一種制備金紅石型二氧化鈦及其形成半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法
2014-03-19 15:37:28
無機(jī)鹽工業(yè) 2014年1期
本發(fā)明公布了一種金紅石型二氧化鈦的制備方法。具體方法：1）將過渡金屬（如釩、鉻、鎢、錳、釕、鋨、銠、銥、鉑、鍺、錫或鉛）置于氧氣（O2）氛圍使之氧化，反應(yīng)溫度為200～400℃；2）再通過原子層沉積將氣態(tài)鹵化鈦前驅(qū)體和水與經(jīng)氧化的過渡金屬在450℃左右反應(yīng)，得到金紅石型二氧化鈦產(chǎn)品。此外，本發(fā)明還介紹了制備具有半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)金紅石型二氧化鈦的方法。 US,8609553
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——以金紅石為例
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