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    消除區(qū)熔硅單晶生長中“硅刺”的研究

    2012-07-04 03:26:54
    電子工業(yè)專用設備 2012年5期
    關鍵詞:多晶單晶臺階

    劉 燕

    (中國電子科技集團公司第四十六研究所,天津300220)

    無位錯區(qū)熔硅單晶生長過程中,如果采用的工藝不適合,或者操作不當,在多晶硅棒的固液交界面的邊緣容易留下不熔化的小柱狀體,通常稱為“硅刺”,如圖1 所示。硅刺一旦形成,由于其吸熱慢,散熱快,便不容易熔化,隨著區(qū)熔過程的進行,迅速長大,無法再熔化,直至觸到加熱線圈,導致中途停爐。特別是生長75 mm(3 英寸)以上直徑的單晶,如果不采取有效措施,幾乎難以正常生長單晶。本文就通過對FZ 硅單晶生長過程中,經(jīng)常出現(xiàn)的“硅刺”現(xiàn)象進行研究,著重分析了“硅刺”產(chǎn)生的原因,并采用了有效防止“硅刺”產(chǎn)生的措施。

    圖1 多晶邊緣出現(xiàn)硅刺

    1 “硅刺”形成的原因

    (1)多晶表面加工不規(guī)則,棱突較大的位置容易形成“硅刺”。生長單晶時為了順利成晶,避免生成“硅刺”,通常要將多晶硅棒表面加工成規(guī)則光滑的表面,但往往由于經(jīng)濟方面的原因,加工程序簡化,加工后經(jīng)常留下明顯的不規(guī)則棱和麻坑,如圖2 所示。在多晶熔化過程中,多晶料的棱突出的位置,所接受的電磁也弱,吸熱少,而散熱卻比較快,很快便形成“硅刺”。

    (2)多晶棒裝料不正,也容易形成硅刺。由于所使用的多晶棒制備的原因,往往有一定的彎曲,因此裝料時不容易裝的很正,生長過程中多晶旋轉時,相對于磁場中心偏遠的部分容易生長成“硅刺”。

    圖2 多晶表面的棱突和麻坑

    (3)操作不當時也易生成“硅刺”。生長單晶時,使用的加熱功率不準確,偏高或偏低,使得多晶硅的熔化界面不適合磁場的要求,不能均勻流暢的使多晶熔化,在不均勻的部位,極易留下不化的硅晶體,這種小晶體受磁面積小不容易產(chǎn)生熱,而且會增加散熱,因此也易形成“硅刺”。

    (4)加熱線圈幾何形狀設計不標準,也是形成“硅刺”的重要原因。單晶生長要求有一個大面積、均勻、對稱的熱場,線圈的厚度、內(nèi)徑、外徑及上、下面傾斜角度的不同,會使線圈產(chǎn)生的熱場分布不同。熱場的圓周分布不均勻,或立體形狀的角度與多晶硅棒熔化界面不匹配,多晶棒的邊緣處所接受的熱場不準確極易產(chǎn)生“硅刺”。

    2 使用不同臺階的加熱線圈實驗及結果

    2.1 使用不同直徑臺階的高頻線圈實驗

    高頻線圈是產(chǎn)生準確熱場的關鍵部分,因此也是單晶生長的重要部分。線圈的形狀和幾何尺寸若設計的合適,不僅可以順利地使多晶生長成單晶,而且可以使得多晶均勻順利地熔化。為了減少拉晶過程中出現(xiàn)硅刺的機會,并且一旦出現(xiàn)了硅刺,可以加強硅刺的熔化,在設計加熱線圈時,于線圈朝向多晶的一面上,除了設計成傾斜的坡面外,設計多個向內(nèi)的圓周臺階,如圖3 所示。

    圖3 帶圓周臺階的線圈示意圖

    本文對線圈臺階的尺寸及形狀進行了實驗。認為線圈的臺階對硅刺的消除,起到了非常重要的作用,并且臺階的直徑與所使用的多晶直徑呈對應關系。

    2.1.1 使用無臺階線圈生長單晶

    使用沒有臺階的線圈生長單晶的時候,如圖4 所示,無論使用的功率偏高或是偏低,采用細腰法或粗腰法,在單晶生長過程中,都很難避免出現(xiàn)硅刺,并且硅刺一旦出現(xiàn),便不容易消除。因此,使用無臺階的加熱線圈生長直徑稍大一點的單晶,幾乎不能生長完整的單晶。

    圖4 無臺階線圈生長單晶

    2.1.2 使用臺階直徑大于多晶直徑的線圈生長單晶

    使用臺階直徑大于多晶直徑的線圈生長單晶(本文設計使用線圈臺階為三級臺階),當使用偏低功率的時候,硅刺會有較多出現(xiàn)的機會,并且不容易消除;如果使用的功率較高,熔硅的腰稍細的時候,出現(xiàn)硅刺的機會有所減少,但是仍然經(jīng)常出現(xiàn)硅刺。

    2.1.3 使用臺階直徑接近于多晶直徑的線圈生長單晶

    當使用臺階直徑接近于多晶直徑的線圈拉晶的時候,如圖5 所示,無論使用的功率偏高或是偏低,出現(xiàn)硅刺的幾率都大為減少,如果出現(xiàn)硅刺也比較易消除。

    圖5 臺階接近于多晶直徑的線圈生長單晶

    2.2 結果分析

    (1)綜上的試驗結果我們可以看出,在其它準備工作如:多晶棒的外形加工,裝料的對中度,操作的準確性同樣的情況下,加熱線圈形狀的設計對消除硅刺顯得很重要,特別是加熱線圈靠近多晶一面上的臺階,是消除硅刺的關鍵。

    (2)線圈面上臺階直徑的大小,與消除硅刺的效果有直接的關系,只有臺階的直徑接近于使用的多晶棒直徑的時候,生長單晶時消除硅刺的作用才明顯。

    2.3 原因分析

    區(qū)熔硅單晶生長過程是通過高頻電磁感應加熱的方式實現(xiàn)的,當線圈內(nèi)通以高頻交流電流時,在線圈內(nèi)部及其周圍就會產(chǎn)生交變磁場,置于強大的高頻磁場中的多晶硅,感應到交變的磁場后,在硅棒內(nèi)產(chǎn)生強大的渦流,使其迅速被加熱熔化。感應加熱過程是電磁感應過程和熱傳導的綜合過程。多晶熔化過程中,一邊從電磁中感應到熱能,使其自身熔化,一邊向環(huán)境中輻射熱能,同時還向多晶棒的端部傳遞熱能,此過程中要求多晶棒的圓周各方向得到的熱能相對平衡均勻,尤其是多晶的邊緣各點熔化同步均勻,否則邊緣部分不能及時熔化,或者邊緣由于熔化不均勻,固液交界面起伏不平,拐點處很容易留下小的不熔體而形成硅刺。多晶熔化時的熱平衡式為:

    Q吸=Q輻+Q傳

    (1)單晶正常生長過程中,多晶棒隨著熔區(qū)的移動過程能夠均勻的熔化。不僅沿軸向,而且沿徑向也要均勻的熔化,才能保證晶體順利生長。但是由于種種因素,如多晶表面加工不規(guī)則有明顯突起的棱,或多晶棒為橢圓,也可能料裝的不正等情況,造成多晶的所有部位不能軸中心對稱,熔化時遠離中心的部位不能及時熔化,遺留下小刺。這種小刺出現(xiàn)以后,由于是突起截面積很小,因此吸熱慢,但是散熱卻很快,越長越大,很容易最終不能熔化,成為硅刺,影響單晶的生長。這種硅刺作為小局部則獨自形成小的熱模式。其熱模式是:

    Q吸i<Q輻i

    硅刺向其它部位的傳熱可以被忽略掉,但是輻射散熱仍然大于吸收的熱量,而且隨著硅刺的不斷長大,熱不平衡也越來越嚴重,最后嚴重妨礙單晶的生長。

    (2)硅刺的出現(xiàn)主要在多晶棒熔化界面的邊緣,內(nèi)部不會出現(xiàn)硅刺,因此采用改變線圈的幾何形狀的方法,加強靠近多晶邊緣部位的磁場強度,改變多晶邊緣的熔化狀態(tài),使其邊緣所有的點都能均勻充分地熔化,不留下不熔的小多晶固體,是消除硅刺的關鍵。此時,多晶邊緣任意一點的熱平衡模式應是:線圈的上面由于有固定的坡度,因此磁場從中心到外沿的分布,呈沿著坡面平滑均勻的分布,為了加強多晶邊緣的磁場強度,在線圈的上邊靠近多晶的面上,加2 至3 級臺階。加臺階后,磁力線在臺階地方突然加強,使多晶的邊緣熔化加強,改變了多晶邊緣熔化的角度,產(chǎn)生了如圖6 所示的熔化角,使固液交界面邊緣形成圓弧角,可以大幅降低硅刺出現(xiàn)的幾率,即使出現(xiàn)了硅刺,也比較容易消除。

    Q吸i≥Q輻i

    圖6 多晶邊緣形成了熔化角

    (3)通過實驗表明,線圈面上臺階的直徑越接近多晶的直徑,多晶熔化時的熔化角形狀越理想,消除硅刺的效果越明顯,這是因為平滑的磁場在臺階處突然形成突起的峰,磁場在臺階處高度集中,且垂直于多晶的邊緣,增加多晶邊緣的熔化,改變了多晶邊緣熔化的斜率,使多晶棒邊緣不容易形成硅刺,即使出現(xiàn)了硅刺,也還有熔掉的機會。

    (4)如果臺階的直徑偏大,大于多晶直徑較多,則臺階處峰起的磁場對多晶的邊緣起不到作用,如果多晶邊緣的某處存在不規(guī)則的突起,則容易形成硅刺。此時如采用相對偏高的功率,使得多晶棒的固液交界面斜率整體增大,向上翹起,臺階對多晶邊緣能起到一定的作用,可以減少硅刺的出現(xiàn)。

    3 結 語

    FZ 單晶生長過程中,硅刺的出現(xiàn)會嚴重妨礙單晶的正常生長。為了防止出現(xiàn)硅刺,除了加強多晶的表面加工,生長單晶時進行準確的操作外,設計加工線圈時,在線圈的多晶一面制作相應的臺階,是有效的防止或消除硅刺的措施。

    線圈上臺階的設計,應根據(jù)多晶的直徑,設計接近多晶直徑的臺階,由于多晶的直徑不盡相同,則應設計系列的不同臺階直徑的線圈,以保證適應不同直徑的多晶,可以取得較好的成晶效果。

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