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    國產(chǎn)65nm大角度離子注入機進入晶圓生產(chǎn)線

    2010-04-04 09:25:26
    電子工業(yè)專用設(shè)備 2010年11期
    關(guān)鍵詞:工藝性能離子注入中科

    由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機進入中芯國際 (北京)集成電路制造有限公司,開始接受國際主流生產(chǎn)線的技術(shù)測試與器件工藝檢驗,為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實現(xiàn)重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。

    據(jù)了解,這是國產(chǎn)高端離子注入機首次進入300mm主流生產(chǎn)線,表明國內(nèi)的離子注入機研制已經(jīng)逐步達到世界主流技術(shù)水平。

    北京中科信公司研制的65 nm大角度離子注入機以滿足大規(guī)模生產(chǎn)線65nm制程工藝需求為目標,以提升產(chǎn)品工藝性能、整機可靠性及降低成本消耗為設(shè)計理念。在不到兩年的時間里,北京中科信電子裝備有限公司研發(fā)團隊成功突破了多項關(guān)鍵工藝,完成多項核心研究,實現(xiàn)了設(shè)備的工程化制造、關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化,完善了系統(tǒng)設(shè)計、系統(tǒng)加工、系統(tǒng)集成流程,保證了設(shè)備的高可靠性及工藝水平。

    長時間的系統(tǒng)性能測試結(jié)果表明,整機生產(chǎn)率、控制精度、軟件可靠性、整機自動性能、工藝一致性等指標都有了顯著提高,整機性能完全達到甚至部分已經(jīng)超過了項目合同要求,同時適應(yīng)國際300mm工藝生產(chǎn)線標準要求。

    該設(shè)備具備先進工藝控制及故障診斷功能,出廠前已通過用戶基本技術(shù)指標評估與硬件改進,其主要工藝性能及可靠性、穩(wěn)定性已取得令人滿意的效果。

    (來源:中國電子報)

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