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    淺談高溫晶圓探針測(cè)試

    2014-04-29 02:39:10胡玉
    卷宗 2014年3期
    關(guān)鍵詞:良率晶圓配件

    摘 要:隨著半導(dǎo)體測(cè)試的不斷發(fā)展,基于成本和質(zhì)量控制及工藝優(yōu)化的考慮,在晶圓探針測(cè)試階段引入高溫測(cè)試已成為必要課題。較之常溫下的晶圓測(cè)試,引入溫度變數(shù)的高溫晶圓探針測(cè)試,更易出現(xiàn)因接觸不良導(dǎo)致的良率不佳或探針痕跡過(guò)深導(dǎo)致的產(chǎn)品穩(wěn)定性差。本文通過(guò)對(duì)高溫情況下晶圓探針測(cè)試的常見(jiàn)問(wèn)題、晶圓探針卡針位及探針痕跡的變化規(guī)律的的分析,提出相應(yīng)的改善措施。

    關(guān)鍵字:高溫,探針預(yù)熱,接觸不良,晶圓探針測(cè)試,溫度影響

    1 探針卡的結(jié)構(gòu)及環(huán)境溫度影響

    以懸臂式探針卡為例,其示意圖如圖1所示。在高溫晶圓探針測(cè)試中,探針測(cè)試臺(tái)中的chuck提供晶圓(wafer)測(cè)試時(shí)的溫度,探針測(cè)試卡中的PCB等易受環(huán)境溫度影響的配件所發(fā)生的形變,在高溫環(huán)境下將直接表現(xiàn)為測(cè)試時(shí)針位的變化,如圖2所示,而針位的變化將會(huì)直接影響測(cè)試過(guò)程中的探針與晶圓的焊墊接觸良好與否,從而對(duì)良率及產(chǎn)品的性能產(chǎn)生影響。

    2 常見(jiàn)問(wèn)題分析

    我們以130℃高溫下晶圓測(cè)試的產(chǎn)品為例,在大規(guī)模批量生產(chǎn)測(cè)試過(guò)程中,經(jīng)常遭遇的有如下問(wèn)題:

    探針痕跡忽大忽小,深度不一,探針與焊墊的接觸不穩(wěn)定。

    高溫環(huán)境下,開(kāi)始測(cè)試后探針痕跡越來(lái)越大,深度越來(lái)越深,導(dǎo)致測(cè)試后的晶圓焊墊的破壞或產(chǎn)品的穩(wěn)定性差,從而影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。

    測(cè)試過(guò)程中,晶圓換片測(cè)試、機(jī)臺(tái)暫停、自動(dòng)清潔針卡后出現(xiàn)針痕變淺或直接無(wú)針痕而導(dǎo)致良率低或無(wú)良率。

    以上問(wèn)題均因在連續(xù)測(cè)試過(guò)程中PCB等配件因受溫度影響而發(fā)生形變,繼而導(dǎo)致針位與初始機(jī)臺(tái)定位時(shí)的設(shè)定位置不同而出現(xiàn)偏差。當(dāng)針痕越來(lái)越深時(shí),說(shuō)明針位較之初始設(shè)定位置向下出現(xiàn)了越來(lái)越大的偏差,PCB在高溫環(huán)境下隨著時(shí)間的增加持續(xù)在發(fā)生形變;而當(dāng)機(jī)臺(tái)較長(zhǎng)時(shí)間暫停,PCB外圍環(huán)境溫度降低時(shí),PCB發(fā)生反向形變,從而出現(xiàn)了針痕過(guò)淺或無(wú)針痕的接觸不良現(xiàn)象;探針痕跡的深度不一,忽大忽小,說(shuō)明PCB隨著外圍環(huán)境溫度的變化在發(fā)生不同程度的形變。

    綜上,高溫測(cè)試環(huán)境下,常規(guī)探針測(cè)試卡的PCB等配件受溫度影響發(fā)生不同程度的形變導(dǎo)致針痕不佳接觸不良是不可避免的,而解決問(wèn)題的關(guān)鍵是找出PCB等配件發(fā)生形變的規(guī)律,從而找到相應(yīng)的解決方案。

    3 改善措施

    為找出形變發(fā)生的規(guī)律,將探針測(cè)試卡置于130℃高溫測(cè)試環(huán)境下進(jìn)行預(yù)熱,每十分鐘記錄一次針位和針痕深度的數(shù)據(jù),通過(guò)數(shù)據(jù)分析我們總結(jié)出預(yù)熱時(shí)間和針位、針痕深度之間有如圖3、圖4所示規(guī)律如下:

    針位和針痕深度隨著預(yù)熱時(shí)間的增加發(fā)生變化,前40分鐘內(nèi)發(fā)生突變;40分鐘~60分鐘之間,變化趨于平穩(wěn);60分鐘以上后,變化趨于飽和,幾乎可以忽略不計(jì)。

    以上結(jié)果表明,探針測(cè)試卡PCB等配件發(fā)生的形變而導(dǎo)致的針位和探針痕跡的變化跟預(yù)熱時(shí)間長(zhǎng)短有直接關(guān)系,通過(guò)足夠時(shí)長(zhǎng)的預(yù)熱可以使其達(dá)到飽和形變,將此時(shí)對(duì)應(yīng)的針位定位為測(cè)試開(kāi)始的初始位置,即可改善高溫測(cè)試中探針痕跡不佳、接觸不良的現(xiàn)象。

    4 結(jié)論

    本文通過(guò)對(duì)探針測(cè)試卡PCB等配件發(fā)生形變的觀察,找出導(dǎo)致高溫探針晶圓測(cè)試良率不佳的根本原因,依據(jù)預(yù)熱時(shí)間與針位、針痕深度之間關(guān)系的數(shù)據(jù)的分析,提出了相應(yīng)的解決方案,對(duì)穩(wěn)定生產(chǎn)流程、減少測(cè)試成本起到了積極的作用,在實(shí)際的生產(chǎn)應(yīng)用中也是行之有效的。

    參考文獻(xiàn)

    [1]Cheng-Lung Wang, Shan-Ming Lan. An Investigation in Temperature Effects with an Improvement Approach of Wafer Probing Test. Journal of Advanced Engineering Vol. 7, No. 3, pp. 109-114/ July 2012

    [2]Mark Burns and Gordon W. Roberts. An Introduction to Mixed-Signal IC Test and Measurement, Oxford University Press, Inc. 2001

    作者簡(jiǎn)介

    胡玉(1982~),女,天津市,助理工程師,本科,研究方向:半導(dǎo)體測(cè)試。

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