趙飛：潔凈領(lǐng)域的探路先鋒

李建國(guó) 李冬冬

打破山東省“缺芯少面”局面，彌補(bǔ)集成電路產(chǎn)業(yè)空白，中建三局第一建設(shè)安裝有限公司承建的國(guó)內(nèi)首個(gè)協(xié)同式集成電路制造CIDM項(xiàng)目——青島芯恩項(xiàng)目正按部就班，火熱推進(jìn)施工。

作為業(yè)內(nèi)“高精尖”的代表，潔凈廠房項(xiàng)目對(duì)施工技術(shù)甚至施工環(huán)境都有著特殊的要求。作為項(xiàng)目的“孵化者”，項(xiàng)目經(jīng)理趙飛和他的團(tuán)隊(duì)在這里上演了一場(chǎng)有關(guān)匠心與攻堅(jiān)克難的“故事”。

“既然冷，就捂熱了再施工”

2021年“小寒”這天，第一波寒潮天氣非?！皯?yīng)景”地入侵青島，項(xiàng)目所在的東部海岸線的最低氣溫一度低至-24℃。

在一次巡場(chǎng)過(guò)程中，趙飛發(fā)現(xiàn)由于溫度過(guò)低，潔凈室地面環(huán)氧樹(shù)脂凝固速度變慢，成品出現(xiàn)落差大、表面有磨砂的現(xiàn)象，不僅沒(méi)有提高潔凈度，反而成了顆粒物附著的溫床，這將極大影響正常施工。他決定找項(xiàng)目總工李靖商量一下應(yīng)對(duì)策略。

兩人一”碰“，就”碰“出一個(gè)“土辦法”。“既然它冷，那你就把他捂熱了再施工?！庇谑撬麄兲崆皢?dòng)MAU（空調(diào)機(jī)組），向潔凈室內(nèi)輸送暖風(fēng)，并將環(huán)氧地面劃為幾個(gè)片區(qū)，在周圍設(shè)置暖風(fēng)機(jī)施工，通過(guò)這種方式，不僅保證了施工質(zhì)量，還提前一天交付了該片作業(yè)面。

尖端技術(shù)的最初構(gòu)想，不僅來(lái)源于被人們冠以為常識(shí)的“土辦法”，還有從生活中借鑒方法的“腦洞大開(kāi)”。

“像接水一樣進(jìn)行氣流模擬”

受層高、面積、設(shè)備排布等因素的影響，潔凈室回風(fēng)夾道設(shè)置在潔凈室兩側(cè)，導(dǎo)致FFU（高效過(guò)濾器）送風(fēng)時(shí)可能在潔凈室中間區(qū)域形成渦流，從而使得由潔凈室內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備、操作人員等產(chǎn)生的污染粒子滯留，影響潔凈室整體空氣質(zhì)量，甚至?xí)绊懏a(chǎn)品良品率?！肮て谝惶焯毂平現(xiàn)FU的排布問(wèn)題卻一直沒(méi)有解決，那段時(shí)間真是煎熬?！壁w飛說(shuō)。

一天早上，早起刷牙的趙飛看著杯子里的水，因水流沖擊而上下循環(huán)翻滾時(shí)，突然靈光一閃：依照水龍頭出水進(jìn)杯子的方式對(duì)潔凈室內(nèi)的氣流進(jìn)行模擬，以此來(lái)確定最佳的排布方式。于是趙飛帶著技術(shù)團(tuán)隊(duì)立即查閱資料，和FFU廠家溝通交流不同的排布實(shí)際效果，運(yùn)用CFD氣流模擬專業(yè)軟件對(duì)項(xiàng)目潔凈室氣流進(jìn)行模擬，通過(guò)多方案比較，合理調(diào)整FFU布置率和擺放位置，使?jié)崈羰覂?nèi)氣流無(wú)死角，保證潔凈室空氣質(zhì)量，成功達(dá)到了潔凈度要求。

2021年4月15日，12寸廠潔凈室迎來(lái)業(yè)主及專業(yè)檢測(cè)機(jī)構(gòu)聯(lián)合檢測(cè)，僅用時(shí)23個(gè)小時(shí)，室內(nèi)溫度及濕度就達(dá)到設(shè)備搬入要求，且在后續(xù)48小時(shí)內(nèi)保持溫度波動(dòng)在0.2攝氏度內(nèi)，濕度波動(dòng)在1%之內(nèi)，達(dá)到行業(yè)頂尖水準(zhǔn)，施工質(zhì)量得到業(yè)主方領(lǐng)導(dǎo)張汝京博士親自點(diǎn)贊。

潔凈廠房的建造不僅要考慮到潔凈度，對(duì)于廠房的用途也需要相應(yīng)的技術(shù)配套，高精度的芯片生產(chǎn)，要求趙飛團(tuán)隊(duì)必須要以格物致知、精益求精的工作態(tài)度進(jìn)行鉆研。

“搭臺(tái)子”解決減震難題

芯片生產(chǎn)需要用到大量精密儀器，如光刻機(jī)、電子束裝置及電子顯微鏡等，設(shè)備處理線寬只有40納米甚至更低，稍有超出標(biāo)準(zhǔn)的震動(dòng)就會(huì)導(dǎo)致儀器在刻畫(huà)時(shí)出現(xiàn)偏差，使芯片報(bào)廢，甚至?xí)?dǎo)致精密儀器損壞，造成無(wú)法估量的損失。

“不解決這個(gè)技術(shù)壁壘，潔凈室做得再好也沒(méi)用?！壁w飛帶著技術(shù)團(tuán)隊(duì)一頭扎進(jìn)了會(huì)議室。他們發(fā)現(xiàn)微震產(chǎn)生的主要原因是廠房?jī)?nèi)部機(jī)器設(shè)備運(yùn)行、管道內(nèi)液體和氣體等在管道拐彎、變徑時(shí)等產(chǎn)生的震動(dòng)傳導(dǎo)，要想將微震控制在技術(shù)工藝標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi)，必須控制結(jié)構(gòu)力場(chǎng)的傳遞效率。經(jīng)過(guò)連續(xù)3天的反復(fù)論證研究，趙飛拿出了解決方案：與設(shè)計(jì)單位溝通，根據(jù)設(shè)備參數(shù)為設(shè)備設(shè)置減震臺(tái)座，設(shè)備與管道采用柔性連接，將風(fēng)管內(nèi)的空氣流速限定在9米每秒內(nèi)，管道內(nèi)的液體流速控制在2.5米每秒內(nèi)。

正當(dāng)大家以為這個(gè)方案一定能解決問(wèn)題時(shí)，實(shí)踐中出現(xiàn)的問(wèn)題給他們潑了一盆涼水，應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)了新的問(wèn)題：多根管道同用一個(gè)支架時(shí)，各管道之間的力場(chǎng)存在相互影響的情況，在對(duì)某一管道進(jìn)行抗微震處理時(shí)，其他管道會(huì)借機(jī)“拆臺(tái)”。

為了讓各管道間達(dá)到平衡狀態(tài)，趙飛帶著技術(shù)團(tuán)隊(duì)對(duì)項(xiàng)目所有與震源相連的管道進(jìn)行了抗微震計(jì)算，并創(chuàng)造性地采用了減震共架這一新型支架，為管道搭起減震的”臺(tái)子“。同時(shí)，結(jié)合計(jì)算得到的各類管道的抗微震數(shù)值，對(duì)管道進(jìn)行優(yōu)化排布，將項(xiàng)目微震環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)控制在振動(dòng)速度25微米每秒，成功達(dá)到了設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，保障了施工的順利實(shí)施。

兩年來(lái)，項(xiàng)目經(jīng)理趙飛帶領(lǐng)著一支“硬核”團(tuán)隊(duì)扎根建設(shè)一線，攻克了一項(xiàng)項(xiàng)行業(yè)前沿的工程技術(shù)難點(diǎn)，打造了一支特別有凝聚力和戰(zhàn)斗力的團(tuán)隊(duì)，實(shí)現(xiàn)了項(xiàng)目一期工程的順利投產(chǎn)，且由于過(guò)硬的技術(shù)和履約質(zhì)量，該團(tuán)隊(duì)又順利承接到該項(xiàng)目的二期擴(kuò)建工程，形成了以履約促市場(chǎng)的局面。未來(lái)，他們將繼續(xù)奮勇向前，創(chuàng)造更多的“世界一流”，不斷攻破技術(shù)壁壘，堅(jiān)持成功背后的執(zhí)著。