席凱彪,侯育冬,于肖樂,鄭木鵬,朱滿康
(北京工業(yè)大學(xué) 材料與制造學(xué)部,北京 100124)
鐵電性是構(gòu)建鐵電器件的物理基礎(chǔ)。壓電效應(yīng)作為鐵電材料重要的物理性質(zhì)之一,已被大量研究并廣泛應(yīng)用于傳感器、致動器及能量收集器等與人類生活相關(guān)的壓電器件領(lǐng)域。目前壓電器件中使用最多的壓電材料是以鋯鈦酸鉛(Pb(Zr, Ti)O3,PZT)及其改性多元系陶瓷為代表的鉛基壓電材料。但以鉛基材料為主體的壓電器件在使用周期中,鉛的流失和排放會對生態(tài)環(huán)境和人類健康造成嚴(yán)重的危害[1-2]。為了保護(hù)環(huán)境,實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的綠色協(xié)調(diào)發(fā)展,世界各國都相繼出臺了相關(guān)的政策和法律來限制鉛基壓電材料的使用,所以壓電陶瓷的無鉛化成為了壓電器件領(lǐng)域重要的研究目標(biāo)。
具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的極性氧化物因自發(fā)極化大和結(jié)構(gòu)可調(diào)性強而成為目前壓電材料的研究重點。常見的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)無鉛壓電材料體系主要有鈦酸鋇基(BaTiO3,BT)、鈦酸鉍鈉基((Na1/2Bi1/2)TiO3,NBT)、鐵酸鉍基(BiFeO3,BF)和鈮酸鉀鈉基((K,Na)NbO3, KNN)體系。KNN基無鉛壓電陶瓷因為具有較高的居里溫度(TC)和可調(diào)控的相界結(jié)構(gòu),被視為替代鉛基材料強有力的候選者,從而引起了廣泛關(guān)注和大量研究。在本世紀(jì)初各國出臺環(huán)保法規(guī)的激勵下,經(jīng)過不懈努力和奮斗,科研工作者使得KNN基無鉛壓電陶瓷在性能提升和器件應(yīng)用方面都取得了重大突破。本文簡述KNN基壓電陶瓷的研究進(jìn)展及其在器件應(yīng)用領(lǐng)域的實例,并對KNN基無鉛壓電陶瓷及其器件應(yīng)用未來的研究和發(fā)展方向進(jìn)行了總結(jié)展望。
(K, Na)NbO3是由鐵電體KNbO3和反鐵電體NaNbO3固溶形成的鈣鈦礦二元體系。1951年,Matthias等[3]通過測試介溫曲線和電滯回線證實了KNbO3具有鐵電性,呈現(xiàn)特征鐵電相轉(zhuǎn)變。圖1為KNbO3-NaNbO3二元體系相圖。由圖可看出,KNN具有豐富的相結(jié)構(gòu)。通常隨著溫度的升高,鉀鈉摩爾分?jǐn)?shù)接近1∶1的KNN經(jīng)歷了三方相(R)-正交相(O)-四方相(T)的相轉(zhuǎn)變過程,其在約-120 ℃由R相轉(zhuǎn)變?yōu)镺相,在約200 ℃由O相轉(zhuǎn)變?yōu)門相,在室溫附近主要以O(shè)相為主,豐富的相結(jié)構(gòu)為其性能的調(diào)控提供了可能。
圖1 KNbO3-NaNbO3二元體系相圖[4]
1.2.1 壓電性
純KNN的壓電常數(shù)(d33)只有80 pC/N,不能滿足常規(guī)壓電器件的使用要求,因此需要從制備工藝、體系設(shè)計等方面協(xié)調(diào)把控來提升KNN的綜合性能。
1) 制備工藝
通常采用傳統(tǒng)的固相燒結(jié)法制備KNN基無鉛壓電陶瓷,在燒結(jié)過程中由于堿金屬K、Na的揮發(fā)會使成分偏離正?;瘜W(xué)計量比,且在燒結(jié)過程中易于產(chǎn)生大量氣孔,使得致密度下降,進(jìn)而導(dǎo)致材料整體的電學(xué)和力學(xué)性能惡化。為此,科研工作者采取了高于化學(xué)計量比添加K、Na元素,添加助燒劑,坩堝埋粉法、兩步燒結(jié)法及三步燒結(jié)法等[5-6]方法來減少K、Na揮發(fā),維持KNN的性能,并取得了一定成效。此外,采用激光燒結(jié)技術(shù)、放電等離子燒結(jié)技術(shù)、熱壓燒結(jié)技術(shù)、模板晶粒生長技術(shù)等[7-8]特種燒結(jié)技術(shù)也可有效減少堿金屬揮發(fā),提升陶瓷致密性,但是這些制備方法存在生產(chǎn)成本高、工藝復(fù)雜等問題,如果將它們投入到壓電器件量產(chǎn)中,尚存在難度,因此,更重要的還是需基于常規(guī)固相燒結(jié)技術(shù),從KNN體系組成設(shè)計入手改善材料性能。
2) 體系設(shè)計
已有研究表明,在KNN中摻雜特定元素或引入其他改性組元來調(diào)制體系物相組成,壓電性能會有明顯的提升和改善。最常見且行之有效的方法是相界設(shè)計工程。前文提到KNN具有豐富的相結(jié)構(gòu),在KNN中構(gòu)建出類似于PZT的準(zhǔn)同型相界或多型相共存結(jié)構(gòu),對于其壓電性能的提升尤為重要。Wu等[9]通過設(shè)計不同的改性體系,在KNN基材料中構(gòu)建出R-O、O-T、R-T和R-O-T等多種不同的相界,并系統(tǒng)分析了這些特征相界對KNN多元體系電學(xué)性能的影響規(guī)律,為此類無鉛材料的進(jìn)一步發(fā)展提供了指導(dǎo)。表1為一些代表性KNN基無鉛壓電陶瓷材料的組成及其壓電性能。表中,kp為機電耦合系數(shù)。此外,結(jié)合多層次微納結(jié)構(gòu)解析與精細(xì)化材料理論計算,科研工作者還進(jìn)一步明確缺陷工程[10]、疇工程[11]、晶粒工程[12]等改性機理,對KNN壓電性能提升方法進(jìn)行了完善補充,也為KNN基壓電陶瓷向壓電器件的進(jìn)一步移植增添了可能性。
表1 一些代表性KNN基無鉛壓電陶瓷材料的組成及其壓電性能
1.2.2 穩(wěn)定性
壓電器件需要在復(fù)雜、惡劣的環(huán)境中使用,這對壓電材料的穩(wěn)定性如熱穩(wěn)定性、抗疲勞性、力學(xué)斷裂韌性等提出了要求,它們是評估壓電材料能否實際應(yīng)用的重要因素。
1) 熱穩(wěn)定性
在KNN中構(gòu)建的多晶型相界,其壓電性質(zhì)不僅受組分的調(diào)控,而且還受溫度的影響,這與PZT壓電陶瓷的特征MPB相界不同,因此,如何確保KNN具有良好的壓電常數(shù)溫度穩(wěn)定性是其應(yīng)用于壓電器件所面臨的一大難題。目前,對于檢測KNN壓電常數(shù)溫度穩(wěn)定性主要方法有高溫退火后在室溫測量準(zhǔn)靜態(tài)壓電常數(shù)、原位變溫測量大信號壓電常數(shù)和原位變溫測量準(zhǔn)靜態(tài)壓電常數(shù)。關(guān)于KNN熱穩(wěn)定性已進(jìn)行了大量研究,Zheng等[19]通過在0.96(K0.44Na0.56)(Nb0.95Sb0.05)O3-0.04Bi0.5(Na0.18K0.82)0.5ZrO3基體中引入第二相ZnO構(gòu)建0-3型復(fù)合陶瓷,當(dāng)溫度從23 ℃增加到200 ℃時,該體系的單極應(yīng)變波動范圍在16%左右,良好的溫度穩(wěn)定性與第二相穩(wěn)定局部極化機制有關(guān)。Liu等[20]采用構(gòu)建彌散相變的策略,在0.925(LixNa0.53K0.47-x)NbO3體系中加入BaZrO3和 (Bi0.5Na0.5)ZrO3,實現(xiàn)了寬溫度范圍內(nèi)的彌散相變,該體系呈現(xiàn)較高壓電常數(shù)(約330 pC/N)的同時,在一般應(yīng)用溫度范圍(25~100 ℃)內(nèi)壓電常數(shù)變化率僅為10%。結(jié)果表明,通過控制R-O和O-T相變行為來調(diào)整相變溫度范圍是實現(xiàn)KNN基陶瓷高壓電性和良好溫度穩(wěn)定性的有效方法。圖2為提升KNN熱穩(wěn)定性的常見方法,其核心是增強材料的畸變度與疇構(gòu)型的溫度穩(wěn)定性。雖然在提升其熱穩(wěn)定性的同時,會犧牲部分壓電性能,但是改性后的KNN基陶瓷仍然可滿足一些壓電器件的使用要求,對其實際應(yīng)用具有重要意義。
圖2 提升KNN熱穩(wěn)定性的方法
2) 抗疲勞性
3) 力學(xué)斷裂韌性
一些壓電振動傳感器、振動能量收集器等壓電器件需要在強振動環(huán)境中工作,這就需要陶瓷材料具有優(yōu)異的斷裂韌性來確保其長期穩(wěn)定運行且不會出現(xiàn)故障。然而,壓電陶瓷主要由離子鍵和共價鍵結(jié)合,具有明顯的脆性。研究表明,室溫下KNN的內(nèi)在斷裂韌性KI0約為0.70 MPa·m0.5,和軟性PZT(0.78 MPa·m0.5)相當(dāng),高于BCT-BZT的內(nèi)在斷裂韌性(0.45 MPa·m0.5)[24]。通過改善壓電陶瓷的微觀結(jié)構(gòu)可以增加斷裂韌性來抵抗微裂紋的擴展,降低材料開裂的可能性[25]。通常的增韌方法有相變增韌、微裂紋增韌、晶粒細(xì)化增韌、表面殘余應(yīng)力增韌、復(fù)相增韌及鐵彈增韌等,可以把兩種或兩種以上的增韌機理結(jié)合在一起來充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。Tan等[26]合成制備了(K0.48Na0.52)1-x(Li0.15Na0.85)xNb0.98Sb0.02O3-0.03Bi0.5Na0.5ZrO3-0.02CaTiO3體系,通過觀察微觀結(jié)構(gòu)發(fā)現(xiàn)其存在晶粒異常長大的現(xiàn)象。正是由于粗晶的存在可抵抗微裂紋擴展,且還可使微裂紋發(fā)生偏轉(zhuǎn)、扭曲,從而達(dá)到增韌效果。該工作還指出,在同一材料中很難同時獲得高的壓電性能和良好的機械性能,而合理平衡其關(guān)系對于壓電器件的實際應(yīng)用更合理。
壓電器件主要利用了壓電材料的正逆壓電效應(yīng)。正壓電效應(yīng)是指當(dāng)機械力作用于壓電晶體時,在晶體表面的兩個電極端面上會出現(xiàn)等量的正、負(fù)電荷,電荷與力有關(guān),當(dāng)機械力撤去時,電荷會消失;逆壓電效應(yīng)是指當(dāng)電場作用于壓電晶體時,晶體會發(fā)生形變且形變和電場有關(guān),若撤除電場,晶體則又恢復(fù)原狀。利用KNN基壓電陶瓷的正、逆壓電效應(yīng)已研制出了眾多不同的壓電器件。
1) 聲表面波傳感器
聲表面波傳感器是一種建立于高頻機械振蕩器基礎(chǔ)上的傳感器件,由于聲表面波的傳播速度與衰減和其所處環(huán)境及介質(zhì)參量有關(guān),所以聲表面波傳感器已廣泛應(yīng)用于電子、化工、醫(yī)學(xué)及環(huán)境檢測等領(lǐng)域[27]。聲表面波傳感器中材料需具有高機電耦合系數(shù)和小介電損耗,以實現(xiàn)高帶寬和高頻操作。Weng等[28]設(shè)計了一種(Na0.535K0.48)NbO3+ 0.05LiNbO3(NKL0.05N)陶瓷,利用NKL0.05N制作的聲表面波傳感器(見圖3)呈現(xiàn)出高相速度(3 210 m/s)和高機電耦合系數(shù)(約6.7%),機電耦合系數(shù)高于大多數(shù)PZT陶瓷(1%~4%)。測試結(jié)果表明,原型件具有良好的溫度傳感能力和極好的穩(wěn)定性,可應(yīng)用于機電傳感器及各種聲表面波傳感器。
圖3 使用NKL0.05N陶瓷制造的聲表面波傳感器示意圖
2) 壓電爆震傳感器
爆震傳感器是一種將振動能轉(zhuǎn)化為電能的壓電傳感器,通常安裝在汽車發(fā)動機上檢測發(fā)動機爆震是否可能發(fā)生,以便通過電子控制系統(tǒng)提前調(diào)整點火時間,避免爆震。其工作原理是當(dāng)發(fā)動機發(fā)生震動或敲缸時,壓電陶瓷產(chǎn)生一個電壓峰值,敲缸或震動越大,產(chǎn)生的峰值越大。發(fā)動機控制單元對接收到的爆震傳感器信號進(jìn)行處理,如果判斷爆震發(fā)生,則會推遲點火;如果控制單元未接收到爆震傳感器信號時,則會提前點火,保證輸出發(fā)動機的最佳功率[29]。因此,采用壓電爆震傳感器的目的是在提高發(fā)動機動力性能的同時不產(chǎn)生爆震。爆震傳感器的實際靈敏度(SP)受到壓電材料的壓電電壓常數(shù)(g33)和kp值影響,用Pb(Zr,Ti)O3(PZT)基陶瓷合成的商用爆震傳感器在共振頻率下的SP為112 mV/g(g=9.8 m/s2)。Kim等[30]使用CuO摻雜的0.95(Na0.5K0.5)(Nb0.95Sb0.05)O3-0.05CaTiO3陶瓷制作了爆震傳感器,如圖4(a)所示。其g33=25.7 Vm/N,kp=0.46,在共振頻率下,SP=119 mV/g,高于商用PZT基陶瓷爆震傳感器,可作為替代基于PZT商用爆震傳感器的候選者。
圖4 KNN基壓電陶瓷爆震傳感器示意圖及應(yīng)用于發(fā)動機中的壓電陶瓷爆震傳感器
3) 壓電能量收集器
壓電能量收集器利用正壓電效應(yīng)原理將環(huán)境中廢棄的振動能轉(zhuǎn)化為可用的電能,由于其具有與微機電系統(tǒng)技術(shù)的高度兼容性,易于小型化與集成化,從而展現(xiàn)出在低功耗自供電微傳感器領(lǐng)域的潛在應(yīng)用。壓電能量收集器中常用的壓電材料為壓電陶瓷,其機電轉(zhuǎn)換性能是影響能量收集效率的關(guān)鍵因素之一,需要壓電陶瓷同時具有高的壓電電壓常數(shù)和高的壓電電荷常數(shù)。目前,壓電能量收集陶瓷的研發(fā)主要集中在通過體系組元設(shè)計與摻雜改性提高其機電轉(zhuǎn)換性能上。Zheng等[31]研究制備了一種高質(zhì)量的錳改性(K0.5Na0.5)NbO3(Mn-KNN)基無鉛壓電陶瓷(d33=122 pC/N,kp=37%),為了評估其發(fā)電特性,構(gòu)建了懸臂梁式壓電能量收集器,如圖5(a)所示。測試結(jié)果表明,在加速度為40 m/s2下,其輸出功率為85 μW,電壓峰-峰值為16 V。此外,在106次循環(huán)情況下,Mn-KNN壓電能量收集器仍表現(xiàn)出優(yōu)異的抗疲勞性能,證實了其在無線傳感器網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)自供電電源方面的應(yīng)用價值。此外,Lin等[32]采用織構(gòu)技術(shù)制備了0.99K0.5Na0.5Nb(1-x)TaxO3-0.01Bi(Ni2/3Nb1/3)O3陶瓷(d33=435 pC/N,kp=71%,TC=360 ℃),并將性能最優(yōu)組分制作成圓膜片型壓電能量收集器,如圖5(b)所示。測試結(jié)果表明,該能量收集器具有較高的輸出電壓(U≈13 V)和輸出功率(W≈3 mW),同時在200 ℃下加熱30 min后,性能仍可保持在60%以上,顯示出其在高溫壓電能量收集器中的應(yīng)用價值。
圖5 Mn-KNN懸臂梁型壓電能量收集器示意圖及圓膜片型壓電能量收集器實物圖
1) 微壓電噴墨打印噴頭
微壓電噴墨打印噴頭利用逆壓電效應(yīng)原理,需要壓電陶瓷具有大的壓電常數(shù)和較高的機械強度。接通電路后,伸縮振動的壓電元件推動振動金屬板使噴嘴中的墨汁定向噴出,從而在介質(zhì)表面形成精細(xì)圖案。圖6(a)為微壓電噴墨打印噴頭結(jié)構(gòu)示意圖。與熱噴墨打印技術(shù)相比,該過程無需加熱,能精準(zhǔn)控制墨滴的大小和噴射方向,從而實現(xiàn)高質(zhì)量、高精度的打印[33]。東京工業(yè)大學(xué)研究小組和柯尼卡美能達(dá)公司合作在(K, Na)NbO3中添加BiFeO3制備出高密度陶瓷,展現(xiàn)出出色的壓電性能(d33= 430 pC/N),并利用該材料制出噴墨頭,如圖6(b)所示,成功噴出油墨微粒。研究小組預(yù)測噴墨頭的壓電效果已達(dá)到可充分驅(qū)動噴墨裝置的水平[34],因此,有望在微壓電噴墨打印噴頭關(guān)鍵材料領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)無鉛化。
圖6 微壓電噴墨打印噴頭結(jié)構(gòu)示意圖及微壓電噴墨打印噴頭實物圖
2) 壓電馬達(dá)
壓電馬達(dá)同樣利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)原理,在交變電場作用下,陶瓷產(chǎn)生振動和微小的變形,將電能轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)或移動等機械運動形式,從而實現(xiàn)大行程的精密定位和位移輸出。目前,壓電馬達(dá)已經(jīng)在航空航天、儀器儀表、家用電器等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。壓電馬達(dá)需要壓電材料同時具有高壓電常數(shù)、高機電耦合系數(shù)、高機械品質(zhì)因數(shù)、高機械強度及低介電損耗。Hong等[35]制備了0.95(Na0.49K0.49Li0.02)(Nb0.8Ta0.2)O3-0.05CaZrO3+2% MnO2無鉛陶瓷(d33= 320 pC/N,kp= 47%),并利用其制造了一種環(huán)形壓電超聲馬達(dá)(見圖7),將其嵌入數(shù)碼相機的商業(yè)化自動對焦模塊中,展現(xiàn)了良好的性能,這使KNN基材料成為壓電馬達(dá)應(yīng)用中有前途的候選者。
圖7 環(huán)形振動器及壓電馬達(dá)
3) 壓電陶瓷蜂鳴器
基于壓電效應(yīng)原理的壓電變壓器是電力和電子信息裝備領(lǐng)域的重要器件。與傳統(tǒng)的電磁變壓器相比,壓電變壓器具有耐高溫高壓、轉(zhuǎn)換效率高、升壓比大及抗電磁干擾等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于筆記本電腦、智能手機、空氣凈化器等電子信息產(chǎn)品中。經(jīng)典的Rosen型壓電陶瓷變壓器可以看作壓電陶瓷驅(qū)動器和壓電陶瓷傳感器的結(jié)合。圖9(a)為其結(jié)構(gòu)設(shè)計和工作原理示意圖[37]。在輸入端通過逆壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)換成機械能,再通過輸出端基于正壓電效應(yīng)將機械能轉(zhuǎn)換為電能,利用阻抗變換與機電能量的二次轉(zhuǎn)換實現(xiàn)升壓。諧振狀態(tài)下Rosen型壓電陶瓷變壓器在空載時的升壓比(A∞)為
(1)
最大效率ηm為
(2)
式中:Qm,k31,k33分別為壓電陶瓷的機械品質(zhì)因數(shù)、橫向機電耦合系數(shù)和縱向機電耦合系數(shù);l,t分別為壓電陶瓷變壓器發(fā)電部分的長度和壓電陶瓷變壓器的厚度。
圖9 Rosen型壓電陶瓷變壓器工作原理示意圖及圓盤形壓電陶瓷變壓器
由式(1)、(2)可見,為了實現(xiàn)高升壓比和高轉(zhuǎn)換效率,需要壓電陶瓷材料具有高機電耦合系數(shù)和高機械品質(zhì)因數(shù),同時需要低介電損耗防止器件發(fā)熱失效。2007年,香港理工大學(xué)的研究人員制備出K0.5Na0.5NbO3-K5.4Cu1.3Ta10O29-MnO2體系[38],該體系的d33= 90 pC/N,kp= 0.40,Qm= 1 900,其綜合性能優(yōu)異。利用該體系制作了Rosen型壓電變壓器,并對壓電變壓器在第一、二種模式下的工作特性進(jìn)行了表征。結(jié)果顯示,對于第一種模式,當(dāng)溫度升高14 ℃時,變壓器的最大輸出功率為0.7 W;而對于第二種模式,當(dāng)溫度升高33 ℃時,變壓器的最大輸出功率為1.8 W。這證明KNN基壓電陶瓷可以作為高壓-低電流設(shè)備的潛在無鉛候選材料。呂應(yīng)剛等[39]采用改性的(Na0.5K0.5)(Nb0.9Ta0.1)O3(Qm= 1 563, tanδ= 0.4%,kp=0.42)制備了圓盤形壓電陶瓷變壓器,如圖9(b)所示。測試結(jié)果表明,在其諧振頻率時,可得到空載升壓比大于42倍的無鉛壓電陶瓷變壓器,顯示出KNN無鉛壓電陶瓷在壓電變壓器中的應(yīng)用潛力。
通過科研工作者的不懈努力,KNN基無鉛壓電陶瓷的綜合壓電性能近年來有了很大提升,已可在一些中低端壓電器件中得以部分應(yīng)用,但還不能完全取代PZT實現(xiàn)各類壓電器件的無鉛化。關(guān)于KNN基無鉛壓電陶瓷,仍存在許多關(guān)鍵性基礎(chǔ)問題需深入分析和驗證:
1) 兼具優(yōu)異壓電溫度穩(wěn)定性與力學(xué)性能KNN體系設(shè)計方法。
2) 相界/疇?wèi)B(tài)/缺陷工程提升KNN壓電性能的深層物理機制。
3) KNN基無鉛陶瓷常規(guī)制備工藝的可重復(fù)性與電極的匹配性。
隨著“雙碳”戰(zhàn)略的提出,我們要加快降低碳排放步伐,大力發(fā)展可再生能源,提高產(chǎn)業(yè)和經(jīng)濟(jì)的全球競爭力,這既為壓電器件的進(jìn)一步發(fā)展帶來了機遇,同時也帶來了更多的挑戰(zhàn)。未來壓電器件的發(fā)展方向和目標(biāo)主要為:
1) 無鉛化。發(fā)展環(huán)境友好型的無鉛壓電器件核心材料是實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的重要任務(wù)。
2) 小型化。隨著物聯(lián)網(wǎng)的不斷發(fā)展,壓電器件將在精密電子儀器中越來越重要,壓電器件的小型化是大勢所趨。
3) 產(chǎn)業(yè)化。要盡快實現(xiàn)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的健康商業(yè)鏈條,提升我國壓電產(chǎn)業(yè)和經(jīng)濟(jì)的全球競爭力。
KNN基壓電材料已發(fā)展了70年,科研工作者在材料制備、理論研究、器件應(yīng)用等方面取得了較多成果,在今后發(fā)展中必將實現(xiàn)更大的突破。