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    Pd/Ga2O3 /AlGaN/GaN HEMT基氫氣傳感器研究

    2024-03-23 07:30:38鐘遠(yuǎn)婷孫愛(ài)發(fā)劉陽(yáng)泉鐘愛(ài)華
    傳感器與微系統(tǒng) 2024年3期
    關(guān)鍵詞:柵極響應(yīng)值氫氣

    鐘遠(yuǎn)婷,孫愛(ài)發(fā),劉陽(yáng)泉,鐘愛(ài)華

    (1.佛山職業(yè)技術(shù)學(xué)院汽車(chē)工程學(xué)院,廣東 佛山 528000;2.深圳大學(xué)物理與光電工程學(xué)院,廣東 深圳 518060)

    0 引 言

    推進(jìn)光伏電、風(fēng)電、潮汐電等可再生能源制氫前沿技術(shù),加強(qiáng)氫能生產(chǎn)、儲(chǔ)存、應(yīng)用關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)、示范和規(guī)?;瘧?yīng)用是實(shí)現(xiàn)碳達(dá)峰、碳中和極其重要的一條技術(shù)路線(xiàn)。氫能的發(fā)展利用不僅對(duì)國(guó)家長(zhǎng)遠(yuǎn)的發(fā)展規(guī)劃有著重要的意義,也會(huì)促使全球能源轉(zhuǎn)型。然而,氫氣(H2)是無(wú)色無(wú)味的易燃易爆氣體,當(dāng)其空氣中的體積分?jǐn)?shù)達(dá)到4. 65 %~75%時(shí)極易引燃,達(dá)到15%~59%時(shí)便有可能引發(fā)爆炸。此外,氫氣的點(diǎn)火能量也很低,只有0.017 mJ[1,2]。公眾普遍對(duì)氫氣的安全性存在擔(dān)憂(yōu),其安全性是決定氫能能否得到推廣的決定性因素之一。為保障氫能的安全使用,加氫站、制氫廠(chǎng)和氫能源汽車(chē)等領(lǐng)域都需要海量高性能氫氣傳感器對(duì)氫氣泄漏現(xiàn)象進(jìn)行預(yù)警預(yù)報(bào)。

    氫氣傳感器種類(lèi)較多,主要有金屬氧化物半導(dǎo)體型[3]、光纖傳感型[4]、基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的懸臂梁型[5]、催化燃燒型[6]和功函數(shù)型[2]等多種傳感器。金屬氧化物半導(dǎo)體型氫氣傳感器涉及的材料很多,包括氧化鋅(ZnO)[7],氧化錫(SnO2)和氧化鎢(WO3)[8,9]等。該類(lèi)傳感器具有制備過(guò)程簡(jiǎn)單、成本低廉、可以檢測(cè)較低體積分?jǐn)?shù)的氫氣等優(yōu)點(diǎn),但其工作溫度較高、響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng),且容易發(fā)生基線(xiàn)漂移,導(dǎo)致傳感器的穩(wěn)定性和可靠性不高。光纖傳感型具有穩(wěn)定性好特點(diǎn),但其無(wú)法測(cè)試較低體積分?jǐn)?shù)的氫氣,不能在早期發(fā)現(xiàn)氫氣泄漏問(wèn)題。懸臂梁型氫氣傳感器基于鈀(Pd)金屬對(duì)氫氣的吸附引起懸臂梁發(fā)生彎曲,通過(guò)電容信號(hào)的變化對(duì)氫氣體積分?jǐn)?shù)進(jìn)行探測(cè),具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)精度高,輸出通常在mV 級(jí),且輸出電壓與溫度差具有非常好的線(xiàn)性關(guān)系,而待檢測(cè)氫氣體積分?jǐn)?shù)與溫度差之間又有好的線(xiàn)性關(guān)系。因此,輸出電壓和氫氣體積分?jǐn)?shù)間有好的線(xiàn)性關(guān)系,可以通過(guò)輸出電壓的大小方便的標(biāo)定氫氣體積分?jǐn)?shù)。該傳感器響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好,目前已被豐田汽車(chē)等公司應(yīng)用于Mirai等氫能源汽車(chē)上。然而,該催化燃燒式氫氣傳感器在1 ×10-3(1 ×10-6為百萬(wàn)分之一)內(nèi)的檢測(cè)效果不佳,無(wú)法及時(shí)發(fā)現(xiàn)氫氣泄漏現(xiàn)象,從而無(wú)法及時(shí)阻止氣體泄漏及相應(yīng)安全事故。因此,需要研究開(kāi)發(fā)既具有響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好,又能檢測(cè)低體積分?jǐn)?shù)氫氣的高性能氫氣傳感器。

    功函數(shù)型氫氣傳感器一般由Pd、鉑(Pt)金屬催化劑和半導(dǎo)體材料組成[10,11]。當(dāng)該傳感器暴露于氫氣中時(shí),金屬催化劑將氫氣分子催化分解成氫原子,該氫原子會(huì)使金屬催化劑功函數(shù)發(fā)生變化,從而輸出電流、電壓或電容信號(hào)。前期基于氮化鎵鋁(AlGaN)/氮化鎵(GaN)高速二維電子氣晶體管(high electron mobility transistor,HEMT)器件研究了以Pt 為柵極金屬的氫氣傳感器[12,13]。該傳感器靈敏度高,響應(yīng)速度快,且可以測(cè)試低至6 ×10-8的氫氣。為了進(jìn)一步提高選擇性和靈敏度,又研究了以Pd 金屬為柵極的AlGaN/GaN 晶體管的功函數(shù)型氫氣傳感器。研究發(fā)現(xiàn),基于Pd金屬的功函數(shù)型氫氣傳感器選擇性比Pt金屬的傳感器高了100倍,其靈敏度提高了10倍,響應(yīng)時(shí)間大約為3 s,可以達(dá)到美國(guó)能源部對(duì)氫能源汽車(chē)用氫氣傳感器快速響應(yīng)的高要求,且其最低檢測(cè)體積分?jǐn)?shù)小于5 ×10-8,遠(yuǎn)低于目前商用的催化燃燒室氫氣傳感器的檢測(cè)下限,在加氫站和氫能源汽車(chē)領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。然而,該傳感器在氫氣體積分?jǐn)?shù)為1 ×10-3時(shí)會(huì)發(fā)生飽和現(xiàn)象,無(wú)法覆蓋氫能源汽車(chē)0%~4%的氫氣體積分?jǐn)?shù)檢測(cè)范圍。

    為了解決上述問(wèn)題,本文提出在Pd和AlGaN之間插入Ga2O3氧化層,通過(guò)該氧化物插入層提供額外的氫原子吸附層,從而擴(kuò)大其檢測(cè)范圍。實(shí)驗(yàn)制備研究了多種厚度的氧化物插入層對(duì)氫氣檢測(cè)的影響。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)當(dāng)插入10 nm的氧化層時(shí),其飽和體積分?jǐn)?shù)從1 ×10-3有效提升到5 ×10-3。進(jìn)一步增加氧化層厚度,氫氣檢測(cè)飽和體積分?jǐn)?shù)可以繼續(xù)提高,但響應(yīng)值會(huì)受到明顯影響。此外,本文還測(cè)試研究了其選擇性和可重復(fù)性。

    1 實(shí)驗(yàn)過(guò)程與測(cè)試方法

    實(shí)驗(yàn)采用南京諾德公司生產(chǎn)的Al0.25Ga0.75N/GaN外延片制備HEMT。外延片基底為(111)晶面的單晶硅片,采用金屬有機(jī)外延氣象沉積法先后沉積2.8 μm AlGaN 緩沖層和1.4 μm的未摻雜GaN 外延層,然后在GaN 外延層上沉積厚度為20 nm的Al0.25Ga0.75N帽層。該外延結(jié)構(gòu)的面載流子濃度約為8 ×1012cm2,室溫下的遷移率約為1 800 cm2/V。實(shí)驗(yàn)采用磁控濺射法(科特萊斯科PVD-75)在Al0.25Ga0.75N帽層上沉積Ti(15 nm)/Al(60 nm)/Ti(10 nm)/Au(120 nm)多層膜,然后在700 ℃下快速退火2 min,形成源極和漏極。電極圖案通過(guò)光刻和顯影方法進(jìn)行圖案化,所用光刻膠為AZ5214,多余的金屬通過(guò)丙酮溶液以剝離(lift-off)的方式去除。然后,通過(guò)光刻工藝圖形化柵極圖案。采用磁控濺射法在柵極部位沉積Ga2O3薄膜,靶材為Ga2O3復(fù)合靶,工作氣體是氬氣,工作氣壓為0.4 Pa,基底不加熱,濺射功率為100 W。沉積好Ga2O3薄膜后,繼續(xù)采用磁控濺射法沉積柵極金屬Pd。最后,通過(guò)丙酮溶液把光刻膠進(jìn)行溶解,剝離掉多余的金屬Pd和Ga2O3薄膜。

    傳感器的電學(xué)特性及氫氣檢測(cè)性能通過(guò)北京艾力特公司生產(chǎn)的AES-4TH進(jìn)行測(cè)試。AES-4TH主要包括1 個(gè)1.8 L的測(cè)試腔,1個(gè)可控制傳感器溫度的加熱平臺(tái),1 個(gè)微小的排氣泵,1個(gè)濕度控制系統(tǒng)及電學(xué)源表。測(cè)試腔中安裝有可三維移動(dòng)的探針,該探針與電學(xué)源表相連。測(cè)試時(shí),3 個(gè)探針在光學(xué)顯微鏡下直接移動(dòng)到源漏極和柵極,與傳感器3個(gè)電極直接接觸,加載柵壓及信號(hào)收集。進(jìn)行氫氣檢查時(shí),柵極加載-3 V 的偏壓,源漏極之間的電壓固定在0.5 V。一開(kāi)始測(cè)試時(shí)腔體中填充空氣,觀(guān)察到源漏電流穩(wěn)定下來(lái)后向測(cè)試腔注入一定體積的氫氣,配置成特定體積分?jǐn)?shù)的待測(cè)氣體。氫氣響應(yīng)完成后,打開(kāi)換氣口,一邊用機(jī)械泵抽氣快速抽出待測(cè)氣體,一邊快速注入新鮮空氣,以完成傳感器的恢復(fù)過(guò)程。

    2 結(jié)果討論

    2.1 Ga2O3 薄膜表征

    實(shí)驗(yàn)采用島津的X 射線(xiàn)衍射儀(XRD)對(duì)Ga2O3薄膜進(jìn)行了測(cè)試,如圖1 所示??紤]到器件較小的尺寸在薄膜表征時(shí)會(huì)帶來(lái)不便,在制備器件時(shí)以硅(Si)片為襯底同時(shí)制備了同樣厚度的Ga2O3薄膜樣品。Ga2O3薄膜樣品的XRD的表征結(jié)果中并沒(méi)有明顯的衍射峰,說(shuō)明Ga2O3薄膜為非晶薄膜。為了確定其成分分布,實(shí)驗(yàn)又對(duì)樣品進(jìn)行了能譜儀(energy disperse spectroscopy,EDS)面掃描,如圖1插圖所示。從圖中可以看出,薄膜樣品中氧原子與鎵原子均勻分布,其中氧原子占比約67%。

    2.2 HEMT器件電學(xué)特性

    實(shí)驗(yàn)在120 ℃下分別測(cè)試了Ga2O3薄膜插入層厚度為2,10,40 nm HEMT器件的輸出特性曲線(xiàn),如圖2 所示。對(duì)于2 nm器件,當(dāng)漏極電壓Vd=5 V,柵極偏壓Vg=-5 V時(shí),溝道內(nèi)電流被夾斷,電流Ioff為5.68 ×10-10A;柵極偏壓Vg=3 V時(shí),溝道內(nèi)電流達(dá)到飽和,Ion為2.04 ×10-2A,器件開(kāi)關(guān)比為Ion/Ioff=3.58 ×107,說(shuō)明該器件的柵極電壓對(duì)器件電流具有非常好的調(diào)控作用,這對(duì)氫氣檢測(cè)非常重要。因?yàn)樵跉錃鈾z測(cè)時(shí),吸附在柵極的偶極子會(huì)引起柵壓發(fā)生變化[14],通過(guò)輸出電流的變化來(lái)測(cè)試氫氣體積分?jǐn)?shù)。HEMT器件的電流調(diào)控效果越好,傳感器的靈敏度越大。當(dāng)Ga2O3薄膜增加到10 nm 時(shí),溝道內(nèi)夾斷電流也增大,Ioff為3.39 ×10-9A,飽和電流Ion為1.98 ×10-2A,器件開(kāi)關(guān)比Ion/Ioff=5.09 ×106。厚度達(dá)到40 nm 時(shí),溝道內(nèi)夾斷電流為Ioff=3.65 ×10-9A,飽和電流Ion=1.95 ×10-2A,開(kāi)關(guān)比為Ion/Ioff=5.34 ×10-6。結(jié)果表明,Pd 柵極HEMT 結(jié)構(gòu)器件對(duì)電流的調(diào)控能力隨Ga2O3薄膜介質(zhì)層厚度的增加有減弱趨勢(shì),但整體上減弱得不是很明顯。

    圖2 不同厚度Ga2O3 薄膜HEMT器件的輸出特性曲線(xiàn)

    2.3 HEMT器件的氫氣檢測(cè)

    實(shí)驗(yàn)測(cè)試了Ga2O3薄膜厚度為2,10,40 nm器件的氫氣響應(yīng)曲線(xiàn),如圖3(a)~(c)所示。傳感器的工作溫度均為120 ℃,偏壓均為-3 V,稀釋氣體為空氣。如圖3(a)看出,當(dāng)傳感器暴露于氫氣中時(shí),其源漏電流迅速增大,在數(shù)十秒內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定;當(dāng)傳感器重新置于空氣中時(shí),源漏電流又逐漸減小,直至恢復(fù)到基線(xiàn)。這說(shuō)明該傳感器對(duì)氫氣具有很好的響應(yīng),且具有好的可恢復(fù)性。圖3(b)和(c)的氫氣響應(yīng)情況類(lèi)似。根據(jù)上面的響應(yīng)曲線(xiàn),實(shí)驗(yàn)提取了響應(yīng)值,并繪制了響應(yīng)值與氫氣體積分?jǐn)?shù)之間的曲線(xiàn),如圖3(d)。由圖中可以看出,2 nm器件在1 ×10-3左右就幾乎達(dá)到飽和,但器件響應(yīng)值整體較高;當(dāng)Ga2O3厚度增加到10 nm時(shí),器件飽和體積分?jǐn)?shù)隨之增大,在5 ×10-3時(shí)達(dá)到飽和;當(dāng)Ga2O3厚度繼續(xù)增加到40 nm 時(shí),器件飽和體積分?jǐn)?shù)增加到7 ×10-3。氣敏響應(yīng)過(guò)程中,源漏極電流的變化大小取決于金屬-半導(dǎo)體界面吸附的氫原子數(shù)。隨著Ga2O3厚度的增加,界面處的吸附位點(diǎn)增多,可吸附的氫原子也隨之增加,器件的檢測(cè)上限增大,飽和體積分?jǐn)?shù)得到提高。雖然40 nm Ga2O3器件飽和度最大,但響應(yīng)值比另外2 個(gè)器件小很多。2 nm器件飽和體積分?jǐn)?shù)最小,響應(yīng)值卻是最大的。這是因?yàn)?,?dāng)Ga2O3厚度增加時(shí),由偶極子引起的柵極電壓變化對(duì)電流的調(diào)控作用也相應(yīng)減弱,導(dǎo)致器件的響應(yīng)值降低。

    圖3 不同厚度Ga2O3 薄膜的HEMT器件的氫氣響應(yīng)曲線(xiàn)、響應(yīng)值和氫氣體積分?jǐn)?shù)之間的關(guān)系曲線(xiàn)

    根據(jù)圖3 可知,Ga2O3插入層可以顯著提高傳感器的飽和體積分?jǐn)?shù)。但是40 nm 的器件響應(yīng)值大幅減小,而10 nm的器件在有效提高飽和體積分?jǐn)?shù)的同時(shí),可以保持較高的響應(yīng)值,效果較佳。因此,本文重點(diǎn)關(guān)注10 nm 的器件。圖4為10 nm Ga2O3HEMT器件在氫氣體積分?jǐn)?shù)為2 ×10-4~6 ×10-3范圍內(nèi)的響應(yīng)及恢復(fù)時(shí)間。從圖中可以看出,其響應(yīng)時(shí)間隨氫氣體積分?jǐn)?shù)升高而迅速縮短。當(dāng)體積分?jǐn)?shù)為1 ×10-3時(shí),其響應(yīng)時(shí)間為4 s;進(jìn)一步增大體積分?jǐn)?shù),其響應(yīng)時(shí)間逐步縮短,最終穩(wěn)定在2~3 s。這里響應(yīng)時(shí)間和恢復(fù)時(shí)間定義為響應(yīng)/恢復(fù)到電流變化的90%。從圖中也可以看到,低體積分?jǐn)?shù)時(shí)恢復(fù)時(shí)間很快,2 ×10-4對(duì)應(yīng)的恢復(fù)時(shí)間~60 s。隨氫氣體積分?jǐn)?shù)的升高,其恢復(fù)時(shí)間逐漸變長(zhǎng),在2 ×10-3時(shí)恢復(fù)時(shí)間增加到約130 s。進(jìn)一步增大體積分?jǐn)?shù),其恢復(fù)時(shí)間不再發(fā)生明顯變化,而是繼續(xù)穩(wěn)定在130 s左右。

    圖4 厚度為10 nm Ga2O3 器件響應(yīng)/恢復(fù)時(shí)間隨體積分?jǐn)?shù)變化關(guān)系

    此外,實(shí)驗(yàn)在120 ℃下對(duì)10 nm器件的選擇性進(jìn)行了測(cè)試。測(cè)試氣體體積分?jǐn)?shù)均為5 ×10-4,測(cè)試氣體包括氫氣、CH4、C2H5OH、NH3、NO2和H2S,如圖5(a)所示。從圖中可以看出,器件對(duì)5 ×10-4的CH4、C2H5OH 基本沒(méi)有響應(yīng),對(duì)NH3、NO2、H2S的響應(yīng)分別為(147.82 ±8.27)%、(219.16 ±24.46)%、(260.67 ±37.22)%,而氫氣在5 ×10-4時(shí)的響應(yīng)值為(2 540.09 ±42.62)%??梢钥闯?,對(duì)本文傳感器氫氣檢測(cè)干擾最大的是H2S氣體,但氫氣響應(yīng)值比H2S 氣體還是大10倍左右,說(shuō)明該傳感器具有很好的選擇性。

    圖5 氧化層厚度為10 nm器件的選擇性和重復(fù)性測(cè)試

    最后,在120 ℃下對(duì)器件進(jìn)行了可重復(fù)性循環(huán)測(cè)試,測(cè)試體積分?jǐn)?shù)為2 ×10-4,結(jié)果如圖5(b)所示。5 次循環(huán)的響應(yīng)值分別為646.67%,670.33%,685.67%,688.67%,693.33 %,平均響應(yīng)值為(676.93 ±18.98)%。響應(yīng)時(shí)間分別為22. 13,20. 46,22. 78,21. 88,20. 06 s,平均響應(yīng)時(shí)間為(21.46 ±1.15)s。循環(huán)測(cè)試結(jié)果表明,該器件響應(yīng)值或響應(yīng)時(shí)間波動(dòng)都較小,說(shuō)明具有較高的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

    3 結(jié) 論

    論文研究了含有Ga2O3氧化層插入層的Pd 金屬柵極HEMT型氫氣傳感器。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),該傳感器具有很高的響應(yīng)值,5 ×10-4時(shí)其響應(yīng)值高達(dá)2 540%。同時(shí)其選擇性很好,氫氣的響應(yīng)值是最容易干擾的H2S氣體的10倍。特別地,其響應(yīng)時(shí)間最短達(dá)到2 s。此外,Ga2O3氧化層可以有效提高傳感器的檢測(cè)飽和體積分?jǐn)?shù),10 nm的Ga2O3插入層可以使飽和體積分?jǐn)?shù)從1 ×10-3提高到5 ×10-3。該傳感器具有很高的響應(yīng)值和選擇性,其快速響應(yīng)特點(diǎn)可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)氫氣泄漏現(xiàn)象,有望應(yīng)用于氫能源汽車(chē)等領(lǐng)域。

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