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    生產(chǎn)彩色濾光片用材料簡介

    2019-04-07 17:44:24郭景
    科技創(chuàng)新導(dǎo)報(bào) 2019年31期
    關(guān)鍵詞:靶材洗劑玻璃

    郭景

    摘? ?要:液晶顯示器的背光源發(fā)出白光,而想要獲得彩色顯示,必須依靠顯示關(guān)鍵材料——彩色濾光片實(shí)現(xiàn)。彩色濾光片的制作目前在國內(nèi)已相對成熟,生產(chǎn)所需的材料種類較多,本文比較全面地介紹了生產(chǎn)彩色濾光片需要使用的各主材種類,如玻璃、光阻、洗劑、靶材等。對各材料的主要成份進(jìn)行介紹,并且針對各主材在生產(chǎn)彩色濾光片時需要管控的關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)做出了論述。

    關(guān)鍵詞:玻璃? 光阻? 洗劑? 靶材

    中圖分類號:TN141? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?文獻(xiàn)標(biāo)識碼:A? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 文章編號:1674-098X(2019)11(a)-0094-02

    1? 玻璃基板

    玻璃基板主要成份為硼鋁硅酸鹽無堿玻璃,以SiO2、Al2O3、B2O3為主要構(gòu)成氧化物,另外,包含CaO、MyO、SrO等,堿金屬含量不大于1%。主要管控參數(shù)有基本尺寸、基板厚度、直角度、翹曲度、垂度、波紋度、外觀缺陷等。

    2? 玻璃清洗劑

    主要成份有KOH或者NaOH、螯合劑、表面活性劑等。在評價(jià)過程中需要管控濃度配比,對設(shè)備是否有腐蝕,能否對該化學(xué)品廢液環(huán)保處理,泡沫產(chǎn)生量不能超標(biāo)。確認(rèn)清洗效果,即清洗后的玻璃基板,表面接觸角是否達(dá)標(biāo)、顆粒物去除率、指紋臟污、玻璃碎渣清洗狀況、產(chǎn)線良率等,通過AOI檢測機(jī)臺對上述數(shù)據(jù)進(jìn)行確認(rèn)。

    3? Coater洗劑

    (1)目前業(yè)內(nèi)常用的有PGME(99.99%丙二醇甲醚)和PGMEA與PGME混合物(30%丙二醇甲醚醋酸酯+70%丙二醇甲醚),還有一種以環(huán)己酮為主成分的洗劑 ,市場占比較少,但對于光阻材料本身含有環(huán)己酮的材料來說,使用該類洗劑清洗效果更佳。

    (2)Coater洗劑的用途介紹。Coater洗劑主要用在涂布機(jī)的清潔上。首先在光阻涂布過程中吐出定量的洗劑以潤濕slit nozzle;第二,用于dip cleaning,在dip槽內(nèi)始終保證有coater洗劑,供slit nozzle涂布動作結(jié)束后立即浸泡,保證nozzle頂端不能干燥,避免發(fā)生光阻結(jié)塊;第三,清洗silt nozzle,設(shè)備管道吐出適量洗劑對nozzle頭頂部徹底清洗,確保無光阻殘留;第四,用于priming roller清洗,保證光阻涂布品質(zhì)正常。

    (3)評價(jià)一款與光阻、設(shè)備匹配的Coater洗劑對彩色濾光片的生產(chǎn)至關(guān)重要。品質(zhì)一般或較差的溶劑,對光阻顏料的分散性比較差,造成顏料在基板表面附著并凝聚,洗凈困難,附著的顏料變成dust,發(fā)生二次污染。品質(zhì)優(yōu)良的溶劑能夠很好的做到,第一對光刻膠中的顏料樹脂的溶解性優(yōu)良;第二保持對顏料良好的分散性,不易凝結(jié)。

    4? BM光阻

    (1)BM光阻制成的BM圖層首先是起到將RGB像素完全圍住,使圖像清晰、提高contrast的作用;第二,該圖層遮蔽TFT ARRAY基板上的液晶驅(qū)動用電極的光;第三,防止RGB混色。BM光阻就是一種遮光材料,是BM圖層具有遮光的作用。

    (2)BM光阻材料主要由C、樹脂、有機(jī)溶劑、光開始劑、顏料分散劑等構(gòu)成,各成分作用如表1所示。

    (3)評價(jià)BM光阻材料時首先需要確認(rèn)基本規(guī)格參數(shù)是否符合要求。確認(rèn)光阻涂布方式是否與該BM光阻匹配,光阻粘度,固形份,接觸角,殘膜率,表面均勻度,感度,分辨率,阻抗值,SEM形態(tài)等?;咎匦源_認(rèn)合格后進(jìn)行測試實(shí)驗(yàn),首先是設(shè)備方面需要驗(yàn)證涂布工藝,pre-bake參數(shù),曝光,顯影,烘烤條件-time等工藝是否適用。其次需要確認(rèn)制作產(chǎn)品的膜厚、CD、段差、OM、SEM等關(guān)鍵特性值數(shù)據(jù)能否滿足規(guī)格要求,在公差要求范圍內(nèi)。上述基本特性符合要求后還要進(jìn)行信賴性能測試,主要有耐熱性、耐化性、溶解度、PCT附著力測試等。

    5? R/G/B彩色光阻

    (1)RGB色層的作用就是利用光的加色混合、光的3原色,通過RGB這三種顏色的組合,形成幾乎所有的顏色,從而達(dá)到畫面彩色顯示的效果。RGB光阻主要由顏料、染料、樹脂、有機(jī)溶劑、光開始劑、顏料分散劑等構(gòu)成。R/G/B材本身料的主要管控特性有固形分、粘度、色度、對比度、現(xiàn)象速度、殘膜率等。

    (2)評估RGB光阻時首先要確認(rèn)的與BM光阻相同,需要確認(rèn)與設(shè)備工藝的適配性。而后才是實(shí)驗(yàn)測試、特性參數(shù)確認(rèn)、信賴性能測等。其需要特別管控的關(guān)鍵特性項(xiàng)目有色度、CD、膜厚、SEM形貌、信賴性、溶解性等。

    6? PS光阻

    (1)PS光阻的作用是控制cell gap。過去的cell gap是通過散布Plastic Beads來形成的,主要缺點(diǎn)有:第一,Plastic Beads部由于液晶被排除,顯示部成為非動作部,造成contrast低;第二,由于顯示部有beads,透過率低;第三,產(chǎn)生因beads移動而造成的cell gap缺陷?,F(xiàn)在的panel構(gòu)造將Plastic Beads變更為PS柱的方式,解決了contrast、透過率低等問題。

    (2)PS材料的基本特性主要管控膜厚、線寬、位置精度、彈性特性。總變形量大,復(fù)原率高的PS光阻較為優(yōu)秀。評價(jià)方式與BM、RGB光阻基本相同,只是特性管控項(xiàng)目不同。

    7? ITO靶材

    ITO靶材是將銦錫原物料制作成納米級粉末顆粒,經(jīng)過粉末燒結(jié),粉末加工,成型,bonding,燒結(jié)等工序形成的陶瓷品。ITO靶材有平面靶和旋轉(zhuǎn)靶,旋轉(zhuǎn)靶材的使用率大,壽命長,可以減少客戶換靶周期。主要的管控項(xiàng)目有純度、密度、雜質(zhì)含量、綁定率、靶材段數(shù)等項(xiàng)目。在評價(jià)靶材的過程中需要確認(rèn)靶材的利用率、透過率、阻抗、外觀,使用狀況,使用過程有無異常問題發(fā)生。

    8? 結(jié)語

    彩色濾光片的技術(shù)發(fā)展方向取決于下游LCD面板應(yīng)用需求。終端應(yīng)用產(chǎn)品不斷追求更輕、更薄、高畫質(zhì)顯示,彩色濾光片逐步向高亮度、高對比度、高色彩飽和度、高分辨率方向發(fā)展。因此,對生產(chǎn)彩色濾光片的各類材料要求也會不斷提高,尤其是光阻類材料。

    參考文獻(xiàn)

    [1] 廖燕平.薄膜晶體管液晶顯示器顯示原理與設(shè)計(jì)[M].北京:電子工業(yè)出版社,2016.

    [2] 田民波.TFT液晶顯示原理與技術(shù)[M].北京:科學(xué)出版社,2016.

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