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    一種HF電子氣體深度純化材料的制備及應(yīng)用方法
    
                
    2021-04-04 19:52:56
    
                
    低溫與特氣 2021年2期 
    關(guān)鍵詞：高純氟化物本發(fā)明
    
                    
    申請(qǐng)(專(zhuān)利)號(hào)：202010296836.6
    公開(kāi)(公告)日：2021-04-09
    申請(qǐng)(專(zhuān)權(quán))人：浙江博瑞電子科技有限公司
    摘要:發(fā)明涉及高純氣體提純領(lǐng)域，具體關(guān)于一種HF電子氣體深度純化材料的制備及應(yīng)用方法；本發(fā)明制備了一種負(fù)載金屬氟化物活性炭材料AC/MFx·nH2O，運(yùn)用碳酰氟/高純氮?dú)饣旌蠚怏w流對(duì)該材料深度脫水后，得到一種HF電子氣體深度純化材料AC/MFx，該種材料具備氟化物，能夠形成結(jié)晶水，形成水合金屬氟化物，具備很強(qiáng)的吸水性能，而且無(wú)水氟化物和活性炭不存在被HF腐蝕的問(wèn)題，不會(huì)造成骨架結(jié)構(gòu)坍塌和反應(yīng)產(chǎn)物對(duì)HF的二次污染，用于對(duì)HF進(jìn)行高效除水具有純度高，水分含量極低的優(yōu)點(diǎn)。
    

    
                        
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