北方華創(chuàng)爭上游

方祎　李雅潔

10月，北京一家半導(dǎo)體設(shè)備公司，將迎來自己的21歲生日。這家名為北方華創(chuàng)的公司，目前市值1500億元，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上游的巨頭。

半導(dǎo)體設(shè)備，是整個(gè)行業(yè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，具有高壁壘、長積累、跨學(xué)科的特點(diǎn)。短期砸錢造不出奇跡。

早在國內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展初期，北京華創(chuàng)就開始布局半導(dǎo)體設(shè)備，經(jīng)過20余年的積累，打響名號。

積累深厚

北方華創(chuàng)由兩家半導(dǎo)體設(shè)備公司重組而來。

一家是老牌設(shè)備企業(yè)北方微電子，成立于2001年10月，主要生產(chǎn)刻蝕、沉積設(shè)備。另一家為七星電子，研發(fā)生產(chǎn)清洗機(jī)、氧化爐、原子層沉積設(shè)備（ALD）等半導(dǎo)體設(shè)備，制造經(jīng)驗(yàn)豐富。

2016年，七星電子與北方微電子重組，一年后，新公司更名為“北方華創(chuàng)”。

團(tuán)隊(duì)領(lǐng)頭人實(shí)力強(qiáng)大。董事長趙晉榮，畢業(yè)于西安電子科技大學(xué)，高級工程師，歷任七星電子總經(jīng)理、北方微電子總裁、國家“100納米高密度等離子刻蝕機(jī)”項(xiàng)目總設(shè)計(jì)師。

這家公司的發(fā)展，離不開芯片大基金的支持。

2014年，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金成立，一期募資1387億元，二期2041億元。

2016年，大基金一期斥資6億元，參與北方華創(chuàng)的定增。3年后，大基金一期再度投資9.2億元。2021年，大基金二期投資15億元，認(rèn)購493.42萬股。

值得一提的是，大基金曾在2020年，減持北方華創(chuàng)990萬股。目前大基金為北方華創(chuàng)第三大股東，合計(jì)持有8.4%的公司股份。

半導(dǎo)體下游公司中，長江存儲(chǔ)正在進(jìn)行新一輪擴(kuò)產(chǎn)，合肥長鑫也在加速采購國產(chǎn)設(shè)備。比如長江存儲(chǔ)于2021年啟動(dòng)二期項(xiàng)目，預(yù)計(jì)產(chǎn)能將達(dá)到10萬片/月，對設(shè)備需求量大。

趕上風(fēng)口，該公司業(yè)績大增。

國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）最新報(bào)告顯示，2021年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額增至1026億美元，創(chuàng)歷史新高，年增44%，中國為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場。

2022年上半年，北方華創(chuàng)營收54.44億元，同比增長50.87%;凈利潤7.55億元，同比增長143.16%。

值得注意的是，北方華創(chuàng)的半導(dǎo)體設(shè)備，部分重要零部件依賴國外廠商，主要來自美國、日本和歐洲。一旦貿(mào)易爭端加劇，存在零部件斷供風(fēng)險(xiǎn)。

貝恩公司在《半導(dǎo)體行業(yè)白皮書》中表示，面對復(fù)雜的國際局勢，半導(dǎo)體設(shè)備公司一是可以借助本土優(yōu)勢，及時(shí)響應(yīng)下游客戶需求，鍛造與國際廠商差異化的服務(wù)能力;二是要關(guān)注潛在的收購機(jī)會(huì)，垂直整合強(qiáng)化現(xiàn)有業(yè)務(wù)，或通過橫向收購，補(bǔ)足短板，擴(kuò)大版圖。

技術(shù)攻關(guān)

半導(dǎo)體裝備主要用于制造晶圓，包括擴(kuò)散、光刻、沉積、離子注入、刻蝕、拋光等步驟。

北方華創(chuàng)深耕行業(yè)20余年，已覆蓋除光刻外的全部工藝，尤其擅長沉積、刻蝕。

沉積，是指讓金屬、氧化物、氮化物等不同物質(zhì)附著于襯底材料表面。根據(jù)工作原理差異，可分為物理氣相沉積（PVD）設(shè)備、化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備等。

刻蝕，是指將晶圓表面刻蝕形成3D圖形，分為濕蝕刻與干蝕刻。清洗工藝主要用于去除芯片制造中上一道工序所遺留的各類污染物。

北方華創(chuàng)自主研發(fā)的金屬硬掩膜PVD系統(tǒng)，已實(shí)現(xiàn)我國高端集成電路PVD設(shè)備“零的突破”。

等離子干法刻蝕技術(shù)，穩(wěn)定性強(qiáng)，北方華創(chuàng)將其應(yīng)用于薄膜微細(xì)加工，推出8英寸、12英寸的刻蝕機(jī)，可應(yīng)用于90-40納米、40-28納米等不同制程的集成電路。

2018年，其全資子公司北方華創(chuàng)微電子以1500萬美元的價(jià)格，收購美國清洗設(shè)備公司 Akrion，增加半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)品線。

在清洗工藝上，北方華創(chuàng)采用濕法腐蝕技術(shù)，研發(fā)出多種類型的槽式清洗設(shè)備與單片清洗設(shè)備。晶圓加工第一道工藝所需的氧化/擴(kuò)散爐、退火爐，同樣被納入北方華創(chuàng)的產(chǎn)線。

截至2021年底，北方華創(chuàng)已累計(jì)申請專利5900余件，累計(jì)獲得授權(quán)專利3300余件。

北方華創(chuàng)的沉積與刻蝕設(shè)備，拿到長江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)的訂單。

長江證券研報(bào)顯示，北方華創(chuàng)的熱處理設(shè)備，在長江存儲(chǔ)的中標(biāo)率高達(dá)56.74%，截至今年5月，公司刻蝕設(shè)備累計(jì)出貨超2000臺(tái)。

為了提高技術(shù)水平，擴(kuò)展產(chǎn)品線，公司研發(fā)投入加大。財(cái)報(bào)顯示，2021年，北方華創(chuàng)的研發(fā)投入達(dá)28.92億元，同比增長79.85%;研發(fā)人員增長至2044人。

這家經(jīng)驗(yàn)老道的企業(yè)，重金投入研發(fā)，激發(fā)創(chuàng)新，有望抹平差距，走出去和半導(dǎo)體設(shè)備巨頭競爭。