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    芯包復(fù)合光纖光柵的飛秒激光制備及其溫度特性

    2022-09-13 07:33:24祝連慶
    中國(guó)測(cè)試 2022年8期
    關(guān)鍵詞:包層纖芯布拉格

    張 雯, 熊 潔, 何 巍, 祝連慶,

    (1. 北京信息科技大學(xué) 光纖傳感與系統(tǒng)北京實(shí)驗(yàn)室,北京 100016; 2. 北京信息科技大學(xué) 光電測(cè)試技術(shù)及儀器教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,北京 100192)

    0 引 言

    光纖布拉格光柵(fiber Bragg grating, FBG)是一種結(jié)構(gòu)緊湊、性能可靠的無(wú)源光纖器件,具有靈敏度高、體積小、抗電磁干擾、抗腐蝕、易于集成復(fù)用等獨(dú)特優(yōu)勢(shì),在微機(jī)械結(jié)構(gòu)、生物醫(yī)療、海洋探測(cè)、航空航天等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景[1-4]。FBG器件及其陣列可實(shí)現(xiàn)溫度、應(yīng)變、折射率、相對(duì)濕度、壓強(qiáng)等多參數(shù)測(cè)量,已成為研究熱點(diǎn)之一[5-9]。其中,溫度是重要的監(jiān)測(cè)對(duì)象,也是其他物理量傳感的技術(shù)基礎(chǔ)。

    在制備工藝方面,自1978年Hill等利用駐波法研制出第一根FBG后[10],其制作工藝得到了快速發(fā)展,目前主要工藝包括紫外曝光法、飛秒激光刻寫等[11-12]。紫外曝光依賴光敏效應(yīng)誘導(dǎo)光纖材料發(fā)生折射率變化,而飛秒脈沖寫入機(jī)制是多光子吸收效應(yīng)[13-15]。與紫外曝光技術(shù)不同,飛秒激光制備無(wú)需光纖載氫,且可透過(guò)光纖涂覆層進(jìn)行刻寫,無(wú)需刻寫前去除涂覆層、刻寫完畢后再次重涂覆,簡(jiǎn)化了FBG制備過(guò)程,增強(qiáng)了器件可靠性。在器件結(jié)構(gòu)方面,不同結(jié)構(gòu)的光纖光柵,如光纖布拉格光柵、啁啾光纖光柵、相移光纖光柵、傾斜光纖光柵等,都基于周期性反射結(jié)構(gòu),近年來(lái)已有廣泛關(guān)注與研究[16-18]。然而上述光柵的柵區(qū)都只存在于纖芯內(nèi),這是由于纖芯通過(guò)摻鍺等稀土元素,提高了光敏特性,使其易受紫外曝光,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)折射率調(diào)制。包層結(jié)構(gòu)一般無(wú)摻雜,因而在包層中采用紫外曝光法制備FBG難度較大,鮮有相關(guān)研究報(bào)道。

    芯包復(fù)合光纖光柵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是柵區(qū)同時(shí)存在于纖芯和包層區(qū)域中,隨著飛秒激光刻寫技術(shù)不斷發(fā)展[19-21],瞬時(shí)功率提高、光斑尺寸減小、刻寫路徑靈活,使得芯包復(fù)合光纖光柵的制備成為可能。相比于傳統(tǒng)的FBG,此類結(jié)構(gòu)能產(chǎn)生具有雙峰結(jié)構(gòu)的反射光譜,實(shí)現(xiàn)單傳感結(jié)構(gòu)、雙靈敏系數(shù)的功能性擴(kuò)展,具有巨大的應(yīng)用價(jià)值與潛力,但尚缺乏針對(duì)該結(jié)構(gòu)的溫度傳感理論分析及飛秒激光制備研究,在實(shí)際應(yīng)用時(shí)缺乏理論依據(jù)與工藝參考。綜上所述,本文首先從理論驗(yàn)證了這一設(shè)想,進(jìn)而利用飛秒激光逐線刻寫技術(shù),透過(guò)聚酰亞按涂覆層同時(shí)刻寫在光纖纖芯與包層內(nèi)部,形成兩組周期性反射結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)器件制備,并對(duì)該傳感器在50~410 ℃范圍內(nèi)的溫度特性進(jìn)行了研究。

    1 芯包復(fù)合光纖光柵傳感原理

    本文提出的芯包復(fù)合光纖光柵結(jié)構(gòu)如圖1所示。為激發(fā)包層內(nèi)的光能量傳播,使用單模光纖(single mode fiber, SMF)與細(xì)芯光纖(thin core fiber, TCF)熔接,纖芯/包層直徑分別為9/125 μm和6.4/125 μm,形成纖芯失配。光傳播時(shí)入射光被分成兩束:一束注入TCF纖芯,另一束耦合到TCF包層。飛秒脈沖激光透過(guò)聚酰亞胺涂層聚焦至TCF纖芯,采用激光逐線刻寫方式,形成覆蓋纖芯與包層的光柵結(jié)構(gòu)。

    圖1 芯包復(fù)合光纖光柵傳感原理

    光纖光柵是折射率沿光纖軸向周期性永久變化的產(chǎn)物。由耦合模理論可知,寬帶光在FBG中傳播時(shí),反射特性遵守布拉格條件,即:

    neff——光柵纖芯的有效折射率;

    芯包復(fù)合光纖光柵直接覆蓋光纖纖芯與包層,單次刻寫形成了兩個(gè)光柵結(jié)構(gòu),有:

    且光纖的纖芯與包層的有效折射率不同。依布拉格條件(1),有:

    因此,芯包復(fù)合光纖光柵結(jié)構(gòu)的反射譜將產(chǎn)生兩處布拉格諧振,且:

    注意到與纖芯的有效折射率相比,包層的有效折射率較低,因此包層的布拉格諧振波長(zhǎng)較小。

    光纖布拉格光柵的溫度傳感特性可表示為:

    本文提出的芯包復(fù)合光纖光柵結(jié)構(gòu)中,纖芯與包層產(chǎn)生布拉格諧振的光柵常數(shù)相同,有效折射率、摻雜濃度不同。

    對(duì)于α而言,從數(shù)量級(jí)上比β小10倍,由式(5)可知,β是光柵結(jié)構(gòu)溫度靈敏度ST的主導(dǎo)參數(shù),則:

    由以上分析可知,芯包復(fù)合光纖光柵結(jié)構(gòu)將出現(xiàn)兩個(gè)布拉格諧振峰,分別對(duì)應(yīng)纖芯諧振、包層諧振。且兩處諧振的溫度靈敏度不同,包層諧振的溫度靈敏度更高。

    2 器件制備

    采用Fujikura 80S熔接機(jī)的纖芯對(duì)準(zhǔn)模式,使不同尺寸光纖熔接時(shí)的纖芯失配最小,本文中SMFTCF熔接損耗控制在0.01 dB以內(nèi)。

    飛秒激光刻寫系統(tǒng)如圖2所示,其中,鈦藍(lán)寶石飛秒激光器(coherent asterlla)能實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)800 nm、脈寬35 fs、峰值能量1.5 mJ、激光重復(fù)頻率1 kHz的飛秒脈沖輸出。由飛秒激光器出射的超窄脈寬飛秒激光經(jīng)聚焦物鏡(Zeiss Plan-Apochromat,63×)聚焦至細(xì)芯光纖纖芯,上位機(jī)控制三維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)和光斑閉合,通過(guò)寬帶光源和高精度光譜分析儀(Yokogawa AQ6370D)實(shí)現(xiàn)刻寫過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。為避免光纖柱面透鏡效應(yīng)引起的焦距畸變,刻寫時(shí)物鏡鏡頭與光纖都浸入折射率液滴中,如圖3所示。

    圖2 飛秒激光刻寫系統(tǒng)示意圖

    圖3 飛秒激光刻寫平臺(tái)

    采用逐線刻寫方式,光柵刻寫始點(diǎn)與熔接點(diǎn)相距5 cm。飛秒激光刻寫功率1 μW,光柵柵距533 nm,柵線長(zhǎng)度10 μm,柵區(qū)長(zhǎng)度2 000 μm。為驗(yàn)證芯包復(fù)合光纖光柵的特性,另取相同光纖、相同工藝參數(shù),制備僅在纖芯內(nèi)的FBG、僅在包層內(nèi)的FBG,以作對(duì)比。

    飛秒激光刻寫前后光纖的顯微圖片如圖4所示,放大倍數(shù)63倍,由刻寫鏡頭直接拍攝。刻寫前,細(xì)芯光纖完好,如圖4(a)所示,可觀察到纖芯-包層-涂覆層及其邊界,直徑尺寸分別為6.4/125/155 μm。飛秒激光垂直于光纖軸面入射,刻寫后的芯包復(fù)合FBG、纖芯FBG、包層FBG分別如圖4(b)~(d)所示。

    圖4 飛秒激光刻寫FBG顯微圖像

    刻寫時(shí)使用光譜分析儀對(duì)三種FBG的反射特性進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),光譜范圍1 520~1 565 nm,分辨率0.05 nm,采樣點(diǎn)9 001,光譜如圖5~圖7所示。分別記錄三次光譜的布拉格波長(zhǎng)與-3 dB帶寬,列入表1進(jìn)行光譜特性參數(shù)分析。

    表1 3種FBG反射光譜特征參數(shù)

    圖5 僅在纖芯的FBG反射光譜

    由圖7可知,芯包復(fù)合FBG有兩處布拉格諧振波長(zhǎng),分別為1 540.09 nm和1 542.07 nm。結(jié)合式(4),由于纖芯的有效折射率高于包層的有效折射率,因此纖芯的布拉格諧振波長(zhǎng)大,包層的布拉格諧振波長(zhǎng)小。

    對(duì)比圖5與圖7,當(dāng)FBG只刻寫在纖芯中時(shí),布拉格波長(zhǎng)為1 541.98 nm,對(duì)應(yīng)芯包復(fù)合FBG右側(cè)的包層布拉格諧振(1 542.07 nm)。類似地,由圖6~7可知,當(dāng)FBG只刻在包層中時(shí),布拉格波長(zhǎng)為1 540.09 nm,對(duì)應(yīng)芯包復(fù)合FBG左側(cè)的纖芯布拉格諧振(1 540.22 nm)。這表明,芯包復(fù)合FBG同時(shí)具備兩個(gè)布拉格波長(zhǎng)的特性。

    圖6 僅在包層的FBG反射光譜

    圖7 芯包復(fù)合FBG反射光譜

    此外,纖芯FBG的-3 dB帶寬為0.60 nm,包層FBG的-3 dB帶寬為1.15 nm;而對(duì)于芯包復(fù)合FBG,兩處布拉格諧振波長(zhǎng)的-3 dB帶寬都有變化:纖芯布拉格諧振的帶寬變大(1.26 nm)、包層布拉格諧振的帶寬變小(1.09 nm)。這是由于芯包復(fù)合FBG相鄰空間內(nèi),纖芯模和包層模之間出現(xiàn)了模間串?dāng)_。

    3 溫度特性實(shí)驗(yàn)與討論

    在千級(jí)潔凈室中對(duì)芯包復(fù)合光纖光柵的溫度特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。使用高溫爐(FNS TMX-6-18)對(duì)光纖器件進(jìn)行50~410 ℃測(cè)試,反射光譜以20 ℃為步長(zhǎng)記錄,調(diào)至固定溫度后待20 min測(cè)量,以保證熱平衡。測(cè)試所得的溫度特性曲線如圖8所示。

    當(dāng)溫度從50 ℃上升到410 ℃時(shí),芯包復(fù)合光纖光柵光譜向長(zhǎng)波方向漂移,出現(xiàn)紅移,如圖8(a)所示。為深入研究溫度特性,分別對(duì)包層布拉格諧振、纖芯布拉格諧振進(jìn)行分析,如圖8(b)、(c)所示。進(jìn)一步對(duì)雙布拉格諧振進(jìn)行波長(zhǎng)-溫度線性擬合,如圖8(d)所示。可得包層布拉格諧振的溫度靈敏度為10.45 pm/℃,線性系數(shù)為0.998 8;纖芯布拉格諧振的溫度靈敏度為10.22 pm/℃,線性系數(shù)為0.998 7;這一現(xiàn)象與式(7)的理論分析是一致的。

    圖8 芯包復(fù)合光纖光柵的溫度特性

    特別地,注意到圖8(a)~(c)中,包層布拉格諧振峰的能量隨溫度升高逐漸下降,而纖芯布拉格諧振未觀測(cè)到類似趨勢(shì)。為明確輸出光強(qiáng)的下降原因,另選取與芯包復(fù)合光纖光柵種類、尺寸、熔接方式相同的一段未刻寫光纖,端面切平后進(jìn)行溫度特性測(cè)試,系統(tǒng)組成、測(cè)試范圍、記錄步長(zhǎng)等實(shí)驗(yàn)條件均與芯包復(fù)合光纖光柵的溫度實(shí)驗(yàn)相同。由于復(fù)合光柵的包層布拉格諧振位于1 540.09 nm處,故選擇無(wú)柵光纖1 540 nm左右的輸出功率進(jìn)行比較,如圖9所示。由圖中可看出,輸出光強(qiáng)在4 dB下降范圍內(nèi),兩條曲線下降趨勢(shì)一致,部分區(qū)域重合。這表明,是包層材料的能量泄漏或折射率變化導(dǎo)致了芯包復(fù)合光纖光柵的輸出光強(qiáng)下降,而非光柵結(jié)構(gòu)。

    圖9 溫度變化下有無(wú)芯包復(fù)合光柵的輸出光強(qiáng)對(duì)比

    4 結(jié)束語(yǔ)

    本文介紹了芯包復(fù)合光纖光柵的雙波長(zhǎng)布拉格諧振現(xiàn)象,建立了該特殊結(jié)構(gòu)的雙諧振波長(zhǎng)與溫度傳感模型,利用飛秒激光逐線直寫技術(shù)實(shí)現(xiàn)了器件制備,并對(duì)該傳感器的溫度特性進(jìn)行研究,具體結(jié)論如下:

    1)利用纖芯失配激發(fā)包層內(nèi)能量傳輸,基于經(jīng)典布拉格衍射條件,建立芯包復(fù)合光纖光柵的布拉格諧振方程組,預(yù)測(cè)雙波長(zhǎng)諧振位置。結(jié)合熱膨脹系數(shù)與熱光系數(shù)的光學(xué)特性,建立雙諧振波長(zhǎng)的溫度傳感模型,并分析不同諧振的溫度靈敏度差異。

    2)使用波長(zhǎng)800 nm、脈寬35 fs、重頻1 kHz的飛秒激光,在1 μW刻寫功率下,逐線刻寫實(shí)現(xiàn)了芯包復(fù)合光纖光柵結(jié)構(gòu)制備,且光柵柵距533 nm、柵線長(zhǎng)度10 μm、柵區(qū)長(zhǎng)度2 000 μm。監(jiān)測(cè)反射光譜可知,纖芯與包層布拉格諧振分別位于1 542.07 nm、1 540.09 nm,符合雙諧振波長(zhǎng)模型。

    3)在溫度范圍50~410 ℃、步長(zhǎng)20 ℃的測(cè)試條件下研究芯包復(fù)合光纖光柵的溫度特性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,雙布拉格諧振波長(zhǎng)均隨溫度升高而產(chǎn)生紅移,但纖芯諧振的溫度靈敏度為10.22 pm/℃,包層諧振的溫度靈敏度為10.45 pm/℃,符合雙波長(zhǎng)溫度傳感模型。

    綜上所述,本文提出的芯包復(fù)合光纖光柵能產(chǎn)生具有雙峰結(jié)構(gòu)的反射光譜,實(shí)現(xiàn)單傳感結(jié)構(gòu)、雙靈敏系數(shù)的功能性擴(kuò)展,具有巨大的應(yīng)用價(jià)值與潛力,同時(shí)對(duì)復(fù)雜環(huán)境下的多參數(shù)耦合測(cè)量與解耦也具有重要的參考價(jià)值。

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