上海光機所在磨料水射流超精密加工理論及工藝研究中取得新進展

近日，中國科學院上海光學精密機械研究所精密光學制造與檢測中心實驗室在磨料水射流超精密加工理論及工藝研究中取得新進展。該研究成果拓展了磨料水射流加工的應用場景，同時為中頻誤差的抑制提供了一個全新有效的方法，對光學加工的發(fā)展有重要的指導意義。相關成果發(fā)表在Optics Express上。

該研究基于Preston經(jīng)典加工理論通過復數(shù)頻譜最優(yōu)化建立的拓展模型驗證了稀疏“雙步距柵格路徑”的存在，其可以通過抑制誤差頻譜的前兩階峰值來實現(xiàn)周期性條紋誤差有效去除。本研究通過該模型能準確得出最優(yōu)加工參數(shù)，再利用磨料水射流拋光去除函數(shù)尺寸小的特點在最優(yōu)加工參數(shù)下將去除量精確落到中頻誤差的高點處，從而實現(xiàn)中頻誤差的保形高效去除。研究發(fā)現(xiàn)在磨料水射流超精密加工中通過特定的稀疏“雙步距柵格路徑”在去除子孔徑拋光中殘留的周期結構條紋（中頻誤差）上有顯著優(yōu)勢。相關工作得到了上海市揚帆計劃、國家自然科學基金、中國科學院青年創(chuàng)新促進會的支持。