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    激光量熱法測量K9基片的表面吸收和體吸收

    2014-03-27 03:21:16陳松林歐陽升衛(wèi)耀偉
    應(yīng)用光學(xué) 2014年2期
    關(guān)鍵詞:熱法基片吸收率

    劉 浩, 潘 峰,陳松林, 王 震,馬 平,歐陽升, 衛(wèi)耀偉

    (成都精密光學(xué)工程研究中心,四川 成都 610041)

    引言

    光學(xué)吸收是衡量光學(xué)元件質(zhì)量的重要指標(biāo)。吸收的存在不僅會影響其光譜性能,更會造成元件的熱沉積。特別在高功率激光作用下,光學(xué)吸收是導(dǎo)致激光損傷的關(guān)鍵因素之一[1-2],是制約高功率激光器輸出的重要因素,因而有必要對光學(xué)元件的吸收進(jìn)行精確測量,從而達(dá)到減少吸收損耗和制備高質(zhì)量的光學(xué)元件的目的。

    K9基片是最常用的光學(xué)元件之一,具有從350 nm到近紅外的較寬透光范圍和優(yōu)良的物理化學(xué)穩(wěn)定性,在拋光制作中不易產(chǎn)生劃痕,幾乎不產(chǎn)生氣泡,在光學(xué)系統(tǒng)中具有極廣泛的應(yīng)用。文獻(xiàn)[3]對K9基片上的Al2O3薄膜進(jìn)行了損傷測試,發(fā)現(xiàn)損傷形貌主要與高溫脫落有關(guān),文獻(xiàn)[4-8]對K9基片的激光體損傷、亞表面損傷、后表面損傷作了廣泛研究,文獻(xiàn)[9]對K9基片在連續(xù)激光作用下的熱分布進(jìn)行了模擬,但對K9基片的弱吸收研究尚未見報(bào)道。

    K9基片的吸收由2部分組成:體吸收和表面吸收[10-11]。體吸收與材料的能帶、雜質(zhì)及缺陷有關(guān),而表面吸收更多與拋光工藝和表面清潔有關(guān)。現(xiàn)代K9材料的吸收已經(jīng)減小到10-3/cm量級,為確定吸收來源和進(jìn)一步降低吸收,需要分離材料的體吸收和表面吸收,從而有針對性地改進(jìn)加工技術(shù)。

    目前測量光學(xué)元件弱吸收的方法主要有光熱法和激光量熱法[12-15]。其中,激光量熱法是目前測量弱吸收的國際標(biāo)準(zhǔn)方法(ISO 11551),其優(yōu)點(diǎn)是能直接測量吸收絕對值(不需要定標(biāo)),且裝置簡單、操作方便、工作狀態(tài)穩(wěn)定。

    基于ISO 11551的測量原理,采用一臺基于國際標(biāo)準(zhǔn)ISO11551的1 064 nm激光量熱計(jì),對相同工藝條件下制作的不同厚度K9基片進(jìn)行了弱吸收測量研究,分析了表面吸收和體吸收的比例。

    1 激光量熱法原理

    大多數(shù)光學(xué)元件(如K9)吸收1 064 nm激光后將光能轉(zhuǎn)換為熱能,導(dǎo)致元件的溫度升高。溫升的幅度與元件的吸收率、激光能量成正比,與元件的質(zhì)量、比熱容成反比。激光量熱法通過測量激光照射過程中光學(xué)元件的溫度變化來確定其吸收大小。

    實(shí)驗(yàn)中采用Φ25 mm,厚度為d的K9基片。ISO 11551指出,在(r=7 mm,z=d)處測量的樣品溫度變化可表述為

    (1)

    式中:T為時間t的函數(shù);P代表激光功率,γ為熱損耗系數(shù);R和d分別為樣品的半徑和厚度。ISO11551規(guī)定:測量樣品的質(zhì)量m和比熱容c,采用一定功率P的激光照射樣品,在特定位置處測量溫度變化,采用近似模型對采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行最小二乘擬合,即可得到樣品的吸收值。

    其他誤差包括質(zhì)量m、比熱容c、激光功率P的測量誤差、噪聲帶來的誤差、擬合誤差,采用激光量熱法測量弱吸收的相對誤差不超過13%。

    2 實(shí)驗(yàn)

    2.1 樣品制備

    本文采用0級光潔度的K9樣品,表面無劃痕。樣品分為3組,直徑均為Φ25 mm,每組樣品5個,厚度分別1 mm、2 mm、3 mm、4 mm、5 mm。所有樣品采用同一拋光工藝制備。樣品的物理參數(shù)如表1所示。

    表1 K9基片的物理性質(zhì)Table 1 Physical parameters of K9 glass

    樣品統(tǒng)一采用酒精和丙酮擦拭。采用lambda 900分光光度計(jì)測量基片的0°透過率,在500 nm~1 300 nm范圍內(nèi)透過率均為95.74%,無干涉波紋。

    2.2 實(shí)驗(yàn)裝置及實(shí)驗(yàn)方法

    實(shí)驗(yàn)裝置如圖1所示。輻照光源使用波長為1 064 nm的連續(xù)激光器,偏振方向?yàn)閟-偏振,在樣品表面光斑呈高斯型,直徑約0.8 mm,如圖2所示。樣品放入絕熱箱以減少環(huán)境溫度漂移對測量的影響;反射鏡相當(dāng)于光路開關(guān),開關(guān)打開時激光照射樣品,開關(guān)合上時激光進(jìn)入能量計(jì),通過計(jì)算機(jī)可控制激光照射樣品的時間。采用負(fù)溫度系數(shù)傳感元件NTC探測樣品溫度。調(diào)節(jié)樣品架可使激光照射至樣品中心,NTC距離樣品中心7 mm。儀器使用了多個可變口徑光闌,調(diào)節(jié)光闌可使雜散光對測量影響最小。

    為確定噪聲(溫漂、雜散光)對測量的影響,對零吸收樣品進(jìn)行了測量,測量過程分3個階段:照射前(>30 s)、照射加熱(5 s~300 s)、冷卻(>200 s)。照射前階段記錄的溫度變化用于消除環(huán)境溫度漂移對弱吸收測量的影響。圖3中所示為溫度-時間數(shù)據(jù)及其擬合曲線。由圖可見:溫度噪聲為100 μK左右,對應(yīng)的弱吸收值僅為2.0×10-7,雜散光的影響可忽略不計(jì),儀器的探測精度達(dá)到6.4×10-7。

    圖1 激光量熱計(jì)裝置示意圖Fig.1 Schematic of laser calorimeter

    圖2 光斑形貌Fig.2 Beam shape of laser

    圖3 噪聲測量Fig.3 Measurement of 0 absorption sample

    測量了K9樣品的弱吸收,入射角接近0°,使用的激光功率為6.5 W,照射前時間設(shè)定為180 s,照射時間設(shè)定為120 s,冷卻時間設(shè)定為400 s。采用最小二乘法對測得數(shù)據(jù)擬合,計(jì)算弱吸收值。

    3 分析與討論

    圖4所示為1組樣品(1 mm~5 mm)的溫度-時間數(shù)據(jù)及擬合圖,擬合曲線與數(shù)據(jù)點(diǎn)基本重合。由圖可見,樣品的有效熱容(m·c)隨厚度增大而增加,但由于樣品的吸收率增大,其吸收的熱量更多,從而導(dǎo)致溫升更明顯。

    圖4 不同厚度K9樣品的溫度變化曲線Fig.4 Temperature curves of K9 substrates with different thicknesses

    分析樣品吸收率-厚度數(shù)據(jù),對其進(jìn)行線性擬合,如圖5所示,擬合關(guān)系式為(2)式,擬合相關(guān)系數(shù)達(dá)到99.8%,說明樣品吸收率隨著厚度增加近似線性增大。樣品的吸收由表面吸收和體吸收兩部分構(gòu)成。采用體吸收系數(shù)對不同厚度樣品的體吸收率進(jìn)行描述。

    圖5 K9弱吸收隨厚度的變化Fig.5 Weak absorptance versus thickness

    A=24.2+172.3×d

    (2)

    設(shè)K9樣品的表面吸收率為A0,體吸收系數(shù)為α(1/cm);光波入射進(jìn)入基片后,在基片內(nèi)部產(chǎn)生多次反射,如圖6所示,樣品的吸收為多次反射產(chǎn)生的體吸收與界面吸收之和。光源線寬約為10 nm,相干長度(約0.1 mm)遠(yuǎn)小于基片厚度,可不考慮相干效應(yīng)。

    圖6 K9基片內(nèi)光線示意圖Fig.6 Schematic of laser beam inside K9 glass

    若光線的入射角為θ0,折射角為θ1,樣品的總吸收[16]為

    (3)

    A=2A0+αd

    (4)

    本文使用的K9玻璃折射率為1.52,代入上式可得樣品的表面吸收率和體吸收系數(shù)。表面吸收率約為1.2×10-5,可能是由于表面殘留雜質(zhì)或表面微結(jié)構(gòu)引起;而體吸收率(厚度>1 mm)遠(yuǎn)大于表面吸收率,是K9基片吸收的主要來源。通過清潔、清除表面及亞表面缺陷、改善拋光工藝不能明顯降低K9基片的吸收,需通過改善K9材料和純度來降低基片的體吸收。

    本實(shí)驗(yàn)樣品K9體吸收系數(shù)為1.7×10-3/cm,經(jīng)換算其消光系數(shù)為1.46×10-8。從圖4中可以看到,K9基片在激光光斑處可產(chǎn)生明顯的溫升,在強(qiáng)激光領(lǐng)域使用K9元件時需考慮溫升、自聚焦效應(yīng)及損傷閾值對激光系統(tǒng)的影響。

    4 結(jié)論

    分析了激光量熱法的測量原理,分析指出激光量熱法具有精度高、直接測量(無需定標(biāo))、裝置簡單的特點(diǎn)。采用激光量熱法測量了K9 基片的弱吸收,其吸收值遠(yuǎn)小于1%。在弱吸收前提下,隨著厚度增加,K9的吸收率線性增加。K9樣品的吸收率由2部分構(gòu)成——表面吸收和體吸收。表面吸收率為1.2×10-5,體吸收系數(shù)為1.7×10-3/cm。K9基片弱吸收主要來源于體吸收,改善拋光工藝對降低其吸收率無明顯作用。K9基片不宜用于強(qiáng)激光場合。

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