壓電傳感器
2019-02-17 13:07:26
傳感器世界 2019年3期
申請?zhí)? 201810176129
【公開號】CN108419189A
【公開日】2018.08.17
【分類號】H04R17/00
【申請日】2018.03.02
【申請人】美律電子(深圳)有限公司
【發(fā)明人】陳振頤;張朝森;蔣鎧宇;彭瑞欽
【摘 要】一種壓電傳感器，包括：基材、壓電層及加強結構。基材具有腔室。壓電層配置于基材上且包括位移區(qū)、多個感測區(qū)、多個縫隙、多個上電極及多個下電極。位移區(qū)位于腔室上方；多個感測區(qū)環(huán)繞連接于位移區(qū)的外緣且位于腔室上方；多個縫隙分別成形于多個感測區(qū)中任兩相鄰的感測區(qū)之間，各縫隙連通腔室；多個上電極分別配置于各感測區(qū)的頂面；多個下電極分別配置于各感測區(qū)的底面；加強結構配置于位移區(qū)的底部。
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