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    線上電子顯微鏡在面板顯示中的應(yīng)用

    2021-08-21 09:49:38韓志慧
    電子制作 2021年14期
    關(guān)鍵詞:電子顯微鏡異物分辨率

    韓志慧

    (天馬顯示科技有限公司,福建廈門,361101)

    0 引言

    近年來OLED和柔性顯示引領(lǐng)的高分辨率移動(dòng)顯示革命對新的顯示檢測技術(shù)提出了更高的要求。新一代高像素密度OLED顯示要求在亞微米分辨率檢測區(qū)域?qū)崿F(xiàn)快速、可靠、無損的全基板在線缺陷檢測[1–2]。對于新興柔性或者透明顯示,透明特性使傳統(tǒng)光學(xué)檢測能力面臨挑戰(zhàn)。面板像素尺寸越來越小,分辨率越來越高,自動(dòng)光學(xué)檢測(AOI)在小像素TFT關(guān)鍵缺陷檢測和一些受限測試要求中遇到性能不足問題,因?yàn)楣鈱W(xué)光源波長通常為幾百納米,當(dāng)缺陷達(dá)到光源波長尺度時(shí),衍射效應(yīng)會(huì)限制可分辨最小特征[3]。

    G6LTPS項(xiàng)目導(dǎo)入的應(yīng)用材料線上電子顯微鏡系統(tǒng),可以在不損傷面板的情況下,以行業(yè)最高分辨率和檢測效率進(jìn)行檢測。獨(dú)特的低電子技術(shù)經(jīng)證明[4],當(dāng)加速電壓≤1KV時(shí),不會(huì)對有機(jī)層或TFT器件造成影響。該線上電子顯微鏡,加速電壓工作范圍200V ~ 15kV,一般測試時(shí)工作電壓200V ~1KV。測試缺陷的成分時(shí)需要>1KV的工作電壓,但對TFT器件的影響僅限測試點(diǎn)所屬panel,對于玻璃大板其他panel并沒有影響,并不影響整個(gè)玻璃大板投入后段生產(chǎn)。該系統(tǒng)的電子束分辨率10nm,遠(yuǎn)高于人類的眼睛可以分辨出的最高分辨率,足以應(yīng)對VR/AR顯示技術(shù)路線圖的要求。

    1 線上電子顯微鏡系統(tǒng)的構(gòu)成及其工作原理

    如圖1所示,線上電子顯微鏡系統(tǒng)由Loadlock交換腔(含有兩層,上層進(jìn)片,下層排片)和CHA測試腔(單層)組成??勺詣?dòng)定位由其他檢測工具報(bào)告的缺陷和為監(jiān)控工藝選擇的感興趣區(qū)域。該系統(tǒng)可以檢測整張玻璃大板的任意位置,包括不同玻璃的同一位置。為減少設(shè)備占用空間,該系統(tǒng)使用兩個(gè)掃描電子顯微鏡頭,每個(gè)鏡頭集成一個(gè)EDX,使在線成分分析成為可能,如圖1。該系統(tǒng)的采集效率為<5s每張SEM圖,<10s每個(gè)EDX測量點(diǎn),自動(dòng)量測晶粒大小70s/點(diǎn)。

    圖1 線上電子顯微鏡系統(tǒng)示意圖

    2 測試方法

    線上電子顯微鏡系統(tǒng)的測試方法與傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡最大的不同是,不需要裂片制樣。如圖2所示,由AOI等檢測設(shè)備提供缺陷或異常的坐標(biāo),或者測試需求者提供感興趣的坐標(biāo)點(diǎn)位(如工藝監(jiān)控點(diǎn)),INLINE SEM根據(jù)坐標(biāo)將待測樣品移動(dòng)到SEM視野里,然后測試獲得SEM圖、EDX光譜、EDX元素匹配。通過系統(tǒng)自帶算法獲得晶粒尺寸,通過系統(tǒng)自帶工具,測得關(guān)鍵尺寸。測得數(shù)據(jù)可以自動(dòng)上拋數(shù)據(jù)庫,實(shí)現(xiàn)工藝監(jiān)控自動(dòng)化。

    圖2 線上電子顯微鏡系統(tǒng)測試方法示意圖

    3 結(jié)果與討論

    ■3.1 SEM缺陷觀察

    線上電子顯微鏡使LTPS、OLED和柔性顯示的顯示檢測行業(yè)進(jìn)入納米分辨率時(shí)代。在不損壞材料的情況下測量有機(jī)物的能力解決了行業(yè)面臨的一個(gè)關(guān)鍵問題:如何測量小尺寸有機(jī)物缺陷和殘留等。圖3(a)展示了電子束能量為1KeV的線上電子顯微鏡的檢測下,IC區(qū)ITO2光阻(PR)殘留SEM圖。兩根IC間存在PR殘留,容易造成后一道制程ITO2刻蝕不完整,留下ITO2刻蝕殘留。殘留的存在,可能造成后段IC綁定后兩根IC短接在一起,導(dǎo)致屏幕亂顯。PR殘留通常是曝光和顯影工藝未做好導(dǎo)致,監(jiān)控ITO2 PR殘留狀況有助于監(jiān)控ITO2曝光和顯影工藝。圖3(b)展示了電子束能量為1KeV的線上電子顯微鏡的檢測下,ITO2刻蝕后圖形,以及細(xì)密分布納米級別ITO刻蝕殘留顆粒。這些ITO殘留物是透明的,可以小到幾納米,對光學(xué)AOI完全不可見。而ITO2刻蝕殘留過多會(huì)導(dǎo)致不同像素間的ITO2短接在一起,造成屏幕顯示異常。監(jiān)控ITO2刻蝕后殘留狀況有助于監(jiān)控ITO2刻蝕工藝。

    圖3

    ■3.2 LTPS 晶粒尺寸計(jì)算

    LTPS–TFT由于其高遷移率和后續(xù)n型或p型摻雜離子注入形成CMOS的能力而被廣泛應(yīng)用于AMLCD和AMOLED[5]。LTPS是由準(zhǔn)分子激光退火處理(ELA)非晶硅工藝實(shí)現(xiàn)的。ELA具有成本競爭力,相對均勻,可擴(kuò)展到大尺寸玻璃,適合大規(guī)模生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)[6]。ELA后LTPS的電子遷移率是非晶硅的百倍。

    圖4 (a)展示了通過線上電子顯微鏡系統(tǒng)收集高分辨率SEM圖。高質(zhì)量的SEM圖像完全描繪了大規(guī)模生產(chǎn)ELA工藝下的真實(shí)LTPS形態(tài):不同形狀和高度的突起,不同大小晶粒合并組成的晶界,因?yàn)榫ЯH∠虿町惡途Я?nèi)相對光滑區(qū)域的不同而清晰可見。從詳細(xì)的形態(tài)學(xué)研究中可以提取出豐富的信息:單個(gè)晶粒的形狀反映了LTPS晶粒晶向情況:例如,(100)生長趨向于正方形,而(111)生長可能為六邊形。由于硅的電子輸運(yùn)具有強(qiáng)烈的取向依賴性,晶粒取向?qū)FT遷移率有重要影響[4,7]。

    圖4

    線上電子顯微鏡開發(fā)了兩種算法來評估關(guān)鍵的LTPS過程。通過GS(晶粒大小)算法計(jì)算視野(FOV)中每個(gè)單獨(dú)晶粒的大小,如圖4(b)所示。此外,GS算法還提供了平均晶粒大小,晶粒大小標(biāo)準(zhǔn)偏差等統(tǒng)計(jì)信息。晶粒大小分布情況如圖4(d)所示。

    通過組合GS和PC算法的計(jì)算結(jié)果實(shí)現(xiàn)LTPS ELA工藝在線監(jiān)控。只有在一定的ELA工藝下才有合適的硅結(jié)晶。圖4(e)展示了一個(gè)可能的ELA工藝監(jiān)控示意圖:隨著ELA能量密度的的增加,LTPS晶粒變得更有序/更大,突起變得越來越小,直到達(dá)到最佳能量密度(OED)。OED之后,晶種的成核不是從界面開始的,而是從膜體開始的,導(dǎo)致晶粒的有序度較低,突起數(shù)量較多[8]。在該工藝條件下,OED可以被認(rèn)為是GS或者PC的拐點(diǎn)。通過設(shè)置適當(dāng)?shù)淖兓秶珿S和PC可以用于LTPS ELA工藝在線監(jiān)控。特別是線上電子顯微鏡檢測周期可以縮短至1小時(shí)以內(nèi),可以及時(shí)反饋線上ELA 工藝的變化,有助于降低工藝波動(dòng)帶來的良率損失。

    ■3.3 線上電子顯微鏡在LCD的其他應(yīng)用案例

    PECVD工藝涵蓋了從玻璃上的阻擋層到活性層,再到鈍化層,再到OLED的最終薄膜封裝(TFE)層等廣泛的工藝過程。圖5和圖6展示了兩個(gè)典型的CVD異物,均來自PECVD制程。在線上電子顯微鏡EDX的支持下,異物和薄膜成分分析進(jìn)一步確認(rèn)了顆粒來源,例如,EDX光譜(圖5(b))展示了來自異物/Si–O/Si–N /Glass膜層中的C、Ca、N、O、Mg、Al、Si峰等。選則的元素匹配展示從左到右:N(來自異物,Si–N),O(來自異物,Si–O),Mg(來自玻璃),Al(來自玻璃)和Si(來自異物,Si–N,Si–O)。所以異物主要由N、O、Si構(gòu)成,是PECVD制程產(chǎn)生的。

    圖5

    圖6

    圖6 (a)展示了2layer CVD制程后一種典型異物的SEM圖。來自異物/Si–O/Si–N /Glass膜層中的C、N、O、F、Mg、Al、Si峰等。元素匹配展示從左到右:O(來自異物,Si–O),F(xiàn)(來自異物),Mg(來自玻璃),Al(來自異物)和Si(來自異物,Si–N,Si–O)。而Si、O、Al、F等最有可能來自與PECVD成膜腔的頂部擴(kuò)散板末期表面脫落物。這意味著備件壽命到了,需要更換。

    4 結(jié)論

    線上電子顯微鏡將半導(dǎo)體提升成品率的方法引入顯示領(lǐng)域,獨(dú)特的低能量、高分辨率的電子束可以檢測面板制程中的每一個(gè)工藝步驟。線上電子顯微鏡分辨率在納米級別,關(guān)鍵尺寸量測偏差在1%以內(nèi),晶粒尺寸計(jì)算結(jié)果能夠反映ELA工藝變化,基本滿足面板新型顯示亞微米級檢測要求。此外,無需裂片,異常反饋由3天縮短為1小時(shí)以內(nèi),工藝開發(fā)周期由一周縮短到一天,有助于快速提升良率和滿足市場新顯示需求,例如:增強(qiáng)和虛擬現(xiàn)實(shí)(AR,VR),智能車輛,新外形的顯示器等。展望未來,線上電子顯微鏡與FIB相結(jié)合,有望進(jìn)一步為顯示行業(yè)縮短異常反饋和工藝開發(fā)周期,極大地提升面板行業(yè)新技術(shù)應(yīng)用的響應(yīng)速度,提升行業(yè)競爭力。

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