本期文章點(diǎn)評(píng)

■石巖-微半球諧振陀螺技術(shù)研究進(jìn)展

針對(duì)微半球諧振陀螺諧振結(jié)構(gòu)加工成形的難題，國(guó)內(nèi)外發(fā)展出各向同性刻蝕與沉積、玻璃熱膨脹加工和高溫噴燈吹制三種較為成熟的加工工藝。本文分析了三種工藝技術(shù)的特點(diǎn)，并對(duì)其未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了闡述，對(duì)微半球諧振陀螺技術(shù)研究者有很高的參考價(jià)值。

■蘇中-金屬殼諧振子研究進(jìn)展

金屬殼諧振陀螺具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功耗低、抗沖擊性強(qiáng)、量程大等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于中低精度角速度測(cè)量領(lǐng)域。作者從金屬殼諧振子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、理論建模、信號(hào)處理、耦合抑制等方面進(jìn)行了討論，針對(duì)性給出了微小型薄殼金屬諧振子構(gòu)型、諧振特性、耦合抑制的發(fā)展建議，可為微小型金屬薄殼諧振陀螺研制者提供有益參考。

■席翔-圓柱殼體振動(dòng)陀螺技術(shù)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)

本文作者介紹了圓柱殼體振動(dòng)陀螺研究現(xiàn)狀，并詳細(xì)介紹了材料特性、加工變形、精密機(jī)械平衡、測(cè)控技術(shù)等對(duì)圓柱殼體振動(dòng)陀螺性能的影響，并對(duì)其未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了討論。具有一定的參考價(jià)值。

■于家福-MEMS偏航角速度傳感器在旋轉(zhuǎn)導(dǎo)彈穩(wěn)定回路中的應(yīng)用

文中提出了一種新的MEMS偏航角速度傳感器技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)了對(duì)常規(guī)液浮陀螺或無(wú)驅(qū)動(dòng)陀螺的替代，解決了偏航角速度傳感器正交耦合、力學(xué)環(huán)境適應(yīng)性、波形畸變等問題，實(shí)現(xiàn)了旋轉(zhuǎn)導(dǎo)彈偏航角速度信號(hào)的精確測(cè)量，具有較強(qiáng)的工程價(jià)值。

■谷留濤-微半球陀螺測(cè)控電路國(guó)內(nèi)外現(xiàn)狀與關(guān)鍵技術(shù)

為了彌補(bǔ)制造缺陷以及適應(yīng)環(huán)境變化，微半球陀螺測(cè)控電路需要完成正交補(bǔ)償、模態(tài)匹配和溫度補(bǔ)償?shù)裙ぷ?。本文作者從Sigma-Delta電路、模態(tài)匹配、正交補(bǔ)償、溫度補(bǔ)償?shù)冉嵌冗M(jìn)行了詳細(xì)討論，對(duì)微半球陀螺電路設(shè)計(jì)有一定的技術(shù)參考價(jià)值。

■于翔宇-全角模式半球諧振陀螺振型控制與角度檢測(cè)

本文對(duì)全角模式半球諧振陀螺進(jìn)行了研究，介紹了全角模式半球諧振陀螺控制和信號(hào)處理方法與全角模式的實(shí)現(xiàn)。通過數(shù)字仿真與實(shí)物實(shí)驗(yàn)結(jié)果可知，本文所介紹的全角模式半球諧振陀螺系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)不依賴積分運(yùn)算的角度檢測(cè)功能，且動(dòng)態(tài)范圍有了一定的提高，為全角模式半球諧振陀螺提供一種控制和信號(hào)處理方法，適合于工程實(shí)際應(yīng)用。

■黎超-用于定位導(dǎo)航授時(shí)微終端的SoC系統(tǒng)設(shè)計(jì)

定位導(dǎo)航授時(shí)微終端（MPNTT）對(duì)處理器提出了高處理能力要求的同時(shí)，也要求其集成化、高精度、可擴(kuò)展。本文介紹了一種用于定位導(dǎo)航授時(shí)微終端的SoC系統(tǒng)設(shè)計(jì)，芯片單片實(shí)現(xiàn)ARM與FPGA的功能，為定位導(dǎo)航授時(shí)微終端系統(tǒng)微型化，進(jìn)一步降低功耗與集成面積，提供了有效解決途徑。

■馮文帥-基于波長(zhǎng)控制的光纖陀螺標(biāo)度因數(shù)溫度性能提高方法

光纖陀螺的標(biāo)度因數(shù)溫度性能與其光路、光源的多個(gè)參數(shù)相關(guān)，本文作者提出一種采用鉑電阻和橋路的簡(jiǎn)便補(bǔ)償辦法，實(shí)現(xiàn)了對(duì)全溫標(biāo)度因數(shù)誤差的有效補(bǔ)償。經(jīng)試驗(yàn)，全溫標(biāo)度因數(shù)誤差改善了近一個(gè)數(shù)量級(jí)，對(duì)于中低精度光學(xué)陀螺的批產(chǎn)具有重要的工程價(jià)值。

■莊須葉-微型化半球陀螺制備工藝發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢(shì)分析

半球陀螺的微型化是微機(jī)電陀螺領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)，作者對(duì)半球陀螺的微型化歷程進(jìn)行了綜述介紹，著重對(duì)微型化半球陀螺諧振器的結(jié)構(gòu)形態(tài)、工藝制備方法和材料選擇進(jìn)了對(duì)比和分析，并對(duì)各微型化途徑的特點(diǎn)進(jìn)行了討論和展望，具有較強(qiáng)的參考價(jià)值。

■蘇兆喜-基于玻璃-硅復(fù)合基板的微系統(tǒng)圓片級(jí)三維封裝

系統(tǒng)級(jí)的三維封裝已經(jīng)成為電子產(chǎn)品高度集成化、微型化、多功能化形勢(shì)下的必然趨勢(shì)。本文作者針對(duì)性提出基于玻璃回流方案實(shí)現(xiàn)慣性器件的三維封裝，并制作了埋入式慣性器件電極以及三維圓片級(jí)封裝原型，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明具有氣密性，并適合光電混合封裝，是一種容易實(shí)現(xiàn)并且有應(yīng)用前景的微系統(tǒng)三維封裝方法。

■徐志強(qiáng)-石英半球諧振子精密加工技術(shù)探討

石英半球諧振子作為半球諧振陀螺的核心零件，壁薄、形狀復(fù)雜、加工精度高、制造難度大，是制約半球諧振陀螺研制的關(guān)鍵之一。本文分析了半球諧振陀螺的結(jié)構(gòu)類型和特點(diǎn)，分析了石英半球諧振子粗磨成型、精密磨削、研磨拋光、化學(xué)腐蝕、質(zhì)量調(diào)平、表面鍍膜等加工方法及研究進(jìn)展，并提出了今后研究方向。

■馬志奎-石英半球諧振子精密成型技術(shù)

石英半球諧振子的制造屬于硬脆薄壁球殼狀異形三維結(jié)構(gòu)微應(yīng)力精密超精密制造，難度較大。本文以范成球面彈性展成為基礎(chǔ)，以均衡磨削原則、磨頭最大包絡(luò)原則和三階段37道工序的精細(xì)優(yōu)化工藝流程，較好地解決了高精度微應(yīng)力硬脆石英振子異形薄壁件的成型問題，具有重要的工程參考價(jià)值。

■劉寧-極端瞬態(tài)力作用下金屬殼諧振陀螺結(jié)構(gòu)強(qiáng)度分析

金屬殼諧振陀螺極端瞬態(tài)力作用下的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度分析是研究其抗過載能力的關(guān)鍵，本文作者利用有限元仿真方法，研究了極端瞬態(tài)力作用下金屬殼諧振陀螺的應(yīng)力分布，給出了金屬殼諧振陀螺抗過載能力與結(jié)構(gòu)參數(shù)之間的關(guān)系，有助于實(shí)現(xiàn)金屬殼諧振陀螺抗過載結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。

■莊須葉-硅半球深腔結(jié)構(gòu)無(wú)損檢測(cè)技術(shù)

半球深腔的加工質(zhì)量是決定硅基MEMS半球陀螺精度的關(guān)鍵因素之一，但卻沒有對(duì)半球深腔形貌特征進(jìn)行測(cè)量的有效辦法。本文作者提出一種將硅半球形深腔的結(jié)構(gòu)尺寸和表面形貌轉(zhuǎn)移到PDMS半球模型上的無(wú)損檢測(cè)手段，實(shí)現(xiàn)了測(cè)量不準(zhǔn)確度優(yōu)于5‰，具有重要的工程參考價(jià)值。

■艾力·庫(kù)爾班-GPS/BDS組合定位精度分析

本文從衛(wèi)星可見性、精度因子、定位精度和均方根誤差等方面對(duì)GPS、BDS及兩者組合定位系統(tǒng)的定位性能、精度進(jìn)行了詳細(xì)比較。測(cè)試結(jié)果表明采用GPS/BDS組合定位較單一GPS和BDS系統(tǒng)定位方法能有效提高定位精度，對(duì)開展GNSS高精度導(dǎo)航定位研究具有參考價(jià)值。

■路小燕-改進(jìn)的Sage-Husa自適應(yīng)濾波算法在MEMS航姿參考系統(tǒng)中的應(yīng)用

針對(duì)經(jīng)典Kalman濾波和擴(kuò)展Kalman濾波融合算法存在的計(jì)算量大、精度低、實(shí)時(shí)性差的缺點(diǎn)，文章引入了改進(jìn)的Sage-Husa自適應(yīng)擴(kuò)展Kalman濾波算法，對(duì)濾波器發(fā)散進(jìn)行有效的抑制、減少了算法計(jì)算量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明了該算法的可靠性、精確性以及自適應(yīng)能力。