteresis model

    3.2 基于PSO自整定的復合控制方案

    為了進一步提高系統(tǒng)的控制精度,在定位系統(tǒng)中采用了前饋開環(huán)控制加反饋環(huán)節(jié)的控制方案。前饋控制用來校正波紋管驅(qū)動執(zhí)行器的遲滯非線性,提高對參考位移信號的跟蹤能力;反饋調(diào)節(jié)用來進一步校正前饋補償沒有消除的偏差以及由模型的不確定性帶來的誤差,從而彌補建模帶來的定位誤差,使得工作平臺跟蹤精度進一步提高[19]。

    反饋環(huán)節(jié)采用數(shù)字PID控制,PID參數(shù)對于控制效果非常重要,但參數(shù)整定較為繁瑣,且效果不一定最佳,特別是系統(tǒng)模型參數(shù)變化的情況下,PID參數(shù)需要針對不同情況進行整定。對于定位平臺,由于其承載質(zhì)量的不同,不同的PID參數(shù)會影響控制效果[20]。為了改善參數(shù)整定效果,考慮到運動控制系統(tǒng)調(diào)整周期短,在復合控制中,通過粒子群算法對PID參數(shù)進行優(yōu)化,確定系統(tǒng)最優(yōu)參數(shù),可以將不同負載時的控制參數(shù)預先整定儲存,以改善系統(tǒng)的實時性能,提高系統(tǒng)的控制精度。

    粒子群算法(Particle Swarm Optimization,PSO)是遺傳算法的一種,和遺傳算法相似,它也是從一定范圍內(nèi)的隨機解出發(fā),通過迭代尋找最優(yōu)解,通過適應度函數(shù)-fitness來評價辨識參數(shù)的品質(zhì),但它比遺傳算法規(guī)則更為簡單,它沒有遺傳算法的“交叉”(Crossover)和“變異”(Mutation)操作,主要是通過模擬鳥群尋找食物的過程,提出的優(yōu)化算法[21]。該算法簡單,編程較容易實現(xiàn)。PSO算法的關(guān)鍵在于適宜度函數(shù)的設計,根據(jù)運動控制系統(tǒng)的特點和控制效果,適宜度函數(shù)可以選擇為

    其中,W1,W2,W3,W4為權(quán)重函數(shù),在尋優(yōu)過程中,充分考慮運動定位控制的特點,對系統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)誤差和調(diào)節(jié)時間作為2個主要衡量指標,權(quán)值分別取值為50,30,2,10。

    對于該適宜度函數(shù),采用PSO算法進行尋優(yōu)[22],目的是使適宜度函數(shù)達到極小值。PID控制效果取決于3個參數(shù)Kp、Ki、Kd,因此訓練的粒子維數(shù)為3,粒子數(shù)目取30個,最大迭代次數(shù)2 000次。PSO算法參數(shù)整定的具體實現(xiàn)步驟為:

    1)系統(tǒng)初始化,設定Kp、Ki、Kd初值,確定Kp、Ki、Kd的范圍,賦予粒子初始位置和速度以及pbest和gbest,確定系統(tǒng)的合法的Vmax和Xmax。

    2)對每個粒子Kp、Ki、Kd階躍響應,實驗得到時域內(nèi)的性能指標e(∞)、ts、tr和σ%。

    3)根據(jù)階躍響應參數(shù),據(jù)式(6)計算種群中每個粒子適應度值。

    4)對于每一個粒子,根據(jù)計算的適宜度函數(shù),尋求更優(yōu)值,確定是否更新其pbest和gbest值。

    5)更新粒子的速度和位置。

    6)判斷粒子位置和速度的合法性。

    7)如果達到最大迭代次數(shù)轉(zhuǎn)至8),否則轉(zhuǎn)至2)。

    8)尋優(yōu)結(jié)束,得到PSO尋優(yōu)后PID的參數(shù),即Kp、Ki、Kd。

    PSO尋優(yōu)的PID復合控制方案框圖如圖6所示。

    圖6 基于PSO的復合控制方案Fig.6 Compound control based on PSO

    4 實驗和分析

    分別利用傳統(tǒng)PID控制和自尋優(yōu)PID復合控制方案控制,在波紋管驅(qū)動平臺上進行實驗,系統(tǒng)主要參數(shù)為

    m為移動平臺的自重和負重;A為波紋管有效受力面積;ps為氣源壓力;p0為靜壓軸承氣源壓力。

    4.1 PID控制方案

    對于傳統(tǒng)的PID控制,進行實驗研究,取Kp=0.46,Ki=0.06,Kd=0.01,其階躍穩(wěn)態(tài)誤差為0.16 μm、超調(diào)量為3.7%,如圖7所示。

    圖7 PID控制階躍響應Fig.7 Step response

    三角波跟蹤和正弦跟蹤平均誤差分別為0.41 μm和0.67 μm,見表3。

    表3 控制效果比較Table 3 Positioning accuracy of different control schemes

    4.2 基于PSO的PID自整定方案

    實驗按照定位實驗和軌跡跟蹤實驗進行,階躍響應選取30 μm階躍信號,其實驗響應曲線如圖8所示,系統(tǒng)的調(diào)整時間0.06 s左右,超調(diào)在2%左右,穩(wěn)定誤差小于0.05 μm。

    圖8 PSO尋優(yōu)PID階躍響應Fig.8 Step response based on PSO

    跟蹤實驗采用三角波和正弦波輸入。三角波實驗時,波紋管預加壓伸縮到1 000 μm,誤差曲線以1 000 μm為基準。正弦波輸入頻率為2.5 Hz,避免負值輸入,輸入從零值開始,數(shù)值偏向時間軸一側(cè)。其軌跡跟蹤效果如圖9和圖10所示。

    圖9 鋸齒波跟蹤實驗Fig.9 Sawtooth tracking experiment

    從圖中可以看出在PSO優(yōu)化參數(shù)后的復合控制方案下,系統(tǒng)跟蹤效果很好。三角波輸入,跟蹤最大誤差為0.32 μm,平均為0.12 μm;正弦波輸入,跟蹤誤差平均為0.18 μm,達到亞微米級或納米級。滿足超精密定位平臺的需求。與傳統(tǒng)PID控制相比,其平均誤差和最大誤差均有較大改進,見表3。

    圖10 正弦跟蹤實驗Fig.10 Sine tracking experiment

    5 結(jié)論

    本文設計了一種基于波紋管驅(qū)動的超精密運動平臺,實驗表明,實驗平臺定位精度達到了超精密定位的要求。波紋管驅(qū)動的定位平臺在國內(nèi)外研究和應用較少,其主要優(yōu)點有:

    1)波紋管驅(qū)動相比較電動驅(qū)動而言,波紋管采用氣動作為驅(qū)動能量,環(huán)境干擾小,維護方便。

    2)波紋管本身在較大行程中有著很高的定位精度,這一點是其他超精密驅(qū)動裝置,如壓電等所部具備的,因此在一些較大行程的超精密驅(qū)動中可以避免兩級驅(qū)動的模式。采用PSO進行參數(shù)優(yōu)化之后的復合控制方案,控制精度較高。

    3)波紋管造價低廉,有著明顯的價格和成本優(yōu)勢。

    4)波紋管能量來源為氣源,相對于電動而言,其驅(qū)動力的大小取決于管腔內(nèi)的壓力和波紋管截面積,因此在同等體積下,其輸出推力相對于電機推力較大。

    5)由于波紋管本身的柔性特性,可以考慮在一個平面內(nèi)實現(xiàn)二維定位,從而避免的傳統(tǒng)的“H”型結(jié)構(gòu),降低了系統(tǒng)的機械結(jié)構(gòu)復雜程度,便于設計和控制,也降低了平臺的硬件成本。

    波紋管作為一種新型的驅(qū)動器件,研究表明其在超精密控制中有很好的應用前景,但是也存在諸多問題,目前還沒有專門的企業(yè)生產(chǎn)驅(qū)動用波紋管,本實驗中用到的波紋管為專門設計,其機械性能還有待進一步研究,其機械壽命也還需要進一步考慮和驗證,希望更多地專家和學者給予關(guān)注。

    [1]張從鵬,劉強.直線電機氣浮精密定位平臺設計與控制[J].北京航空航天大學學報,2008,34(2):224-228.

    ZHANG Congpeng,LIU Qiang.Design and control of air bearing precision positioning stage driven by linear motors[J].Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics,2008,34(2):224-228.

    [2]趙興玉,張勝泉,張大衛(wèi).基于音圈電機精密定位平臺的控制系統(tǒng)設計與仿真[J],天津大學學報,2007,40(2):127-131.

    ZHAO Xingyu,ZHANG Shengquan,ZHANG Dawei.Design and simulation of the control system of precision positioning table driven by voice coil actuator[J].Journal of Tianjin University,2007,40(2):127-131.

    [3]SHINNO H,YOSHIKA H,TANIGUCHI K.A newly developed linear motor-driven aerostatic x-y planar motion table system for nano-machining[J].Annals of the CIRP,2007,56(1):369-372.

    [4]馮曉梅,張大衛(wèi),趙興玉,等.基于音圈電機的新型高速精密定位系統(tǒng)設計方法[J].中國機械工程,2005,16(16):1414-1418.

    FENG Xiaomei,ZHANG Dawei,ZHAO Xingyu,et al.The new high-speed precision positioning system design methodology based on voice coil motor[J].Chinese Mechanical Engineering,2005,16(16):1414-1418.

    [5]CHIANG M,CHEN C,TSOU T.Large stroke and high precision pneumatic-piezoelectric hybrid positioning control using adaptive discrete variable structure control[J].Mechtronics,2005(15):523-545.

    [6]張建明.現(xiàn)代超精密加工技術(shù)和裝備的研究與發(fā)展[J].航空精密制造技術(shù),2008,44(1):1-7.

    ZHANG Jiangming.Research and development of modern ultraprecision processing technology and equipment[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2008,44(1):1-7.

    [7]王占彬,周浩洋,石朝鋒,等.一種U型波紋管強度及穩(wěn)定性分析方法研究[J].強度與環(huán)境,2012,39(4):19-24.

    WANG Zhanbin,ZHOU Haoyang,SHI Chaofeng,et al.Research on the analytical method of U-shape bellows strength and Stabilization[J].Structure and Environment Engineering,2012,39(4):19-24.

    [8]樊大均.波紋管設計學[M].北京:北京理工大學出版社,1988:60-93.

    [9]劉強,張從鵬.直線電機驅(qū)動的H型氣浮導軌運動平臺[J].光學精密工程,2007,15(10):1540-1545.

    LIU Qiang,ZHANG Congpeng.H-type air-bearing motion stage driven by liner motors[J].Optics and Precision Engineering,2007,15(10):1540-1545.

    [10]陶家生.閉式雙排節(jié)流孔矩形氣浮導軌的計算方法[J].光學精密工程,1996,4(2):31-36.

    TAO Jiasheng.Calculation of close double row orifice rectangular aerostatic slideways[J].Optics and Precision Engineering,1996,4(2):31-36.

    [11]張新宇,陳忠基,姚瑤,等.基于有限元法的氣浮支撐系統(tǒng)的數(shù)值模擬與實驗研究[J].遼寧科技大學學報,2008,31(3/4):285-287.

    ZHANG Xinyu,CHEN Zhongji,YAO Yao,et al.Numerical simulation based on finite element method and experiment of aerostatic bearing system[J].Journal of University of Science and Technology Liaoning,2008,31(3/4):285-287.

    [12]王文,李欣欣.超精密定位平臺的測量系統(tǒng)研究[J].機電工程,2006,23(4):13-16.

    WANG Wen,LI Xinxin.Study on measurement system of ultraprecision positioner[J].Journal of Mechanical and Electrical Engineering,2006,23(4):13-16.

    [13]KAWASHIMA K,ARAIA T,TADANO K,et al.Development of coarse/fine dual stage using pneumatically driven bellows actuator and cylinder with air bearings[J].Precision Engineering,2010,34(3):526-533.

    [14]張棟,張承進,魏強.壓電微動工作臺的動態(tài)遲滯模型[J].光學精密工程,2009,17(3):549-556.

    ZHANG Dong,ZHANG Chenjin,WEI Qiang.Dynamic hysteresis model of piezo-positioning stage[J].Optics and Precision Engineering,2009,17(3):549-556.

    [15]賴志林,劉向東,陳振,等.壓電陶瓷執(zhí)行器多模時變滑模逆補償控制[J].電機與控制學報,2012,16(1):92-103.

    LAI Zhilin,LIU Xiangdong,CHEN Zhen,et al.Multi-mode time-varying sliding mode control of Piezoceramic actuator based on inverse compensation[J].Electric Machines and Control,2012,16(1):92-103.

    [16]曹金鳳,黨選舉,張凱.基于PI和神經(jīng)網(wǎng)絡混合模型的音圈電機遲滯建模[J].系統(tǒng)仿真學報,201l,123(2):386-389.

    CAO Jinfeng,DANG Xuanju,ZHANG Kai.Hybrid hysteresis modeling of voice coil motor based on PI and neural network[J].Journal of System Simulation,201l,123(2):386-389.

    [17]ANG Weitech,KHOSLA P K,RIVIERE C N.Feed forward controller with inverse rate-dependent model for piezoelectric actuators in trajectory-tracking applications[J].IEEE/ASME Transactions on Mechatronics,2007,12(2):134-142.

    [18]黨選舉,姜輝,楊青,等.高頻響音圈電機的復雜遲滯建模與驗證[J].微電機,2012,45(6):1-5.

    DANG Xuanju,JIANG Hui,YANG Qing,et al.Modeling and verify of complex hysteresis for high frequency voice coil motor[J].Micromotors,2012,45(6):1-5.

    [19]王?;?,郭書祥,葉秀芬,等.壓電陶瓷遲滯特性的建模及復合控制[J].電機與控制學報,2009,13(5):766-771.

    WANG Xihua,GUO Shuxiang,YE Xiufen,et al.Modeling and feed-forward control based on piezoelectric ceramic hysteretic[J].Electric Machines and Control,2009,13(5):766-771.

    [20]崔玉國,董維杰,孫寶元,等.壓電微動工作臺的位移復合控制[J].機械工程學報,2006,42(3):156-161.

    CUI Yuguo,DONG Weijie,SUN Baoyuan,et al.Displacement compounding control of piezoelectric micro-motion worktable[J].Optics and Precision Engineering,2006,42(3):156-161.

    [21]KENNEDY J,EBERHART R.Particle swarm optimization[C]//Proceedings of IEEE international conference on neural networks,Nov 27-Dec 1,1995,Perth,Australia.1995,4(2):1942-1948.

    [22]田艷兵.基于PSO的自整定PID溫度控制研究[J].化工儀表自動化,2010,37(11):31-33.

    TIAN Yanbing.The design of self-tuning PID temperature controller based on PSO[J].Control and Instruments in Chemical Industry,2010,37(11):31-33.

    猜你喜歡
    復合控制控制精度波紋管
    基于多源異構(gòu)信息融合的采摘機械臂驅(qū)動控制研究
    前饋復合控制在提高遙測跟蹤性能中的應用
    遙測遙控(2022年1期)2022-02-11 08:01:40
    波紋管調(diào)節(jié)閥的設計與應用
    MW級太空發(fā)電站微波能量波束指向控制精度分析
    公路橋梁箱梁塑料波紋管
    基于安卓的智能車轉(zhuǎn)速系統(tǒng)的設計與實現(xiàn)
    探討鋼波紋管涵施工技術(shù)
    Mone1400 波紋管焊接工藝的研究
    焊接(2015年3期)2015-07-18 11:03:26
    基于重復和PI復合控制的三相NPC光伏并網(wǎng)逆變器研究
    壓電微位移器的實驗建模與復合控制
    午夜a级毛片| 99久久成人亚洲精品观看| av在线天堂中文字幕| 在线观看av片永久免费下载| 国产精品野战在线观看| 51国产日韩欧美| 日韩强制内射视频| 亚洲成人中文字幕在线播放| 黄色配什么色好看| 一本精品99久久精品77| 如何舔出高潮| 在线免费十八禁| 欧美日韩乱码在线| 精品乱码久久久久久99久播| 波多野结衣高清无吗| 成人国产综合亚洲| 亚洲在线自拍视频| 色av中文字幕| x7x7x7水蜜桃| 国产伦人伦偷精品视频| 欧美精品国产亚洲| 亚洲av中文av极速乱 | 12—13女人毛片做爰片一| 深爱激情五月婷婷| 久久人人精品亚洲av| 亚洲人成网站在线播放欧美日韩| 搡老熟女国产l中国老女人| 精品久久久久久久久久免费视频| 可以在线观看的亚洲视频| 亚洲av熟女| 国产精品一区二区三区四区久久| 97人妻精品一区二区三区麻豆| 中文亚洲av片在线观看爽| 99精品在免费线老司机午夜| 亚洲国产精品久久男人天堂| 91精品国产九色| 桃色一区二区三区在线观看| 女人被狂操c到高潮| 亚洲欧美日韩高清专用| 色精品久久人妻99蜜桃| 国产精品日韩av在线免费观看| 美女高潮喷水抽搐中文字幕| 久久人人精品亚洲av| 成人欧美大片| 国产真实乱freesex| 国产精品自产拍在线观看55亚洲| 免费看a级黄色片| 国产精品99久久久久久久久| 午夜激情欧美在线| 国产成人影院久久av| 国产主播在线观看一区二区| 三级国产精品欧美在线观看| 亚洲中文日韩欧美视频| 国产伦精品一区二区三区四那| 91麻豆av在线| 亚洲精品久久国产高清桃花| 一级毛片久久久久久久久女| 亚洲自偷自拍三级| 国内精品美女久久久久久| 免费人成在线观看视频色| 日本三级黄在线观看| 久久久精品大字幕| 可以在线观看毛片的网站| 亚洲三级黄色毛片| 中文字幕高清在线视频| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美| 国产69精品久久久久777片| 免费搜索国产男女视频| 精品久久久久久久久av| 波多野结衣高清无吗| 精品一区二区三区视频在线观看免费| 国产高潮美女av| 97人妻精品一区二区三区麻豆| 国产主播在线观看一区二区| 欧美bdsm另类| 亚洲精品色激情综合| 床上黄色一级片| 两个人视频免费观看高清| 久久天躁狠狠躁夜夜2o2o| 午夜激情欧美在线| 成人亚洲精品av一区二区| 精品一区二区三区av网在线观看| 麻豆一二三区av精品| 色综合色国产| 日本黄大片高清| 亚洲av成人av| 一级黄片播放器| 日日摸夜夜添夜夜添av毛片 | www.www免费av| 最近最新中文字幕大全电影3| 婷婷亚洲欧美| 午夜福利高清视频| 久久香蕉精品热| 亚洲欧美日韩东京热| 变态另类成人亚洲欧美熟女| 国产一区二区在线观看日韩| 综合色av麻豆| 免费看美女性在线毛片视频| 91在线精品国自产拍蜜月| 国产黄a三级三级三级人| 亚洲精品国产成人久久av| 成人无遮挡网站| www.www免费av| 午夜老司机福利剧场| 日本免费a在线| 欧美xxxx黑人xx丫x性爽| 久9热在线精品视频| 亚洲欧美清纯卡通| 日韩欧美免费精品| 毛片一级片免费看久久久久 | 国产精品久久久久久av不卡| 一区二区三区免费毛片| 能在线免费观看的黄片| 久久久久国内视频| 高清毛片免费观看视频网站| 91在线精品国自产拍蜜月| 久久久久久久精品吃奶| 91在线精品国自产拍蜜月| 日本精品一区二区三区蜜桃| 国产午夜福利久久久久久| 精品不卡国产一区二区三区| 黄色一级大片看看| 亚洲,欧美,日韩| 18+在线观看网站| 麻豆一二三区av精品| 日日夜夜操网爽| 国产精品电影一区二区三区| 久久久久久久久久久丰满 | 国内精品久久久久精免费| 亚洲欧美精品综合久久99| 校园人妻丝袜中文字幕| 国产精品三级大全| 两个人的视频大全免费| 久久香蕉精品热| 国产精品亚洲一级av第二区| 又紧又爽又黄一区二区| 在线观看免费视频日本深夜| 伦理电影大哥的女人| 久久香蕉精品热| 小说图片视频综合网站| 精品一区二区三区视频在线观看免费| 日本黄大片高清| 久久精品人妻少妇| 亚洲欧美日韩无卡精品| 亚洲国产精品sss在线观看| 免费看a级黄色片| 一级a爱片免费观看的视频| 精品一区二区免费观看| 久久久久久国产a免费观看| 制服丝袜大香蕉在线| 中国美女看黄片| 国内精品宾馆在线| 成年免费大片在线观看| 蜜桃亚洲精品一区二区三区| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美| 国产aⅴ精品一区二区三区波| 校园春色视频在线观看| 亚洲男人的天堂狠狠| 国产精品一区二区免费欧美| 国产激情偷乱视频一区二区| 不卡视频在线观看欧美| 亚洲色图av天堂| 老熟妇仑乱视频hdxx| 麻豆久久精品国产亚洲av| 我的老师免费观看完整版| 久久久久久九九精品二区国产| 99视频精品全部免费 在线| 真人一进一出gif抽搐免费| 精品久久久久久久末码| 最后的刺客免费高清国语| 日韩av在线大香蕉| 久久国内精品自在自线图片| 熟女人妻精品中文字幕| 成年女人毛片免费观看观看9| 亚洲精品乱码久久久v下载方式| 精品久久久噜噜| 成年版毛片免费区| 成人特级黄色片久久久久久久| 97碰自拍视频| 少妇丰满av| 99久久精品热视频| 日韩强制内射视频| 国产伦人伦偷精品视频| 亚洲欧美日韩卡通动漫| 国模一区二区三区四区视频| 嫩草影院入口| 春色校园在线视频观看| 国内精品宾馆在线| 99精品久久久久人妻精品| 久99久视频精品免费| 欧美xxxx性猛交bbbb| 国产日本99.免费观看| 日韩 亚洲 欧美在线| 免费看av在线观看网站| 午夜视频国产福利| 中文字幕av成人在线电影| 91久久精品国产一区二区三区| 制服丝袜大香蕉在线| 女人十人毛片免费观看3o分钟| 欧美zozozo另类| 欧美成人a在线观看| 一边摸一边抽搐一进一小说| 精品欧美国产一区二区三| 午夜激情欧美在线| 欧美中文日本在线观看视频| 欧美日韩亚洲国产一区二区在线观看| 黄色丝袜av网址大全| av在线老鸭窝| 赤兔流量卡办理| 欧美绝顶高潮抽搐喷水| 国语自产精品视频在线第100页| 国产熟女欧美一区二区| 我的老师免费观看完整版| 又粗又爽又猛毛片免费看| 美女大奶头视频| avwww免费| 国产av不卡久久| 极品教师在线免费播放| 丝袜美腿在线中文| 中亚洲国语对白在线视频| 午夜福利视频1000在线观看| 一本一本综合久久| 最近在线观看免费完整版| 麻豆av噜噜一区二区三区| 久久精品国产亚洲网站| 免费看av在线观看网站| 内地一区二区视频在线| 黄色丝袜av网址大全| 精品久久久久久久人妻蜜臀av| 国产精品野战在线观看| 日本熟妇午夜| 国产一级毛片七仙女欲春2| 免费看a级黄色片| 99久久精品热视频| 乱人视频在线观看| 亚洲精华国产精华精| 欧美色视频一区免费| 亚洲人与动物交配视频| 午夜福利成人在线免费观看| 淫妇啪啪啪对白视频| 久久久久免费精品人妻一区二区| 国产午夜精品论理片| av天堂中文字幕网| 麻豆久久精品国产亚洲av| 国产av在哪里看| 亚洲av.av天堂| 俄罗斯特黄特色一大片| 日本a在线网址| 美女cb高潮喷水在线观看| 校园春色视频在线观看| 成人一区二区视频在线观看| 国产毛片a区久久久久| 国语自产精品视频在线第100页| 成人毛片a级毛片在线播放| 国产高清激情床上av| 亚洲最大成人av| 久9热在线精品视频| 日韩欧美国产在线观看| 成人特级黄色片久久久久久久| 日韩精品有码人妻一区| 他把我摸到了高潮在线观看| 日韩强制内射视频| 国模一区二区三区四区视频| 在线看三级毛片| 午夜久久久久精精品| 中文资源天堂在线| 日韩中文字幕欧美一区二区| 色在线成人网| 国产私拍福利视频在线观看| av在线天堂中文字幕| 毛片女人毛片| 亚洲欧美精品综合久久99| 联通29元200g的流量卡| 少妇高潮的动态图| 日本免费一区二区三区高清不卡| 18禁黄网站禁片免费观看直播| 99热只有精品国产| 日本免费a在线| 国产真实乱freesex| 日本三级黄在线观看| 在线国产一区二区在线| 亚洲国产高清在线一区二区三| 美女大奶头视频| 亚洲av日韩精品久久久久久密| 久久久久国内视频| 成人二区视频| 国内精品久久久久精免费| 91狼人影院| 亚洲电影在线观看av| 美女免费视频网站| 亚洲无线在线观看| 久久久久九九精品影院| 亚洲av不卡在线观看| 欧美一级a爱片免费观看看| 免费看光身美女| 日韩欧美 国产精品| 久久婷婷人人爽人人干人人爱| 听说在线观看完整版免费高清| 免费观看的影片在线观看| 亚洲美女搞黄在线观看 | 特大巨黑吊av在线直播| 久久久久久久久中文| 在线观看av片永久免费下载| 久久中文看片网| 亚洲五月天丁香| 久久99热6这里只有精品| 国产激情偷乱视频一区二区| 在线观看66精品国产| 少妇丰满av| 91在线精品国自产拍蜜月| 亚洲人成伊人成综合网2020| 日日夜夜操网爽| 夜夜看夜夜爽夜夜摸| 国内揄拍国产精品人妻在线| 国产极品精品免费视频能看的| 男女视频在线观看网站免费| 国产亚洲欧美98| 国产高清三级在线| 亚洲第一区二区三区不卡| 国产主播在线观看一区二区| 观看美女的网站| 三级毛片av免费| 最近最新中文字幕大全电影3| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 国产免费av片在线观看野外av| or卡值多少钱| 亚洲欧美日韩高清专用| 亚洲avbb在线观看| 日本熟妇午夜| 搡老岳熟女国产| 女生性感内裤真人,穿戴方法视频| 村上凉子中文字幕在线| 深爱激情五月婷婷| 最新在线观看一区二区三区| 日日摸夜夜添夜夜添av毛片 | 乱人视频在线观看| 国产麻豆成人av免费视频| 国产av麻豆久久久久久久| 嫩草影视91久久| 欧美性感艳星| 欧美色视频一区免费| 一本精品99久久精品77| 免费无遮挡裸体视频| 久久久成人免费电影| 国产精品精品国产色婷婷| 亚洲成a人片在线一区二区| 欧美激情国产日韩精品一区| 成人国产麻豆网| 成人午夜高清在线视频| 国内精品久久久久久久电影| av在线亚洲专区| 日韩中字成人| 中亚洲国语对白在线视频| 九九爱精品视频在线观看| 欧美一级a爱片免费观看看| 国产黄片美女视频| 美女大奶头视频| 午夜亚洲福利在线播放| 成年免费大片在线观看| h日本视频在线播放| 久久久成人免费电影| 男人的好看免费观看在线视频| 日本在线视频免费播放| 欧美日韩综合久久久久久 | 亚洲内射少妇av| 97超级碰碰碰精品色视频在线观看| 久久精品国产亚洲av涩爱 | 性欧美人与动物交配| 国产成人一区二区在线| 自拍偷自拍亚洲精品老妇| 久久久精品欧美日韩精品| 韩国av在线不卡| 国产亚洲精品av在线| 欧美又色又爽又黄视频| 亚洲狠狠婷婷综合久久图片| 国内精品久久久久久久电影| 欧美高清成人免费视频www| 国产精品久久久久久亚洲av鲁大| 欧美性猛交黑人性爽| 韩国av在线不卡| 国产伦一二天堂av在线观看| 亚洲成人精品中文字幕电影| 亚洲七黄色美女视频| 国产久久久一区二区三区| 日韩一区二区视频免费看| ponron亚洲| 国产精品三级大全| 亚洲人成伊人成综合网2020| 欧美日韩国产亚洲二区| 深夜a级毛片| 欧美zozozo另类| 国产久久久一区二区三区| 国产老妇女一区| 美女高潮喷水抽搐中文字幕| 简卡轻食公司| 精品国内亚洲2022精品成人| 大型黄色视频在线免费观看| 淫秽高清视频在线观看| 久久草成人影院| 免费av不卡在线播放| 国产精品一及| 日本欧美国产在线视频| 午夜精品一区二区三区免费看| 91午夜精品亚洲一区二区三区 | 日韩欧美在线乱码| www日本黄色视频网| 亚洲欧美清纯卡通| 国产欧美日韩精品一区二区| 22中文网久久字幕| 久久精品综合一区二区三区| 国产麻豆成人av免费视频| 午夜日韩欧美国产| 亚洲自拍偷在线| 精品久久久久久久末码| 天堂影院成人在线观看| 中文亚洲av片在线观看爽| 精品午夜福利在线看| 亚洲欧美激情综合另类| 一个人看的www免费观看视频| 少妇的逼好多水| 欧美色欧美亚洲另类二区| 日韩国内少妇激情av| 国产伦精品一区二区三区视频9| 桃红色精品国产亚洲av| 亚洲中文日韩欧美视频| 日韩欧美一区二区三区在线观看| 99在线视频只有这里精品首页| netflix在线观看网站| 一a级毛片在线观看| 国产精华一区二区三区| 看黄色毛片网站| 人人妻,人人澡人人爽秒播| 亚洲av第一区精品v没综合| 黄色丝袜av网址大全| 91久久精品电影网| 欧美一区二区亚洲| 国产色爽女视频免费观看| 久久国产乱子免费精品| 禁无遮挡网站| 亚洲午夜理论影院| 热99在线观看视频| 欧美色视频一区免费| 国内精品一区二区在线观看| 亚洲av成人av| 老司机福利观看| 国产精品一区二区性色av| 亚洲av一区综合| 国产成人a区在线观看| 亚洲美女黄片视频| 午夜老司机福利剧场| 欧美高清成人免费视频www| 久久亚洲精品不卡| 在线免费观看不下载黄p国产 | 91在线精品国自产拍蜜月| 亚洲av中文字字幕乱码综合| 亚洲精品色激情综合| 成年免费大片在线观看| 亚洲第一区二区三区不卡| 深爱激情五月婷婷| 真实男女啪啪啪动态图| 自拍偷自拍亚洲精品老妇| 久久久久国内视频| 熟妇人妻久久中文字幕3abv| 国产蜜桃级精品一区二区三区| 性插视频无遮挡在线免费观看| 午夜免费男女啪啪视频观看 | 久久精品久久久久久噜噜老黄 | 成年免费大片在线观看| 国产亚洲精品久久久久久毛片| 久久久精品欧美日韩精品| 国产综合懂色| 亚洲欧美日韩无卡精品| 精品无人区乱码1区二区| 免费观看在线日韩| 搡老妇女老女人老熟妇| 国产成人a区在线观看| 午夜福利欧美成人| 在线看三级毛片| 国产亚洲精品久久久久久毛片| 免费大片18禁| 免费人成在线观看视频色| 男女做爰动态图高潮gif福利片| 久久久久性生活片| 国产午夜福利久久久久久| 成人午夜高清在线视频| 麻豆一二三区av精品| 香蕉av资源在线| 99热这里只有是精品在线观看| 一级黄色大片毛片| 亚洲av一区综合| 久久久精品大字幕| 五月伊人婷婷丁香| 在线免费十八禁| 国产精品1区2区在线观看.| 国产精品三级大全| 别揉我奶头 嗯啊视频| 国产男靠女视频免费网站| 国产真实乱freesex| 国产午夜福利久久久久久| 97热精品久久久久久| 91狼人影院| 亚洲自偷自拍三级| 日本在线视频免费播放| 亚洲乱码一区二区免费版| 午夜精品在线福利| 日韩国内少妇激情av| www.色视频.com| 欧美3d第一页| 我的老师免费观看完整版| 亚洲欧美日韩卡通动漫| 99精品在免费线老司机午夜| 日韩精品有码人妻一区| 99热6这里只有精品| 国产精品亚洲一级av第二区| 99九九线精品视频在线观看视频| 久久国产精品人妻蜜桃| 精品人妻视频免费看| 精品人妻熟女av久视频| 日本成人三级电影网站| 18禁在线播放成人免费| 中文字幕久久专区| 久久精品国产亚洲av香蕉五月| 热99re8久久精品国产| 日本黄色视频三级网站网址| 日日干狠狠操夜夜爽| 午夜免费男女啪啪视频观看 | 精华霜和精华液先用哪个| 国产成人av教育| 夜夜看夜夜爽夜夜摸| 久久6这里有精品| 韩国av一区二区三区四区| 变态另类丝袜制服| 老师上课跳d突然被开到最大视频| 国产精品无大码| 热99re8久久精品国产| 久久香蕉精品热| 国产伦人伦偷精品视频| 18+在线观看网站| 免费高清视频大片| 国产综合懂色| 国产免费av片在线观看野外av| 女的被弄到高潮叫床怎么办 | 别揉我奶头~嗯~啊~动态视频| 亚洲经典国产精华液单| 欧美成人一区二区免费高清观看| 婷婷精品国产亚洲av| 亚洲五月天丁香| 亚洲av二区三区四区| av视频在线观看入口| 91狼人影院| or卡值多少钱| 免费一级毛片在线播放高清视频| 亚洲av美国av| 久久午夜亚洲精品久久| 亚洲,欧美,日韩| 舔av片在线| 内地一区二区视频在线| 身体一侧抽搐| 在现免费观看毛片| 日本黄大片高清| 99精品久久久久人妻精品| 又粗又爽又猛毛片免费看| 性欧美人与动物交配| 2021天堂中文幕一二区在线观| 国产精品美女特级片免费视频播放器| 成年女人看的毛片在线观看| 亚洲七黄色美女视频| 尾随美女入室| 日本免费a在线| 搡老熟女国产l中国老女人| 中文字幕熟女人妻在线| 99热精品在线国产| 国产国拍精品亚洲av在线观看| 高清在线国产一区| 久久精品国产自在天天线| 成年女人毛片免费观看观看9| 欧美又色又爽又黄视频| 国产麻豆成人av免费视频| 人妻夜夜爽99麻豆av| 国产亚洲精品久久久com| 熟女电影av网| 男人和女人高潮做爰伦理| 亚洲第一区二区三区不卡| 亚洲av免费高清在线观看| 精品一区二区三区视频在线观看免费| 久久久久九九精品影院| h日本视频在线播放| 欧美成人一区二区免费高清观看| 九九在线视频观看精品| 精品一区二区三区视频在线| 欧美又色又爽又黄视频| 亚洲男人的天堂狠狠| 亚州av有码| 欧美高清成人免费视频www| 嫩草影院新地址| 久久久久国产精品人妻aⅴ院| 女人十人毛片免费观看3o分钟| 亚洲最大成人中文| 久久久久久久精品吃奶| 亚洲精品一卡2卡三卡4卡5卡| 免费观看的影片在线观看| 国内少妇人妻偷人精品xxx网站| 很黄的视频免费| 国产真实伦视频高清在线观看 | 国产探花极品一区二区| 超碰av人人做人人爽久久| 欧美+日韩+精品| 欧美性猛交╳xxx乱大交人| 日韩在线高清观看一区二区三区 | 97热精品久久久久久| 精品福利观看| 色精品久久人妻99蜜桃| 国产极品精品免费视频能看的| 无人区码免费观看不卡| 久久精品久久久久久噜噜老黄 |