王 攀,丁瑞軍,葉振華
(1.中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所紅外成像材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海200083;2.中國科學(xué)院研究生院,北京100039)
短波紅外焦平面陣列正向著大面陣、高分辨率等方向發(fā)展[1-2]。讀出電路是紅外焦平面陣列的重要部分,短波紅外焦平面的發(fā)展要求讀出電路具有更小的像元面積、更高的注入效率和更高的信號輸出幀頻,同時(shí)保持一定的面陣總功耗。合理的輸入級設(shè)計(jì)是短波紅外焦平面讀出電路設(shè)計(jì)的關(guān)鍵,必須綜合讀出電路對輸入級單元在尺寸、功耗、注入效率等方面的參數(shù)要求。凝視探測器的單元面積限制了讀出電路單元結(jié)構(gòu)的復(fù)雜度,導(dǎo)致常規(guī)的輸入級結(jié)構(gòu)難以滿足弱信號耦合讀出的特殊要求。
因此,本文提出并設(shè)計(jì)了一種新型的電流源負(fù)載的共源共柵結(jié)構(gòu)三管運(yùn)放CTIA輸入級結(jié)構(gòu)。新型CTIA輸入級不僅具有傳統(tǒng)CTIA結(jié)構(gòu)的高注入效率、低噪聲、高線性度和穩(wěn)定偏壓等特點(diǎn),還能有效克服了一般的CTIA結(jié)構(gòu)面積過大、功耗過高的缺點(diǎn),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)短波紅外焦平面弱信號的高幀頻、高注入效率、高分辨率和低功耗的讀出。
如圖1所示,短波紅外焦平面陣列讀出電路包含單元陣列、行公共處理結(jié)構(gòu)、公共輸出級結(jié)構(gòu)和時(shí)序控制模塊[3]。其中,512×256個單元輸入級結(jié)構(gòu)構(gòu)成了主體陣列部分,每個單元的面積為30 μm×60 μm。單元輸入級需完成對探測器光電信號的積分、采樣然后傳輸給后級。單元輸入級結(jié)構(gòu)采用了三管CTIA結(jié)構(gòu)的前置放大器。CTIA一般采用由套筒式或者折疊式組成的差分輸入加二級放大的電路結(jié)構(gòu),但由于面陣紅外探測器單元面積的限制,在有限的單元面積內(nèi)CTIA結(jié)構(gòu)不能采用套筒式或者折疊式這么復(fù)雜的多管結(jié)構(gòu)。為此,本文采用電流源負(fù)載的共源共柵結(jié)構(gòu)的三管運(yùn)放,既能提供足夠的增益又比較節(jié)省面積。
圖1 凝視焦平面讀出電路的總體框架Fig.1 Main architecture of staring IRFPAs ROIC
圖2是三管運(yùn)放結(jié)構(gòu)的示意圖和單元CTIA輸入級的結(jié)構(gòu)圖。M1、M2、M3構(gòu)成了單元輸入級的三管運(yùn)放,對應(yīng)為圖3中的FAMP結(jié)構(gòu)。為節(jié)省單元的面積,將為運(yùn)放提供偏置電壓的輔助結(jié)構(gòu)M4~M9設(shè)計(jì)在列公用結(jié)構(gòu)中。
運(yùn)放增益為:
其中,gm1是 M1管的跨導(dǎo);ro1,ro2分別是 M1管、M2管的輸出電阻,后面也將用到。
為提高運(yùn)放增益并降低工作電流,優(yōu)化調(diào)節(jié)了M1~M3管的寬長比。設(shè)計(jì)中采用了長溝道MOS管,使增益達(dá)到70dB,工作電流100 nA。如圖2所示,與多達(dá)十個以上MOS管的常用CTIA結(jié)構(gòu)相比,新構(gòu)型的CTIA明顯減少了面積。而且,由于偏置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在公共級中,使單元中的運(yùn)放只有一條電流路線流經(jīng) MI、M2、M3到地線,可顯著降低功耗。
圖2 電流源負(fù)載的共源共柵結(jié)構(gòu)示意圖Fig.2 Schematic diagram of cascode stage with current- source load
圖3 單元CTIA結(jié)構(gòu)原理圖Fig.3 Schematic diagram of unit cell CTIA structure
對于單元內(nèi)的積分電容和采樣電容的尺寸進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)基于飽和電荷容量和噪聲因素分析。如圖3所示單元結(jié)構(gòu)中還有緩沖級驅(qū)動結(jié)構(gòu)UGA,用以驅(qū)動256個單元公用的信號線的寄生電容,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高輸出幀頻。由于UGA只在Vcol有效時(shí)工作,對整個面陣的功耗影響較小。
輸出的信號電壓與輸入的光強(qiáng)(光電流)之間對應(yīng)的線性度[4]是影響紅外探測系統(tǒng)定量化應(yīng)用的關(guān)鍵。理想狀態(tài)下它們的關(guān)系是完全線性的。但是,實(shí)際電路會受到一些因素的影響而產(chǎn)生非線性輸出,如信號幅度接近工作范圍邊緣引起的非線性、信號通路上的寄生電容引起的非線性、輸入級注入效率低引起的非線性和噪聲引起的非線性。所以CTIA輸入級設(shè)計(jì)需要進(jìn)行以下幾個方面的特殊考慮。
首先,信號鏈中傳輸?shù)男盘栯妷褐到咏麺OS管工作范圍邊緣時(shí),運(yùn)放的MOS管VDS減小接近線性區(qū)邊緣,工作點(diǎn)發(fā)生變化,gm變化使工作輸出特性改變,進(jìn)而引起線性度降低。而且運(yùn)放的驅(qū)動能力也是在工作范圍的中間值處最強(qiáng),能準(zhǔn)確地傳輸信號值,靠近邊緣的驅(qū)動能力會降低。
圖4是單位增益運(yùn)放的通用結(jié)構(gòu),輸出擺幅1.1~4 V,也即在電源和地上下各損耗一個閾值電壓。輸出信號增益為AV。AV引入了非線性,導(dǎo)致信號的傳輸ΔVm=ΔVoutAv也引入了非線性。因而將工作點(diǎn)范圍設(shè)計(jì)在MOS管的飽和區(qū)減少這種非線性。
圖4 單位增益運(yùn)放的原理圖Fig.4 Schematic diagram of unity - gain amplifier
其次,采樣保持電容工作時(shí)有非線性的寄生電容會引起電荷的分流。陣列電路中長導(dǎo)線的寄生電容分走采樣保持電容的電荷是非均勻的,會引入極大的非線性甚至損耗大量信號電壓。所以,該設(shè)計(jì)中采樣保持電容都會接驅(qū)動級來向后傳輸信號。同時(shí),采樣電容盡量采用大容值。
然后,注入效率引入的非線性,注入效率隨信號強(qiáng)度改變的非均勻性會帶來很大的影響。由于CTIA結(jié)構(gòu)具有高注入效率,接近100%,很好地克服了注入效率帶來的非線性。
最后,噪聲引入的非線性。噪聲特別是低頻噪聲會影響結(jié)果的線性度,不過它對信號的影響是隨機(jī)無規(guī)律的,只能盡量抑制噪聲來達(dá)到提高線性度的目的。
圖5是該設(shè)計(jì)在CTIA輸出級節(jié)點(diǎn)處的線性度仿真結(jié)果。CTIA在工作范圍內(nèi)的積分輸出信號電壓線性度高于99.1%。
圖5 CTIA輸出電壓線性度Fig.5 The linearity of CTIA output voltage
CTIA輸入級的噪聲[5]對短波紅外焦平面探測器弱信號輸出的信噪比有比較重要的影響。為此,CTIA輸入級噪聲抑制的分析和設(shè)計(jì)是必不可少的。單元CTIA輸入級噪聲主要分為復(fù)位時(shí)段、積分時(shí)段、傳輸時(shí)段三個部分。單元電路總的噪聲為:
其中,下標(biāo)表明了噪聲分別屬于傳輸管(TG)、源級跟隨器(SF)在積分(int)、復(fù)位(RST)和選通(SEL)時(shí)間段。后面公式中的W,L為MOS管的寬和長,gmn是MOS管n的跨導(dǎo)。
首先分析圖4中單位增益運(yùn)放結(jié)構(gòu)的噪聲,作為下面噪聲分析的基礎(chǔ)。其等效輸入噪聲[6]為1/f噪聲和熱噪聲之和:
其中,COX是單位面積柵氧電容;γ為MOS管熱噪聲系數(shù);W、L分別為MOS管的寬和長;KN為N管的閃爍噪聲常數(shù)。下標(biāo)1,3對應(yīng)M1、M3管,以下同理。
3.2.1 復(fù)位階段噪聲分析
在復(fù)位階段只有復(fù)位管Vreseta與積分電容Cint參與復(fù)位,可以求得此時(shí)積分電容上的輸出噪聲:
3.2.2 積分階段噪聲分析
在積分階段,運(yùn)放參與信號產(chǎn)生過程,引入運(yùn)放的噪聲后的積分輸出噪聲為:
3.2.3 信號傳輸時(shí)段的噪聲分析
信號傳輸過程中,參與傳輸?shù)慕Y(jié)構(gòu)會引入噪聲,單位增益運(yùn)放UGA引入的噪聲(f為頻率):
傳輸管TG引入噪聲:
上述分析可知積分電容Cint的影響最大,其他參數(shù)均影響到電路的工作狀態(tài)。因此,設(shè)計(jì)大的電容和大面積大寬長比的的管子來降低噪聲。本設(shè)計(jì)選用了60fF的積分電容和120fF的采樣電容,傳輸管和驅(qū)動管均在有限面積內(nèi)設(shè)計(jì)的足夠大來減小噪聲[7]。
為提高芯片成品率和可靠度,要對原理設(shè)計(jì)進(jìn)行全面的仿真。包括理想模型的前仿真和提取寄生參數(shù)的后仿真,特別是在低溫模型下的后仿真。該設(shè)計(jì)在cadence ic51軟件平臺下進(jìn)行原理圖仿真,版圖的寄生參數(shù)使用mentor公司calibre提取。利用了無錫上華的標(biāo)準(zhǔn)CSMC-6S05DPTM 0.5 μm工藝庫模型做了版圖設(shè)計(jì)和前后仿真。
圖6是在500 Hz幀頻下加入寄生參數(shù)前后的仿真結(jié)果。對比參數(shù)提取后的前仿真和后仿真結(jié)果,可以看出后仿的擺幅降低、線性度下降、信號“平臺”更短更不穩(wěn)定和整體輸出信號電壓降低。前后仿結(jié)果基本一致,信號“階梯”良好,頻率響應(yīng)正常。
擺幅下降是信號線和MOS管柵極的寄生電容分去了部分電荷,導(dǎo)致傳輸?shù)碾妷航档?。這可以通過提高采樣電容的容值,減小輸入管柵面積改善。線性度下降是受寄生電阻和電容噪聲的影響。信號“平臺”不穩(wěn)定,是由于輸出級驅(qū)動不夠?qū)е律仙蛘呦陆禃r(shí)間過長。整體電壓降低是信號線電阻分壓的結(jié)果。后仿結(jié)果給版圖的修改和原理圖的設(shè)計(jì)提供了很好的指導(dǎo)。
圖6 前仿與后仿結(jié)果對比Fig.6 Contrast original and post- layout simulation
基于上華CSMC-6S05DPTM 0.5 μm工藝?yán)L制版圖并流片。流片完成的驗(yàn)證電路實(shí)際測試結(jié)果與仿真基本符合。電路芯片測試結(jié)果如下:
讀出電路的飽和信號電壓為2.5 V,飽和電子數(shù)1.1 Me-,噪聲電壓0.37 mV,單元電路功耗為0.84 μW,非線性度小于1%。
本文在30 μm×60 μm單元面積內(nèi)設(shè)計(jì)了短波紅外焦平面讀出電路CTIA輸入級。該輸入級能夠很好的處理探測器的0.1~10 pA小信號電流,具有很高的響應(yīng)線性度和大動態(tài)范圍。測試結(jié)果表明,該讀出電路在高幀頻下工作能夠滿足設(shè)計(jì)指標(biāo)。
為滿足應(yīng)用發(fā)展的要求,該讀出電路輸入級結(jié)構(gòu)的研制需要進(jìn)一步提高偏置電壓穩(wěn)定性、降低噪聲影響,同時(shí)向更小面積(如20 μm×20 μm)發(fā)展。
[1] He Li,Hu Xiaoning,Ding Ruijun,et al.Recent progress of the 3rd generation infrared FPAs[J].Infrared and Laser Engineering,2007,36(5):696 -701.(in Chinese)何力,胡曉寧,丁瑞軍,等.第三代紅外焦平面基礎(chǔ)技術(shù)的研究進(jìn)展[J].紅外與激光工程,2007,36(5):696-701.
[2] Cai Yi,Hu Xu.Short wave infrared imaging technology and its defence application[J].Infrared and Laser Engineering,2006,35(6):643 -647.(in Chinese)蔡毅,胡旭.短波紅外成像技術(shù)及其軍事應(yīng)用[J].紅外與激光工程,2006,35(6):643 -647.
[3] Wang Pan,Ding Ruijun.A new design of ROIC with CDS and programmable arbitrary line selection[C]//Processing of SPIE,International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging 2011:Advances in Infrared Imaging,2011,8193:819316.
[4] Wen Yong,Liu Sichao,Jin Youshan,et al.Investigation on the nonlinearity of CTIA readout circuit[J].Laser & Infrared,2009,39(9):978 -981.(in Chinese)文勇,劉思超,金友山,等.CTIA型讀出電路非線性的研究[J].激光與紅外,2009,39(9):978 -981.
[5] Jan Vermeiren,Urbain Van Bogget,Guido Vanhorebeek,et al.Low - noise,fast frame - rate InGaAs 320 × 256 FPA for hyperspectral applications[C]//Processing of SPIE,Infrared Technology and Applications XXXV,2009,7298:72983N.
[6] RAZAVI B.Design of analog CMOS integrated circuits[M].Chen Guican,Cheng Jun,Zhang Ruizhi,Translated.Xi’an:Xi’an Jiaotong University Press,2003:357 -359.(in Chinese)畢查德拉扎維.模擬CMOS集成電路設(shè)計(jì)[M].陳貴燦,程軍,張瑞智,譯.西安:西安交通大學(xué)出版社,2003:357-359.
[7] Phjlljp L Jacobson,George E Busch,L John John,et al.Design and testing of a high-speed,low -noise infrared detector array[C]//Proceedings of SPIE,In Infrared Detectorsand FocalPlane Arrays VI,2000,4028:469-480.