半導(dǎo)體設(shè)備公司盛美上海，突圍之后的成長(zhǎng)命題

程華秋子

半導(dǎo)體設(shè)備位于產(chǎn)業(yè)鏈上游，技術(shù)壁壘較高。王暉創(chuàng)立的盛美通過(guò)切入巨頭無(wú)暇顧及的細(xì)分領(lǐng)域——清洗設(shè)備，拿下全球存儲(chǔ)器龍頭海力士的訂單，突圍而出。

其收獲也是驚人的，盛美在A股上市后市值一度超過(guò)500億元，市盈率達(dá)200倍，員工持股平臺(tái)人均持股價(jià)值高達(dá)600萬(wàn)元，王暉家族財(cái)富亦高達(dá)43億元。

與光刻、刻蝕、薄膜三大環(huán)節(jié)超20%的價(jià)值占比相比，清洗設(shè)備在晶圓制造工藝中的價(jià)值占比僅為5%左右，這在一定程度上制約了盛美的長(zhǎng)期發(fā)展空間?？蛻?hù)高度集中、銷(xiāo)售渠道過(guò)于依賴(lài)代理商，盛美上海的收入增長(zhǎng)或容易陷入被動(dòng)境地。

目前，中國(guó)半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率參差不齊，整體處于較低的水平。國(guó)產(chǎn)化率最高的晶圓設(shè)備是去膠設(shè)備，達(dá)到90%以上，而門(mén)檻最高的光刻設(shè)備遲遲沒(méi)實(shí)現(xiàn)零的突破，直到2022年2月，上海微電子首臺(tái) 2.5D / 3D 先進(jìn)封裝光刻機(jī)交付客戶(hù)，實(shí)現(xiàn)了歷史性跨越（表1）。

清洗設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率也僅在20%左右，其中，盛美半導(dǎo)體（ACMR. NSDQ）子公司盛美上海（688082）占據(jù)著國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備市場(chǎng)80%左右的份額，在國(guó)內(nèi)一家獨(dú)大。此外，北方華創(chuàng)（002371）、中微公司（688012）也有涉足該領(lǐng)域。

目前，盛美上海的客戶(hù)包括韓國(guó)的SK海力士及內(nèi)地的長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、中芯國(guó)際（688981）、合肥長(zhǎng)鑫、長(zhǎng)電科技（600584）等知名半導(dǎo)體企業(yè)。其中，華虹集團(tuán)和長(zhǎng)江存儲(chǔ)貢獻(xiàn)的營(yíng)收超過(guò)60%。

盛美上海于2021年11月18日登陸科創(chuàng)板，上市首日漲幅高達(dá)52.65%，市值達(dá)到562億元。2017年，其估值僅5.2億元，4年時(shí)間翻了將近105倍。其創(chuàng)始人王暉家族的身家也水漲船高，達(dá)到43億元，外部投資者的賬面回報(bào)率也均超過(guò)8倍，充分彰顯了科技造富的神力。不過(guò)，截至2022年2月24日收盤(pán)，盛美上海的市值已經(jīng)回落至412億元。

盛美上海，是國(guó)內(nèi)企業(yè)從國(guó)際巨頭的壟斷中突圍的典型例子，其成長(zhǎng)也是半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的最真實(shí)寫(xiě)照。

1997年，IBM研究院宣布用銅互連技術(shù)代替鋁互連制造芯片，使得微處理器的速度再提高15%。次年9月，IBM就推出了世界上第一個(gè)采用銅金屬材料的微處理器，半導(dǎo)體制程工藝自此進(jìn)入銅互連時(shí)代。

在美國(guó)從事半導(dǎo)體設(shè)備研究的王暉，在IBM的理論基礎(chǔ)上，創(chuàng)造性地提出了可用于超薄仔晶層的多陽(yáng)極局部電鍍銅技術(shù)。1998年，王暉與一群清華校友在美國(guó)硅谷創(chuàng)立了盛美半導(dǎo)體，主要從事半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)工作。

2005年，全球半導(dǎo)體產(chǎn)線向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移，半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)需求明顯增加，上海市大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，盛美半導(dǎo)體作為重點(diǎn)企業(yè)被引進(jìn)上海。王暉帶領(lǐng)公司部分團(tuán)隊(duì)成員回國(guó)二次創(chuàng)業(yè)，在上海投資設(shè)立了盛美上海的前身盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“盛美有限”），并將其前期研發(fā)形成的半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備相關(guān)技術(shù)使用權(quán)注入盛美有限。

彼時(shí)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈被國(guó)際廠商高度壟斷，王暉希望從巨頭無(wú)暇顧及的細(xì)分領(lǐng)域切入，通過(guò)差異化技術(shù)拿到入場(chǎng)券。

基于這個(gè)邏輯，盛美半導(dǎo)體選擇了清洗設(shè)備領(lǐng)域。一方面，清洗設(shè)備市場(chǎng)的規(guī)模在整個(gè)晶圓制造設(shè)備中的占比在5%左右，巨頭在這樣相對(duì)較小環(huán)節(jié)的“注意力”有限。另一方面，清洗設(shè)備在整個(gè)制造工藝流程中極為關(guān)鍵，不可或缺。

目前，芯片制造流程中，光刻、刻蝕、沉積等重復(fù)性工序后均設(shè)置了清洗工序，清洗步驟數(shù)量約占所有芯片制造工序步驟的30%以上，是所有芯片制造工藝步驟中占比最大的工序。并且，隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)的進(jìn)步，清洗工序的次數(shù)和重要性將持續(xù)快速上升，設(shè)備體量比例也會(huì)提升。

半導(dǎo)體設(shè)備位于產(chǎn)業(yè)鏈上游，屬于支撐性行業(yè)，技術(shù)壁壘較高，通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)證難度大。如果盛美半導(dǎo)體能扎根清洗設(shè)備這個(gè)領(lǐng)域，則存在一絲突圍的希望。

此后歷時(shí)3年，盛美半導(dǎo)體于2008年成功研發(fā)出SAPS（空間交變相移兆聲波清洗）技術(shù)。這個(gè)技術(shù)可以利用交替變化的空間移動(dòng)，解決兆聲波傳遞的均勻性，提升顆粒去除率，從而增加廠商產(chǎn)品良率。

當(dāng)時(shí)的全球十大半導(dǎo)體企業(yè)、全球存儲(chǔ)器龍頭韓國(guó)SK海力士正受清洗顆粒難度的困擾，盛美半導(dǎo)體的差異化產(chǎn)品吸引了其興趣，其于2009年引入了SAPS清洗設(shè)備，開(kāi)展產(chǎn)品驗(yàn)證。從產(chǎn)品進(jìn)廠驗(yàn)證到正式獲得訂單，盛美半導(dǎo)體花了近2年的時(shí)間。

在盛美半導(dǎo)體不斷的測(cè)試、研發(fā)、優(yōu)化下，最終SAPS清洗設(shè)備幫助海力士的兩道工藝良率提高了1.5%。若是10萬(wàn)平生產(chǎn)線，良率能夠提升1.5%，一年可以創(chuàng)造約7000萬(wàn)美元利潤(rùn)。2011年，盛美半導(dǎo)體獲得的第一筆清洗設(shè)備訂單，便是海力士采購(gòu)用于12英寸45nm工藝的SAPS清洗設(shè)備。至此，盛美半導(dǎo)體正式開(kāi)啟清洗設(shè)備的批量化生產(chǎn)。

有了海力士的認(rèn)可和背書(shū)，盛美半導(dǎo)體開(kāi)始受到市場(chǎng)關(guān)注。

2015年后，中國(guó)內(nèi)地半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展進(jìn)入快車(chē)道，設(shè)備需求增長(zhǎng)迅速。盛美半導(dǎo)體于2015年后順利取得了長(zhǎng)江存儲(chǔ)（武漢新芯）、中芯國(guó)際及華虹集團(tuán)等客戶(hù)的SAPS清洗設(shè)備訂單。

招股書(shū)顯示，盛美上海的客戶(hù)主要來(lái)自晶圓制造、封裝、半導(dǎo)體硅片制造及回收和科研院所四大領(lǐng)域，基本上囊括了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中下游的龍頭玩家（表2）。

近3年來(lái)，盛美上海前五大客戶(hù)中，長(zhǎng)江存儲(chǔ)和華虹集團(tuán)均位于前兩位，2021年上半年，這兩大客戶(hù)合計(jì)貢獻(xiàn)的營(yíng)收已超過(guò)60%（表3）。長(zhǎng)江存儲(chǔ)的模式和長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)類(lèi)似，都由清華系公司牽手地方政府及國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（簡(jiǎn)稱(chēng)“大基金”）聯(lián)合成立，但二者主攻方向不同。長(zhǎng)江存儲(chǔ)是由紫光集團(tuán)與武漢新芯合作成立的國(guó)家存儲(chǔ)芯片基地項(xiàng)目，專(zhuān)注于12寸3D NAND閃存芯片的研發(fā)與制造。華虹集團(tuán)主要做智能卡芯片，第一大股東是上海國(guó)資委。

值得一提的是，盛美上海的市場(chǎng)拓展對(duì)代理商的依賴(lài)程度非常高。

2017-2020年，盛美上海通過(guò)代理商實(shí)現(xiàn)的銷(xiāo)售收入分別為5億元、6.9億元、9.3億元、5.8億元，占當(dāng)期營(yíng)業(yè)收入的比例分別為91.53%、91.18%、92.68%和94.01%。

此外，盛美上海的銷(xiāo)售傭金也遠(yuǎn)高于同行（表4）。招股書(shū)顯示，其銷(xiāo)售傭金分別為1931萬(wàn)元、2762萬(wàn)元、4047萬(wàn)元和2221萬(wàn)元，占營(yíng)業(yè)收入的比例分別為3.51%、3.65%、4.02%和3.55%。而滬硅產(chǎn)業(yè)、瀾起科技相關(guān)比例目前已降至0.5%以下。

由于半導(dǎo)體行業(yè)潛在客戶(hù)數(shù)量眾多，銷(xiāo)售周期較長(zhǎng)，銷(xiāo)售情況會(huì)隨行業(yè)周期而波動(dòng)，不確定性大，通過(guò)代理商銷(xiāo)售可以加快市場(chǎng)開(kāi)拓力度。盡管盛美上海現(xiàn)在同時(shí)擁有5家代理商，但過(guò)于依賴(lài)代理商渠道，缺乏自身銷(xiāo)售團(tuán)隊(duì)，容易使其收入增長(zhǎng)陷入被動(dòng)境地。

半導(dǎo)體設(shè)備門(mén)檻高、市場(chǎng)集中度高，長(zhǎng)期由國(guó)外巨頭壟斷，這已成為常態(tài)。

以美國(guó)AMAT（應(yīng)用材料公司， AMAT.NSDQ）、荷蘭ASML（阿斯麥，ASML.NSDQ）、美國(guó)LAM（泛林集團(tuán)，LRCX.NSDQ）、日本TEL（Tokyo Electron Ltd.，東京電子）和DNS（Dainippon Screen，迪恩士）、美國(guó)KLA（科天半導(dǎo)體，KLAC.NSDQ）等為代表的國(guó)際知名企業(yè)經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，憑借資金、技術(shù)、客戶(hù)資源、品牌等方面的優(yōu)勢(shì)，占據(jù)了全球半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備市場(chǎng)的主要份額。根據(jù)VLSI Research統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備商前五分別為AMAT、ASML、LAM、TEL和KLA，CR5（行業(yè)前五名市占率之和）高達(dá)65.5%，而CR10則達(dá)到76.6%，行業(yè)集中度高（表5）。

其中，美國(guó)AMAT作為最大的半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備供應(yīng)商，在晶圓制造設(shè)備的核心環(huán)節(jié)？熱處理、鍍膜設(shè)備、離子注入設(shè)備等領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)先全球；日本半導(dǎo)體設(shè)備公司更擅長(zhǎng)制造刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、涂膠設(shè)備、顯影設(shè)備、測(cè)試設(shè)備等；荷蘭ASML則在高端光刻機(jī)領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位，美國(guó)LAM在刻蝕、清洗、電鍍?cè)O(shè)備領(lǐng)域擁有較強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

其中，在清洗設(shè)備市場(chǎng)，日本公司主導(dǎo)全球。DNS占據(jù)40%以上的市場(chǎng)份額，此外，TEL、LAM等也占據(jù)了較高的市場(chǎng)份額，市場(chǎng)集中度較高。

目前中國(guó)內(nèi)地清洗設(shè)備領(lǐng)域主要有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微（688037）、至純科技（603690）4家主要廠商，且專(zhuān)注的領(lǐng)域有所差異。

其中，盛美上海主要產(chǎn)品為集成電路領(lǐng)域的單片清洗設(shè)備，包括單片SAPS兆聲波清洗設(shè)備、單片TEBO（時(shí)序能激氣穴震蕩）兆聲波清洗設(shè)備、單片背面清洗設(shè)備、單片前道刷洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、單片槽式組合清洗設(shè)備等，產(chǎn)品線較為豐富。北方華創(chuàng)收購(gòu)美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商Akrion Systems LLC之后的主要產(chǎn)品為單片及槽式清洗設(shè)備。芯源微目前產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路制造領(lǐng)域的單片式刷洗領(lǐng)域。至純科技具備生產(chǎn)8-12英寸高階單晶圓濕法清洗設(shè)備和槽式濕法清洗設(shè)備的相關(guān)技術(shù)，能夠覆蓋包括晶圓制造、先進(jìn)封裝、太陽(yáng)能在內(nèi)多個(gè)下游行業(yè)的市場(chǎng)需求。

這4家國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備廠商，北方華創(chuàng)的體量最大、市值最高，市盈率與盛美上海相近，都達(dá)到200多倍（表6）。而財(cái)務(wù)表現(xiàn)并不出色的芯源微，市場(chǎng)卻給予了較高的估值，市盈率高達(dá)306倍，這或許是因?yàn)樵谕磕z顯影設(shè)備上，芯源微實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化零的突破（表7）。

具體來(lái)看，盛美上海2017-2020年的營(yíng)收和凈利潤(rùn)都呈現(xiàn)逐年增長(zhǎng)的趨勢(shì)，其中營(yíng)收近4年的年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到41%，凈利潤(rùn)的年復(fù)合增長(zhǎng)率高達(dá)73.64%。

縱觀全球的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，主要有兩類(lèi)典型的經(jīng)營(yíng)模式。

其一，以全球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭應(yīng)用材料為代表，其產(chǎn)品線幾乎覆蓋除光刻機(jī)以外的所有大類(lèi)，并致力于打造全方位、多品類(lèi)的“半導(dǎo)體設(shè)備綜合超市”。這類(lèi)公司更趨向于“平臺(tái)化發(fā)展”，國(guó)內(nèi)的北方華創(chuàng)也是這種模式。

其二，以泛林集團(tuán)為代表，其以刻蝕機(jī)為核心產(chǎn)品，并向工藝關(guān)聯(lián)的薄膜與清洗/去膠領(lǐng)域延伸，業(yè)務(wù)更加聚焦，成為了全球的刻蝕機(jī)龍頭。這類(lèi)企業(yè)一般為“專(zhuān)攻型企業(yè)”，國(guó)內(nèi)聚焦于刻蝕設(shè)備的中微公司便屬此類(lèi)，追求先精后全。

憑借差異化、多樣化的產(chǎn)品組合，盛美上海奠定了在國(guó)內(nèi)清洗設(shè)備市場(chǎng)的龍頭地位。但與光刻、刻蝕、薄膜三大環(huán)節(jié)超20%的價(jià)值占比相比，清洗設(shè)備環(huán)節(jié)在晶圓制造工藝中的規(guī)模相對(duì)有限，2020年占比為4.1%，這在一定程度上制約了盛美上海的長(zhǎng)期發(fā)展空間。

為解決該問(wèn)題，盛美半導(dǎo)體提出了在專(zhuān)攻型的基礎(chǔ)上，向平臺(tái)化模式發(fā)展的策略，即逐漸將產(chǎn)品布局向晶圓制造工藝的其他環(huán)節(jié)擴(kuò)張，并擴(kuò)大不同環(huán)節(jié)的產(chǎn)品組合，提升潛在成長(zhǎng)空間。這屬于將北方華創(chuàng)與中微公司模式結(jié)合的新嘗試。

截至目前，盛美上海圍繞SAPS技術(shù)、TEBO技術(shù)和Ultra-C Taho（e太浩高溫硫酸）技術(shù)進(jìn)行了全面研發(fā)布局，其產(chǎn)品組合已能覆蓋80%以上的清洗設(shè)備市場(chǎng)。在前道晶圓制造的七大工藝?yán)?，盛美上海在清洗環(huán)節(jié)外的氧化/擴(kuò)散、薄膜生長(zhǎng)、電鍍及拋光四大環(huán)節(jié)均有所涉及，且在后道的先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)出貨。

2021年上半年，盛美上海推出了立式爐設(shè)備（Ultra Furnace），這是首臺(tái)為多種干法工藝應(yīng)用開(kāi)發(fā)的系統(tǒng)，在優(yōu)化后可實(shí)現(xiàn)高性能低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD），同時(shí)該設(shè)備平臺(tái)可延伸至氧化和退火以及原子層沉積等應(yīng)用，涉及了晶圓制造的多個(gè)環(huán)節(jié)。

招股書(shū)顯示，盛美上海IPO募資的6成用于設(shè)備研發(fā)；其中，盛美半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與制造中心總投資超過(guò)8.8億元，擬使用募資7億元，將于2023年投入使用（表8）。

科技屬性的稀缺，也讓盛美上海的造富能力得到凸顯。

IPO前，其母公司盛美半導(dǎo)體（ACMR）持有盛美上海91.67%股權(quán)。上市后，ACMR的持股比例仍然高達(dá)82.86%。前十大股東的股比合計(jì)達(dá)到89.12%，說(shuō)明盛美上海自身有造血能力，盈利較穩(wěn)定，原始股價(jià)值較高，ACMR僅稀釋了較少的老股，就獲得了外部融資（表9）。

追溯盛美有限的歷史沿革，不難發(fā)現(xiàn)，其估值水漲船高，造富力驚人。

盛美有限是盛美上海的前身，2005年成立時(shí)，ACMR持股100%。2017年，盛美有限的股權(quán)結(jié)構(gòu)為：ACMR持股62.87%、上海創(chuàng)業(yè)投資有限公司持股18.77%、張江科創(chuàng)投持股7.58%、浦東產(chǎn)投持股10.78%。當(dāng)年8月，上海創(chuàng)業(yè)投資有限公司將其持有的盛美有限18.77%股權(quán)轉(zhuǎn)讓給ACMR，轉(zhuǎn)讓價(jià)格為4000萬(wàn)元。此時(shí)盛美有限估值2.13億元。

2017年11月，張江科創(chuàng)投將其持有的盛美有限7.58%股權(quán)，浦東產(chǎn)投將其持有的盛美有限10.78%股權(quán)，合計(jì)18.36%股權(quán)以9565.56萬(wàn)元轉(zhuǎn)讓給ACMR。此時(shí)，盛美有限估值為5.21億元。

在盛美半導(dǎo)體2017年底登陸納斯達(dá)克時(shí)，國(guó)資背景的創(chuàng)投以此價(jià)格轉(zhuǎn)讓盛美有限股權(quán)，可能是完成上市給予創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)的獎(jiǎng)勵(lì)。因?yàn)閮赡旰螅謻|產(chǎn)投和張江科創(chuàng)投又出現(xiàn)在了盛美有限的投資者名單中。而王暉坦言，盛美在納斯達(dá)克成功上市的背后，離不開(kāi)上海創(chuàng)投引導(dǎo)基金、浦東產(chǎn)投、張江科創(chuàng)投各大國(guó)有股東十年的接力支持。

2019年11月，盛美有限股改后，又進(jìn)行了一次增資，這次引入了勇崆咨詢(xún)、善亦企管、尚融創(chuàng)新、尚融聚源、潤(rùn)廣投資、上海集成電路產(chǎn)投、浦東產(chǎn)投和張江科創(chuàng)投八家外部投資者。這次增資后，盛美有限的估值增長(zhǎng)到了50.72億元。僅兩年，翻了接近10倍。

上市后，盛美上海的市值達(dá)到543.12億元，意味著僅僅4年，其估值翻了接近105倍，財(cái)富效應(yīng)可觀。這也讓盛美上海的外部投資者賺得缽滿(mǎn)盆滿(mǎn)。

從賬面財(cái)富來(lái)看，作為員工持股平臺(tái)的芯時(shí)咨詢(xún)和芯港咨詢(xún)，回報(bào)率最高，達(dá)到了11倍。以2021年11月19日收盤(pán)價(jià)計(jì)算，芯時(shí)咨詢(xún)和芯港咨詢(xún)的持股市值分別達(dá)到了2.23億元和0.91億元。芯時(shí)咨詢(xún)由盛美上海37名核心技術(shù)人員和管理人員組成，他們?nèi)司止墒兄颠_(dá)到602.7萬(wàn)元。芯港咨詢(xún)則主要由48位盛美上海的核心業(yè)務(wù)人員組成，人均持股市值達(dá)到189.6萬(wàn)元。

此前，這兩個(gè)員工持股平臺(tái)的增資價(jià)格為10.4元/單位注冊(cè)資本，要低于其他5名新增股東13元/單位注冊(cè)資本的增資價(jià)格（表10）。而外部投資者的賬面回報(bào)率盡管略低于其員工持股平臺(tái)，但仍然超過(guò)8倍。

另外，出現(xiàn)在前十大股東的上海集成電路是華虹集團(tuán)的子公司，而華虹集團(tuán)是盛美上海的大客戶(hù)，每年貢獻(xiàn)的營(yíng)收占比接近20%-30%。

目前，上海集成電路、浦東產(chǎn)投在這筆投資中的賬面浮盈均已超過(guò)5億元，通過(guò)引入盛美半導(dǎo)體落地，上海市既賺到了稀缺的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司，進(jìn)一步提升了在芯片產(chǎn)業(yè)鏈的實(shí)力，又通過(guò)投資入股賺到了二級(jí)資本市場(chǎng)的錢(qián)，可謂一箭雙雕。

截至2021年11月19日收盤(pán)，盛美上海的母公司ACMR的市值達(dá)到18.7億美元（約合人民幣119億元），市盈率達(dá)到100倍；而盛美上海是其市值的5倍。作為創(chuàng)始人的王暉及其家族，自然也從中受益。

盛美上海招股書(shū)顯示，王暉持有美國(guó)ACMR的168，006股A類(lèi)股和1，146，934股B類(lèi)股，其妻子JING CHEN、兒子BRIAN WANG、女兒SOPHIA WANG也分別持有不同數(shù)量的美國(guó)ACMR股份。

綜合計(jì)算，王暉家族合計(jì)持有ACMR的48.3286萬(wàn)股A類(lèi)股和138.894萬(wàn)股B類(lèi)股，合計(jì)普通股187.2萬(wàn)股。而盛美半導(dǎo)體的定期報(bào)告顯示，截至2021年11月，ACMR的A類(lèi)股1781.2萬(wàn)股，B類(lèi)股達(dá)169.6萬(wàn)股，合計(jì)1950.8萬(wàn)股，王暉家族對(duì)ACMR的持股比例達(dá)到9.6%（附圖）。

而上市后ACMR又持有盛美上海82.86%的股權(quán)，以此穿透計(jì)算，王暉家族持有盛美上海8%（9.6%×82.86%）的股權(quán)。按2021年11月19日收盤(pán)價(jià)計(jì)算，王暉的身家也達(dá)到43億元，彰顯了科技造富的神力。

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