專利名稱:一種Ti－Mo－N 多元硬質(zhì)薄膜

專利申請?zhí)?CN201110307386.7

公開號:CN102409290A

申請日:2011.10.11

公開日:2012.04.11

申請人:寧波市瑞通新材料科技有限公司

一種用于切削工具表面的具有高性能Ti－Mo－N 多元硬質(zhì)薄膜，其是采用磁控濺射的方法在切削工具表面制備Ti－Mo－N 三元硬質(zhì)薄膜，主要通過優(yōu)化多元薄膜的制備工藝參數(shù)，從而獲得一種具有高性能Ti－Mo－N 三元薄膜的切削工具，與Ti－N 二元薄膜相比，成膜后切削工具試樣外觀表面平整光滑，致密性好，經(jīng)測試，薄膜表面的元素的原子百分含量為30.5Ti－28.3Mo－41.2N，薄膜表面的硬度為29 GPa，800 ℃條件下的氧化增重僅為Ti－N 薄膜的一半。