柔性透明的高性能濕度傳感器

國際知名學(xué)術(shù)期刊Small 發(fā)表了中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所超晶格國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研究員沈國震課題組的一項(xiàng)研究成果——一種柔性透明的高性能濕度傳感器（Flexible Smart Noncontact Control Systems with Ultrasensitive Humidity Sensors, DOI: 10. 1002/smll.201902801）。

該傳感器基于MoO3納米片，采用低成本、簡便的溶液方法合成，對外部相對濕度表現(xiàn)出出色的靈敏度，濕度從0%RH變?yōu)?00%RH時(shí)電流變化了5個(gè)數(shù)量級。此外，傳感器具有快速響應(yīng)（＜0.3s）和恢復(fù)時(shí)間（＜0.5s），還表現(xiàn)出長期穩(wěn)定性（＞1個(gè)月），并且具有很好的機(jī)械靈活性。

同時(shí)，研究人員開發(fā)了一種可穿戴濕度分析系統(tǒng)，用于環(huán)境濕度監(jiān)測和非侵入性人體呼吸監(jiān)測。此外，該濕度傳感器的遠(yuǎn)程非接觸式交互式傳感特性被應(yīng)用于非接觸式多級開關(guān)和柔性非接觸控制屏幕兩個(gè)人機(jī)交互系統(tǒng)中。

這項(xiàng)研究為基于氧化物納米材料的濕度傳感器在智能人機(jī)交互系統(tǒng)方面提供了巨大的應(yīng)用前景和可行性工藝。