鎖定“鉬”標(biāo) 砥礪前行
——“高性能觸控顯示屏用鉬鈮合金靶材的技術(shù)研究及產(chǎn)品開發(fā)”項(xiàng)目簡介

濺射靶材是平板顯示、新能源及光伏行業(yè)不可或缺的重要基材，市場需求量大。為了有效拓展市場，金堆城鉬業(yè)股份有限公司(以下簡稱“金鉬股份”)成立鉬鈮合金靶材科研項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)。經(jīng)過兩年的不懈努力，攻克了大規(guī)格鉬鈮合金靶材制粉、燒結(jié)、加工等關(guān)鍵工藝難題，掌握了大尺寸靶材的核心制備技術(shù)。

該項(xiàng)目小組在小規(guī)格鉬鈮靶材的基礎(chǔ)上展開了大規(guī)格鉬鈮合金平面靶材、管狀靶材的開發(fā)。項(xiàng)目組成員通過原料的純化解決了鉬鈮合金應(yīng)用面板行業(yè)的第1個(gè)“卡脖子”問題——高純；通過特殊熱處理解決了作為阻擋層的鉬鈮合金能否有效發(fā)揮耐濕性的第2個(gè)關(guān)鍵問題——均質(zhì)；通過工藝標(biāo)準(zhǔn)化控制解決了鉬鈮合金能否成功應(yīng)用于面板行業(yè)的問題——大尺寸。

在解決原料的純化問題時(shí)，項(xiàng)目組決定采用高純CO進(jìn)行提純試驗(yàn)。大家連續(xù)奮戰(zhàn)了一個(gè)星期，收獲了不同組分的碳化物，通過一步一步追根溯源的探索實(shí)驗(yàn)，最終獲得了提純原料的方法。

2021年開始，項(xiàng)目組利用實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，承接了用戶管狀靶材的訂單，并在約定的周期內(nèi)順利交付。鉬鈮靶材認(rèn)證順利通過，產(chǎn)品各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到客戶最優(yōu)標(biāo)準(zhǔn)。

目前，金鉬股份技術(shù)中心制備的鉬鈮合金管靶已經(jīng)通過國內(nèi)知名半導(dǎo)體及面板企業(yè)——映日科技股份有限公司的客戶認(rèn)證，正進(jìn)行連續(xù)訂單的生產(chǎn)。8.5代線大尺寸鉬鈮合金條靶也正在和客戶接洽。