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    EUV設(shè)備價格達1.2億美元

    2010-04-04 09:25:26
    電子工業(yè)專用設(shè)備 2010年11期
    關(guān)鍵詞:試圖用光刻發(fā)貨

    誰能支持EUV光刻?

    回答只有極少數(shù)幾家公司,因為設(shè)備的價格再次上升。VLSICEODanHutcheson回答,每臺1.25億美元。在報告中,一年之前VLSI的總裁Risto Puhakka曾預(yù)測,設(shè)備的價格未來要按pixel像素來計算,當(dāng)時大家認為這是不可能的,但是現(xiàn)在EUV的價格己經(jīng)幾乎得到證實。

    在2003年時,Intel支持EUV,希望每臺設(shè)備價格在2000萬美元。當(dāng)時的目標是試圖用EUV來替代今日的193 nm浸入式光刻,如今己成泡影。

    由于研發(fā)成本的上升,導(dǎo)致設(shè)備價格不斷提升,所以EUV不斷的推遲上市。據(jù)ASML報道,EUV alpha型每臺要6000萬美元。IMEC及Sematech都購買了首臺alpha型設(shè)備。

    隨著EUV的進步,正如之前報道,ASML已經(jīng)售出6臺樣機,取名NXE 3100,預(yù)計今年底發(fā)貨,每臺設(shè)備己提升至9000萬美元。

    按BarclayCapital的說法,ASML實際上己經(jīng)收到下一代EUV設(shè)備10臺的訂單,取名為NXE3300,客戶包括 Hynix、IMEC、Samsung、Toshiba 及 TSMC 等。應(yīng)該承認即使是NXE3300仍不是真正量產(chǎn)的設(shè)備。

    (來源:EE Times)

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