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    分離柵式快閃存儲(chǔ)器擦除性能的工藝優(yōu)化

    2014-02-26 09:42:08周儒領(lǐng)張慶勇詹奕鵬
    電子與封裝 2014年6期
    關(guān)鍵詞:存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)器對(duì)稱性

    周儒領(lǐng),張慶勇,詹奕鵬

    (中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司,上海 201203)

    1 引言

    分離柵式存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)單元如圖1和圖2所示,其使用了3層多晶硅工藝來(lái)分別形成浮柵(Floating Gate, FG)、控制柵(Control Gate, CG)和選擇柵(Select Gate/Word Line, SG/WL)/擦除柵(Erase Gate, EG),并在結(jié)構(gòu)上分離出了專用的控制柵和擦除柵[1]。由于專門(mén)的擦除柵的存在,選擇柵的柵氧不用在擦除操作時(shí)承受高壓,可以做到更薄,更容易實(shí)現(xiàn)縮微工藝對(duì)低工作電壓的發(fā)展需求[2]。

    圖1 分離柵式快閃存儲(chǔ)器的結(jié)構(gòu)單元

    在對(duì)選中的分離柵式快閃存儲(chǔ)器存儲(chǔ)單元進(jìn)行擦除操作時(shí),浮柵中的電子通過(guò)EG-FG多晶硅到多晶硅FN隧穿效應(yīng)穿過(guò)層間氧化層被拉到EG中去,從而完成擦除操作。

    圖2 分離柵式快閃存儲(chǔ)器的擦除操作示意圖

    通過(guò)對(duì)EG端加一高壓,源端、漏端、襯底、選擇柵和控制柵等其他終端均接地,在擦除柵和浮柵兩層多晶硅間由于耦合電容作用,在其層間氧化層上形成一定電壓差,足以把浮柵中的電子通過(guò)FN隧穿拉到擦除柵。同時(shí)隨著浮柵中的電子逐漸被拉出,浮柵電位升高,其與擦除柵的相對(duì)電位差會(huì)縮小,從而弱化氧化層間的電勢(shì)差而達(dá)到平衡。

    隨著浮柵中電子被拉出,從而降低了浮柵開(kāi)啟的閾值電壓。這樣,在讀周期的時(shí)候,施加在終端的參考電壓不但可以開(kāi)啟選擇柵,同樣能夠通過(guò)控制柵耦合以開(kāi)啟浮柵,使源漏端溝道得以導(dǎo)通從而產(chǎn)生電流,我們定義此為存儲(chǔ)單元的擦除狀態(tài)“1”。

    由于相鄰字線(WL/SG)上的所有存儲(chǔ)單元共用一條擦除線,因此,被選中的字線上的所有字節(jié)會(huì)被同時(shí)擦除。并且由于有選擇柵的存在和關(guān)斷,可以有效避免疊柵式結(jié)構(gòu)閃存存儲(chǔ)器常見(jiàn)的過(guò)擦除(Over-Erase)問(wèn)題,也就是說(shuō)即使過(guò)度擦除的分離柵式存儲(chǔ)單元也不會(huì)產(chǎn)生不必要的漏電流,從而不會(huì)產(chǎn)生讀周期的誤判[3]。

    2 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容

    借鑒前代分離柵式快閃存儲(chǔ)器的帶有浮柵尖角的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)[2~3],我們分析認(rèn)為可以通過(guò)形成非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu),改變浮柵到擦除柵側(cè)的結(jié)構(gòu)形貌,增加一個(gè)浮柵到擦除柵的突出角來(lái)提高浮柵到擦除柵的正向隧穿電壓,從而提高擦除效率。

    在工藝上,我們是通過(guò)在蝕刻制程定義浮柵前生長(zhǎng)一層犧牲性側(cè)墻來(lái)達(dá)到形成浮柵到擦除柵的突出角的目的,保留擦除柵側(cè)的犧牲性側(cè)墻而去除選擇柵側(cè)的犧牲性側(cè)墻以形成非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu),同時(shí)還可以通過(guò)控制犧牲性側(cè)墻的厚度來(lái)形成不同的浮柵到擦除柵的突出角長(zhǎng)度。需要特別指出的是,在我們?cè)O(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)條件中,我們僅對(duì)浮柵在擦除柵側(cè)的形貌做出了突出角,而相對(duì)于選擇柵側(cè)的浮柵則沒(méi)有此突出角,其目的是為了對(duì)存儲(chǔ)單元的寫(xiě)入以及寫(xiě)入干擾性能不會(huì)產(chǎn)生明顯影響[4]。

    圖3 非對(duì)稱性浮柵的結(jié)構(gòu)示意圖

    為了對(duì)比不同浮柵到擦除柵側(cè)的結(jié)構(gòu)形貌對(duì)分離柵式快閃存儲(chǔ)單元擦除效率的影響,我們對(duì)應(yīng)設(shè)計(jì)了不同浮柵到擦除柵的突出角長(zhǎng)度的工藝實(shí)驗(yàn)(如表1所示),從沒(méi)有突出角的對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu)到最大8 nm長(zhǎng)度突出角的非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu)。

    表1 不同浮柵突出角的實(shí)驗(yàn)條件表

    針對(duì)不同的實(shí)驗(yàn)條件,在評(píng)估擦除性能時(shí),我們以擦除操作一定時(shí)間后(一般擦除操作時(shí)間為10 ms)讀到的存儲(chǔ)單元的溝道電流(Ir1)和到達(dá)一定擦除目標(biāo)電流時(shí)所需的時(shí)間(T2E,time to erase)兩個(gè)測(cè)試指標(biāo)來(lái)衡量分離柵式快閃存儲(chǔ)單元的擦除效率,表征為T(mén)2E的時(shí)間越短,包括存儲(chǔ)單元的溝道電流開(kāi)啟的時(shí)間和電流到達(dá)飽和的時(shí)間越短,同時(shí)在規(guī)定時(shí)間擦除操作后的電流越高,則擦除效果越佳。

    3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果

    實(shí)驗(yàn)最終得到的非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu)形貌如圖4所示,浮柵在擦除柵側(cè)的形貌帶有一定長(zhǎng)度的突出角,而位于選擇柵側(cè)的浮柵則沒(méi)有突出角。

    針對(duì)不同浮柵到擦除柵的突出角長(zhǎng)度的工藝實(shí)驗(yàn),對(duì)應(yīng)的擦除效率表征實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖5所示。

    由圖5的T2E曲線分析,浮柵到擦除柵的突出角的存在能夠有效縮短存儲(chǔ)單元的溝道電流(Ir1)開(kāi)啟的時(shí)間,特別是突出角長(zhǎng)度達(dá)到5 nm以后效果非常明顯,而從到達(dá)飽和電流所需要的時(shí)間來(lái)看,也保持和電流開(kāi)啟時(shí)間同樣的趨勢(shì),基本上在實(shí)驗(yàn)范圍內(nèi)突出角的長(zhǎng)度與T2E時(shí)間有著強(qiáng)烈的正相關(guān)性,也就是說(shuō)浮柵到擦除柵的突出角長(zhǎng)度越長(zhǎng),T2E時(shí)間越短。

    圖4 非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu)形貌的TEM圖像

    圖5 不同浮柵到擦除柵的突出角長(zhǎng)度的擦除效率表征

    從理論上分析,當(dāng)浮柵到擦除柵側(cè)形成了一個(gè)突出角后,因?yàn)樾蚊驳母淖儯诺讲脸龞诺乃泶┭趸瘜拥碾妶?chǎng)分布以及能帶圖也相應(yīng)發(fā)生了變化。由于突出角的存在,依據(jù)尖端放電效應(yīng),在突出角的尖端我們獲得了一個(gè)增強(qiáng)型的電場(chǎng),更有利于浮柵中電子在這一點(diǎn)被拉出到擦除柵。同時(shí)由于突出角的存在,電場(chǎng)分布的變化導(dǎo)致了擦除操作時(shí)的能帶圖發(fā)生彎曲,降低了浮柵到擦除柵的能帶壁壘,電子更容易穿過(guò)隧穿氧化層到達(dá)擦除柵,完成分離柵存儲(chǔ)器的擦除[2]。

    另外從擦除操作10 ms后讀到的存儲(chǔ)單元的溝道電流(Ir1)來(lái)分析,浮柵到擦除柵的突出角的形成也能夠有效增加溝道電流,但是最佳的擦除電流出現(xiàn)在突出角長(zhǎng)度在5 nm的實(shí)驗(yàn)條件(split 2)。

    分析認(rèn)為,當(dāng)浮柵到擦除柵的突出角不夠長(zhǎng)時(shí),浮柵的頂角大部分被控制柵及其保護(hù)側(cè)墻包圍,造成上述尖端放電增強(qiáng)正向隧穿電場(chǎng)效應(yīng)不夠明顯,從而影響擦除效率;但浮柵到擦除柵的突出角太長(zhǎng)時(shí),擦除柵對(duì)浮柵的耦合效應(yīng)會(huì)隨著浮柵到擦除柵接觸面積的增大而持續(xù)增加,弱化了兩者之間的隧穿電勢(shì)差而容易達(dá)到平衡,從而也不利于擦除效率的改善。仿真結(jié)果也可以得出相同的結(jié)論,隨著浮柵突出角長(zhǎng)度的增大,浮柵到擦除柵的正向隧穿電壓會(huì)不斷減小直至飽和,但是同時(shí)由此而引入的擦除柵對(duì)浮柵的耦合電壓卻會(huì)隨著浮柵到擦除柵接觸面積的增大而持續(xù)增加。受這兩個(gè)因素的共同影響,呈現(xiàn)出擦除電流在某個(gè)最優(yōu)化的突出長(zhǎng)度時(shí)能達(dá)到最大即取得最佳的擦除效率[2],在本實(shí)驗(yàn)中最佳的擦除電流就出現(xiàn)在浮柵到擦除柵的突出角長(zhǎng)度在5 nm的實(shí)驗(yàn)條件(split 2)下。

    對(duì)于這一工藝優(yōu)化后的非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu),我們對(duì)存儲(chǔ)單元的擦除電流在忍耐力方面也進(jìn)行了專門(mén)的測(cè)試[5],在每一次寫(xiě)入和擦除的循環(huán)后都讀取存儲(chǔ)單元的擦除電流,結(jié)果如圖6所示。在所需的一萬(wàn)次寫(xiě)入和擦除的循環(huán)后,所有測(cè)試樣品擦除電流的退化程度都并不明顯,顯示了這種非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu)的分離柵式閃存存儲(chǔ)器在可靠性方面的性能并未因?yàn)楦旁诓脸龞艂?cè)形貌的改變而受到影響。

    圖6 存儲(chǔ)單元的擦除電流忍耐力測(cè)試

    4 結(jié)論

    借鑒第一代與第二代分離柵式快閃存儲(chǔ)器特殊的浮柵尖角工藝,在分離柵式存儲(chǔ)器持續(xù)微縮過(guò)程中,本文通過(guò)形成非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu),改善浮柵在擦除柵側(cè)的形貌,增加一個(gè)浮柵到擦除柵的突出角并加以優(yōu)化其突出長(zhǎng)度,可以在不影響可靠性方面性能的情況下,顯著改善存儲(chǔ)單元的擦除效率。

    在工藝上,我們是通過(guò)在蝕刻制程定義浮柵前生長(zhǎng)一層犧牲性側(cè)墻來(lái)達(dá)到形成浮柵到擦除柵的突出角的目的,保留擦除柵側(cè)的犧牲性側(cè)墻而去除選擇柵側(cè)的犧牲性側(cè)墻以形成非對(duì)稱性浮柵結(jié)構(gòu),同時(shí)還可以通過(guò)控制犧牲性側(cè)墻的厚度來(lái)形成不同的浮柵到擦除柵的突出角長(zhǎng)度。

    [1] Caleb YuSheng Cho, MingJer Chen, ChiouFeng Chen,Prateep Tuntasood, DerTsyr Fan, TsengYi Liu. A Novel Self-Aligned Highly Reliable Sidewall Split-Gate Flash Memory [J]. IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, MARCH 2006,53(3):465.

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