曹明鵬 吳曉鵬? 管宏山 單光寶 周斌 楊力宏 楊銀堂
1) (西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院, 西安 710071)
2) (電子元器件可靠性物理及其應(yīng)用技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室, 廣州 510610)
隨著三維集成微系統(tǒng)集成度和功率密度的提高, 同時(shí)考察電設(shè)計(jì)與熱管理的多場耦合分析勢在必行.本文面向三維集成微處理器系統(tǒng), 通過改進(jìn)的對偶單元法(dual cell method, DCM)實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的快速電熱分析.該方法通過引入泄漏功率、材料系數(shù)隨溫度的耦合, 相比于傳統(tǒng)有限元法在更新以及組裝本構(gòu)矩陣上有更大的優(yōu)勢.仿真驗(yàn)證表明, 本文所采用的算法相比傳統(tǒng)有限元法仿真速度提升了約30%.在考慮了材料系數(shù)以及泄露功率熱耦合因素后, 系統(tǒng)熱點(diǎn)溫度相對于考慮耦合前上升了20.8 K.最后采用本文所提出算法對三維集成微處理器系統(tǒng)進(jìn)行布局研究, 比較了硅通孔陣列常規(guī)布局和集中布局在處理器核心下方兩種布局方式對上下層芯片熱點(diǎn)溫度的影響, 研究了功率不均勻分配對兩種布局的影響.
目前三維集成技術(shù)是延續(xù)摩爾定律引領(lǐng)集成電路發(fā)展走向后摩爾時(shí)代的有力解決方案[1].三維集成微系統(tǒng)具有高集成度、微小型化、低功耗、高可靠性和高效率等優(yōu)點(diǎn), 在邏輯計(jì)算處理、成像傳感和光集成等方面具有廣闊的應(yīng)用前景.但是三維集成技術(shù)同時(shí)導(dǎo)致了微系統(tǒng)內(nèi)單位面積上產(chǎn)生的熱功耗急劇增加.以處理器芯片為例, 目前CPU的功耗密度達(dá)到了100 W/cm2以上[2], 功率密度的增加和功率的不均勻分布共同導(dǎo)致了嚴(yán)重的熱問題.而這些熱問題反之對諸如泄露電流、電遷移、信號(hào)和電源完整性等電設(shè)計(jì)提出了諸多挑戰(zhàn).其中泄漏功率是目前處理器性能的最重要限制因素之一, 對于65 nm 及更先進(jìn)的工藝節(jié)點(diǎn), 泄漏功率占總功率的10%以上[3].泄漏功率與溫度呈指數(shù)關(guān)系, 因此泄漏功率將導(dǎo)致處理器發(fā)熱并進(jìn)一步增加泄漏功率本身.隨著溫度的變化, 在傳熱過程中材料的熱導(dǎo)率會(huì)發(fā)生改變, 從而對熱點(diǎn)溫度產(chǎn)生影響[4].綜上所述, 對高功耗三維集成微系統(tǒng)在設(shè)計(jì)初期進(jìn)行電熱耦合分析在確保系統(tǒng)可靠性方面具有至關(guān)重要的作用.
有限元法(finite element method, FEM)由于在復(fù)雜幾何形狀、材料建模方面具有極好的適應(yīng)性和精度, 因此常被用于電熱耦合的分析研究[5?11].為了使該算法更適于三維集成微系統(tǒng)分析, 在算法改進(jìn)方面開展了諸多研究工作.Lin 等[12,13]提出了一種芯片級(jí)泄漏感知方法, 采用交替方向隱式法結(jié)合芯片功率、工作頻率和電源電壓之間的各種電熱耦合, 預(yù)測芯片熱分布.該方法采用了等距網(wǎng)格,這雖然提升了計(jì)算速度, 但也同時(shí)導(dǎo)致精度下降.北京大學(xué)的Pi 等[14]提出了一種快速的3D-IC 熱管理全芯片規(guī)模數(shù)值模擬方法, 該法同時(shí)考慮了橫向和縱向散熱的緊湊型熱阻網(wǎng)絡(luò), 充分分析了硅通孔(through silicon via, TSV)、微凸塊和再分布層中的高導(dǎo)熱路徑.然而該研究所用的熱阻網(wǎng)絡(luò)無法獲得十分準(zhǔn)確的溫度場, 并且未考慮溫度帶來的耦合因素.Chai 等[15]開發(fā)了徑向點(diǎn)插值法, 并對TSV 陣列進(jìn)行了電熱耦合特性研究, 提高計(jì)算效率并降低了存儲(chǔ)成本, 加快了基于TSV 的3-D IC的電熱設(shè)計(jì).但是這項(xiàng)工作目前僅集中在TSV 模型上, 還無法對整個(gè)三維微系統(tǒng)進(jìn)行分析.Wang等[16]提出了一種動(dòng)態(tài)線性泄漏電流感知的全芯片熱估計(jì)方法.該算法將非線性熱模型轉(zhuǎn)換為多個(gè)局部線性熱模型, 并設(shè)計(jì)了一種自適應(yīng)降階法以提高效率.但線性泄露電流僅能運(yùn)用于瞬態(tài)仿真迭代,無法在穩(wěn)態(tài)迭代中使用.
針對以上研究中存在的問題, 本文提出了一種能夠快速計(jì)算電熱耦合的改進(jìn)對偶單元法(dual cell method, DCM).該方法在考慮了泄漏功率、材料系數(shù)與溫度的耦合關(guān)系的前提下, 將整體本構(gòu)矩陣分解為常數(shù)矩陣和溫變矩陣的乘積, 使得在每次溫變迭代過程中只需計(jì)算溫變矩陣.對比傳統(tǒng)FEM 中的單元傳熱矩陣, 改進(jìn)DCM 的溫變矩陣擁有更低的階數(shù), 在計(jì)算量和整體矩陣的組裝上有著顯著優(yōu)勢.通過仿真驗(yàn)證了在相同自由度下, 改進(jìn)DCM 比傳統(tǒng)FEM 具有更快的計(jì)算速度.最后面向三維集成微處理器系統(tǒng)基于改進(jìn)的DCM 對其進(jìn)行了電熱耦合分析, 并根據(jù)分析結(jié)果進(jìn)行布局優(yōu)化指導(dǎo), 對三維集成微系統(tǒng)的設(shè)計(jì)優(yōu)化具有一定的參考價(jià)值.
對偶單元法是一種基于傳統(tǒng)FEM 發(fā)展的代數(shù)方法, 通過FEM 的網(wǎng)格剖分, DCM 可以不通過微分方法而直接根據(jù)問題的物理場以及基本的幾何和拓?fù)涓拍疃x數(shù)值方案, 從而該算法更適用于實(shí)現(xiàn)快速計(jì)算[17,18].DCM 首先通過網(wǎng)格剖分得到初始單元, 并根據(jù)規(guī)則構(gòu)造對偶單元.之后通過單元對應(yīng)關(guān)系及本構(gòu)關(guān)系分別構(gòu)造拓?fù)渚仃嚭捅緲?gòu)矩陣, 最后組成線性方程組進(jìn)行求解.
DCM 求解傳熱問題的計(jì)算流程如圖1 所示,單元節(jié)點(diǎn)上的溫度T通過拓?fù)渌阕泳仃嘒表示成單元邊上的溫差γ.然后通過本構(gòu)關(guān)系利用溫差計(jì)算出對偶面上的熱通量Φ, 最后再將熱通量通過拓?fù)渌阕泳仃嘍轉(zhuǎn)化成對偶體上的整體發(fā)熱量q.
圖1 DCM 求解傳熱問題流程圖Fig.1.Flow chart of DCM solving heat transfer problem.
如圖2 所示, DCM 根據(jù)四面體單元的重心、4 個(gè)面的重心和6 個(gè)邊中點(diǎn)的連線構(gòu)建對偶空間[19,20].在單個(gè)四面體中, 每條邊對應(yīng)著一個(gè)對偶面, 如e2 對應(yīng)S2, 每個(gè)頂點(diǎn)對應(yīng)三個(gè)對偶面, 如A對應(yīng)S2,S3,S6.在單個(gè)頂點(diǎn)接觸的所有四面體中, 對應(yīng)該點(diǎn)的所有對偶面構(gòu)成對偶單元.
對于傳熱問題的研究, 首先定義節(jié)點(diǎn)溫度列陣T, 獲得以節(jié)點(diǎn)溫度之間的差值作為邊ei的溫差列陣.溫差列陣γ可表示為
同時(shí)兩個(gè)節(jié)點(diǎn)間的溫差γ也可以由單元溫度梯度g和邊向量L表示:
根據(jù)傅里葉定律, 熱通量Φ的表達(dá)式為
其中k為熱導(dǎo)率;J為熱流密度;表示對偶面的面積向量, 方向垂直于對偶面.結(jié)合(1)式、(3)式和(4)式可得四面體內(nèi)部對偶面的熱通量矩陣Φ為
圖2 對偶單元構(gòu)建過程Fig.2.The process of dual unit construction.
其中P為為邊矩陣的分塊陣;M為傳熱問題的本構(gòu)矩陣.
對于整體網(wǎng)格來說, 將所有對偶面上的熱通量相加即為整體節(jié)點(diǎn)載荷列陣q:
D為拓?fù)渚仃嘒轉(zhuǎn)置的負(fù)矩陣即D=?GT.結(jié)合(1)式、(5)式和(6)式可得整體傳熱方程為
隨著功率密度不斷增加, 芯片的整體溫度不斷上升, 所以對溫度上升導(dǎo)致的耦合分析變得至關(guān)重要.
由下式可知泄漏功率與泄漏電流成正比, 其中泄漏電流Ileak分為亞閾值泄漏電流Isub和柵極泄漏電流Igate:
其中柵極泄漏電流Igate對溫度并不敏感.
對于BSIM 4 的MOSFET 晶體管模型, 其亞閾值電流公式為(Vds?Vt)
其中K和η為相關(guān)工藝參數(shù);VT為熱電壓, 與溫度成正比;Vth為閾值電壓.
另外, 材料的熱導(dǎo)率是與溫度相關(guān)的函數(shù), 同時(shí)材料的溫度變化可以通過溫度的插值函數(shù)表示,可得熱導(dǎo)率公式如下:
其中cn為插值系數(shù), 具體數(shù)值參考文獻(xiàn)[4,10].
引入耦合項(xiàng)Isub(T) ,k(T) 后, (7)式的整體傳熱方程可改寫為與溫度相關(guān)的形式:
由(11)式可知, 在每次溫度迭代計(jì)算時(shí), 需要重新計(jì)算每個(gè)單元的本構(gòu)矩陣M(k(T)) 和載荷列陣q(Isub(T)) 并重新組裝.對于DCM, 每個(gè)單元本構(gòu)矩陣M為6 × 6 的矩陣, 相比于有限元4 × 4的傳熱矩陣K計(jì)算量更大, 組裝時(shí)間更長.因此本文對DCM 的整體傳熱方程做了進(jìn)一步的改進(jìn).(5)式中的本構(gòu)矩陣M(k(T)) 可以分解為
由(1)式可知在一個(gè)四面體單元中通過任意三條邊的溫差γ1,γ2,γ3可以計(jì)算得到另外三條邊的溫差.同時(shí)由(3)式可知, 求解列矩陣g3×1所需要的條件為矩陣L滿秩, 所以只需要三個(gè)互不相關(guān)的邊向量即可表示列陣g3×1
為了滿足本構(gòu)矩陣M的維度, 溫差列陣γ可以由三個(gè)溫差與三個(gè)0 元構(gòu)成, 邊矩陣L可由三個(gè)邊向量和3 × 3 的零方陣表示:
此時(shí)矩陣P為有效數(shù)據(jù)減少為9 個(gè).梯度陣g可表示為
最終可得整體傳熱方程為
基于野外調(diào)查,按代表性植被的分布在三處邊坡中選取草本植被、草灌植被、草灌喬植被各兩個(gè)樣地,樣地大小按1 m2(草本植被)、10 m2(草灌植被)和100 m2(草灌喬植被)設(shè)置,以S形在同一樣地內(nèi)采取5個(gè)樣品。采集0~10 cm土層原狀土,裝入鋁盒內(nèi)帶回實(shí)驗(yàn)室,風(fēng)干后,沿土壤自然結(jié)構(gòu)面人工剝成直徑為10~12 mm的小土塊,并剔除土中的植物根系及小石粒。
算法的整體耦合迭代流程如圖3 所示, 首先根據(jù)劃分的網(wǎng)格信息計(jì)算拓?fù)渚仃嘒S和G, 根據(jù)給定的初始溫度計(jì)算初始狀態(tài)下的亞閾值泄漏電流和熱導(dǎo)率, 并帶入計(jì)算本構(gòu)矩陣Pk(T) 和節(jié)點(diǎn)載荷q(Isub(T)).下一步將本構(gòu)矩陣和載荷帶入傳熱方程計(jì)算出該迭代步的溫度場分布Tnew.根據(jù)計(jì)算的溫度場更新本構(gòu)矩陣和節(jié)點(diǎn)載荷, 并帶入傳熱方程計(jì)算新的溫度場分布, 直到兩步迭代的結(jié)果小于設(shè)定的迭代截止精度tol.
圖3 迭代算法流程圖Fig.3.Flow chart of Iteration scheme.
本節(jié)采用改進(jìn)的對偶單元法研究三維集成微處理器系統(tǒng)在耦合情況下的溫度分布, 討論不同I/O 端口和TSV 陣列布局對疊層芯片熱點(diǎn)溫度的影響.圖4 所示為參考三星DRAM 和Intel i7 處理器芯片構(gòu)成的兩層堆疊微系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖[21].兩層芯片的尺寸均為10 mm × 10 mm, 襯底的尺寸為20 mm × 15 mm, 熱沉的尺寸為40 mm ×35 mm.芯片層的厚度為100 μm, 帶C4 凸塊的TIM 層厚度為100 μm, 帶微凸塊的TIM 層厚度為40 um.初始溫度和環(huán)境溫度為293 K, 熱對流系數(shù)為100 W·m–2·K–1.DRAM 和處理器的版圖布局如圖5 所示, 其中DRAM 被分為8 個(gè)Bank 區(qū),處理器芯片由4 個(gè)Core 構(gòu)成(從左到右分別記為Core1, Core2, Core3, Core4).在DRAM 芯 片 的I/O 區(qū)域中均勻分布了16 × 80 個(gè)TSV.為了能直觀表征Core 區(qū)和Bank 區(qū)的溫度, 選取如圖5中所示的黑色虛線為觀察芯片溫度分布的基準(zhǔn)線.根據(jù)DRAM 和處理器的典型工作狀態(tài), 本文在仿真中將DRAM 的工作功率設(shè)為2.82 W, 處理器工作功率設(shè)36 W, 其中四個(gè)核的總功率為26.5 W,整個(gè)微系統(tǒng)泄漏功率占比為12%[3,21].
圖4 三維集成微處理器系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖Fig.4.Schematic diagram of the three-dimensional integrated microprocessor system.
在保證精度的前提下為了降低仿真復(fù)雜度, 采用等效模型法對TSV 陣列進(jìn)行了等效處理, 通過插值法獲得等效區(qū)域各向異性的熱導(dǎo)率[22].當(dāng)處理器4 個(gè)核心功率均勻分布時(shí), 處理器和DRAM芯片上觀察基準(zhǔn)線上的溫度分布分別如圖6 所示.當(dāng)不考慮電熱耦合時(shí), FEM 求解得出的處理器和DRAM 芯片的熱點(diǎn)溫度分別為351.83 K 和346.64 K, DCM 求解得出的處理器和DRAM 芯片的熱點(diǎn)溫度分別為351.83 K 和346.63 K.改進(jìn)的DCM 與FEM 獲得的溫度曲線幾乎完全吻合,有著良好的一致性.在考慮電熱耦合時(shí), 發(fā)現(xiàn)用改進(jìn)的DCM 與FEM 仿真得到的處理器芯片與DRAM 芯片的熱點(diǎn)溫度為分別為373.64, 374.07 K和365.87, 366.24 K, 改進(jìn)的DCM 仿真相比于傳統(tǒng)FEM 誤差僅為0.53%和0.51%(仿真后溫度與初始溫度的差值進(jìn)行誤差計(jì)算, 下文同), 其精度滿足應(yīng)用要求.
圖5 工作區(qū)域分布圖 (a) DRAM 芯片; (b) Intel i7 處理器芯片F(xiàn)ig.5.Work area distribution map: (a) DRAM; (b) processor.
圖6 不考慮耦合與考慮耦合時(shí)芯片溫度分布 (a) DRAM; (b) 處理器Fig.6.Chip temperature distribution without considering coupling and considering coupling: (a) DRAM; (b)processor.
對比考慮電熱耦合前后的仿真結(jié)果, 發(fā)現(xiàn)在考慮電熱耦合因素之后兩個(gè)芯片的平均溫度均提高了約20 K.這是因?yàn)殡S著工作溫度的上升, 芯片泄漏功率急劇增大, 這使得芯片發(fā)熱量進(jìn)一步增大,形成溫度正反饋循環(huán), 這是影響三維集成微系統(tǒng)工作溫度的主要因素.同時(shí)材料的熱導(dǎo)率會(huì)隨著溫度的升高而降低, 使得結(jié)構(gòu)的導(dǎo)熱性能變差, 從而使得溫度再度升高, 因此在三維集成微系統(tǒng)的設(shè)計(jì)過程中, 綜合考慮電熱耦合對系統(tǒng)可靠性的影響是十分必要的, 否則存在低估系統(tǒng)工作溫度的風(fēng)險(xiǎn).
表1 FEM 與改進(jìn)DCM 的仿真時(shí)間對比Table 1.Simulation time comparison between FEM and improved DCM.
圖7 兩種不同的TSV 陣列布局 (a) 常規(guī)布局; (b) Core-布局Fig.7.Two different TSV array layouts: (a) Conventional layout; (b) core layout.
在三維集成電路中, 由于具有高熱導(dǎo)率的TSV陣列是溫度傳導(dǎo)的重要路徑, 因此I/O 端口中的TSV 陣列常被作為重要的散熱手段, 而TSV 陣列的Core-布局方式通常被認(rèn)為能夠有效的降低系統(tǒng)的熱點(diǎn)溫度[23].Core-布局的具體布局方式如圖7(b)所示, 即將DRAM 芯片中I/O 區(qū)域的TSV 陣列布局位置對應(yīng)上層處理器芯片4 個(gè)Core 的位置.在以往的研究中采用Core-布局結(jié)構(gòu)的上下層芯片功率相近, 使得兩層芯片的溫度變化連續(xù), 因此能夠使得上下層芯片的熱點(diǎn)溫度同時(shí)下降[23,24].而本文所考察的微處理器系統(tǒng)工作狀態(tài)中處理器功率遠(yuǎn)大于DRAM 的功率, 并且上下層芯片的熱點(diǎn)溫度相差接近8 K, 因此有必要重新評估Core-布局的可行性.
為了比較兩種布局的溫度分布, 首先將處理器的四個(gè)Core 功率設(shè)置為均勻分布, 采用改進(jìn)的DCM 對兩種布局結(jié)構(gòu)進(jìn)行電熱耦合仿真分析.如圖8 所示采用Core-布局結(jié)構(gòu)時(shí), 處理器芯片的熱點(diǎn)溫度下降了2.20 K.而與此同時(shí)圖9 所示DRAM芯片的熱點(diǎn)溫度為370.93 K, 相比3.1 節(jié)仿真得到的常規(guī)布局熱點(diǎn)溫度上升了4.30 K.這是由于TSV陣列作為重要散熱路徑, Core-布局結(jié)構(gòu)會(huì)將處理器高功率Core 區(qū)域產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)到下層, 使得處理器芯片溫度下降的同時(shí)讓DRAM 芯片的整體溫度上升.對比TSV 陣列常規(guī)布局的情況, Core-布局使得處理器芯片熱點(diǎn)溫度下降2.73%, 而使得DRAM 芯片的熱點(diǎn)溫度上升5.85%.考慮到高溫會(huì)導(dǎo)致DRAM 的晶體管電荷損失加快, 使得數(shù)據(jù)丟失.因此在選擇布局方式時(shí), 需要綜合考慮處理器芯片的降溫情況與DRAM 芯片的升溫情況.
圖8 兩種不同TSV 陣列布局時(shí)處理器的溫度分布Fig.8.Temperature distributions of processors with two different TSV arrays.
圖9 Core-布局時(shí)DRAM 溫度分布圖Fig.9.DRAM temperature distributions in core-layout.
表2 不同功率分配時(shí)仿真時(shí)間Table 2.Improving simulation time of DCM and FEM with different power allocation.
表3 不同功率分配下Core-布局相比于常規(guī)布局的芯片溫度變化Table 3.Chip temperature change of core layout compared with conventional layout under different power allocation.
在實(shí)際工作中, 多核處理器芯片在執(zhí)行事務(wù)時(shí)各個(gè)Core 會(huì)工作在不同功率下, 因此有必要結(jié)合不同的Core 功率分配情況, 對兩種布局結(jié)構(gòu)的熱分布對功率配比的敏感度進(jìn)行分析.圖10 給出了幾種典型的Core 功率分配情況, 4 個(gè)Core 的總功率值保持為26.5 W, 其中Case1 為大功率事務(wù)集中在單側(cè)兩個(gè)Core, Case2 為大功率事務(wù)交錯(cuò)分布, Case3 為大功率集中在外側(cè)Core, Case4 為大功率事務(wù)集中在中間兩個(gè)Core, Case5 為外側(cè)單個(gè)Core 大功率工作, Case6 為內(nèi)側(cè)單個(gè)Core 大功率工作.
基于本文所提出的改進(jìn)DCM 對不同功率分配情況下的DRAM 和處理器芯片的熱點(diǎn)溫度進(jìn)行了統(tǒng)計(jì)分析.幾種情況仿真時(shí)間如表2 所列, 在對兩種布局的仿真分析中, 改進(jìn)的DCM 與傳統(tǒng)FEM相比仿真速度提升了約30%.
結(jié)合圖11 和圖12 的統(tǒng)計(jì)結(jié)果, 發(fā)現(xiàn)處理器芯片在內(nèi)側(cè)核高功率的Case6 下熱點(diǎn)最高, 功率均勻分配時(shí)熱點(diǎn)溫度最低.DRAM 芯片在Case1 下的熱點(diǎn)溫度最高, 功率均勻分配時(shí)的熱點(diǎn)溫度最低.由此可見在Core 功率分布不均勻時(shí)會(huì)加劇熱點(diǎn)問題, 因此處理器工作時(shí)應(yīng)盡量保持各核功率分布均勻能有效降低整個(gè)微系統(tǒng)的熱點(diǎn)溫度.同時(shí)發(fā)現(xiàn)單側(cè)兩個(gè)Core 處理大功率事務(wù)的Case1 以及單核處理大功率事務(wù)的Case5, Case6 情況下, 整個(gè)微系統(tǒng)的熱點(diǎn)溫度均會(huì)顯著升高, 因此在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)盡量避免這種情況.
圖10 典型Core 功率分配情況Fig.10.Typical core power allocation.
在不同功率配比的情況下, TSV 陣列Core-布局對比常規(guī)布局的處理器芯片降溫與DRAM 芯片升溫情況如表3 所列.可以看出當(dāng)Core 功率不均勻分布時(shí), Core-布局對處理器芯片的降溫效果與功率均勻分布時(shí)相比有提升, 同時(shí)也加劇了DRAM芯片的升溫.比較功率均勻分布與降溫最多的Case5, 處理器芯片降溫效果提升了42.27%, 而DRAM 芯片的升溫上升了82.52%.因此Core-布局在功率不均勻分布時(shí), DRAM 芯片會(huì)受到更大影響.在設(shè)計(jì)三維集成微處理器系統(tǒng)時(shí), 若要降低整體系統(tǒng)的熱點(diǎn)溫度, 在采用Core-布局時(shí)需要考慮到DRAM 芯片能工作在容限溫度內(nèi).若要降低DRAM 芯片熱點(diǎn)溫度, 則需要將TSV 陣列即I/O端口布局在遠(yuǎn)離Core 的區(qū)域.
圖11 不同功率分配下處理器芯片最高溫度Fig.11.Maximum temperature of processor chip under different power allocation.
圖12 不同功率分配下DRAM 芯片最高溫度Fig.12.Maximum temperature of DRAM chip under different power allocation.
本文針對三維集成微系統(tǒng)的電熱耦合問題提出了一種改進(jìn)的DCM 算法.基于三維集成微處理器系統(tǒng)對所提算法進(jìn)行了仿真驗(yàn)證, 并對微系統(tǒng)的布局設(shè)計(jì)、功率分配進(jìn)行了分析討論.研究表明:本文提出的改進(jìn)DCM 能快速準(zhǔn)確地對三維集成微系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)建模計(jì)算, 在分析電熱耦合問題方面具有顯著的時(shí)間優(yōu)勢; 在考慮電熱耦合因素后, 微系統(tǒng)泄漏功耗上升, 材料熱導(dǎo)率下降, 熱點(diǎn)溫度對比耦合前上升約20 K, 表明了對三維集成微系統(tǒng)進(jìn)行電熱耦合分析的必要性; 在微系統(tǒng)布局設(shè)計(jì)方面, TSV 陣列的Core-布局雖然能夠降低處理器芯片的熱點(diǎn)溫度, 但卻同時(shí)惡化了DRAM 芯片的熱點(diǎn)問題, 在Core 功率不均勻分配時(shí)影響尤為嚴(yán)重.因此在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí), 要綜合考慮處理器和DRAM芯片的容限溫度來確定TSV 陣列布局方案.綜上所述, 本文提出的算法能快速分析三維集成微系統(tǒng)的電熱耦合問題, 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)熱點(diǎn)預(yù)測, 為微系統(tǒng)芯片布局設(shè)計(jì)提供理論指導(dǎo).