尹志堯和他的中國“芯”

高榮偉

“要做就做世界第一，做中國第一也會(huì)被別人替代！”

他在硅谷從事半導(dǎo)體行業(yè)二十多年，專注于等離子體刻蝕設(shè)備的研發(fā)，個(gè)人擁有60多項(xiàng)專利，一度做到美國應(yīng)用材料公司副總裁。功成名就之后，他出人意料地選擇回國，只因當(dāng)年一句誓言，“學(xué)成只為他日歸來，報(bào)效祖國！”他，就是中微半導(dǎo)體設(shè)備公司董事長兼CEO尹志堯。

硅谷最有成就的華人之一

尹志堯出生在北京，大學(xué)畢業(yè)后在甘肅蘭州煉油廠和中科院系統(tǒng)工作了近十年。1978年，“不安分”的他考入北京大學(xué)化學(xué)系念碩士。在那里，他目睹了當(dāng)時(shí)國內(nèi)最先進(jìn)的計(jì)算機(jī)，內(nèi)存只有128K，卻占了兩棟大樓，“里面裝著數(shù)不清的電子管”。此情此景讓他夜不能寐，改變中國半導(dǎo)體狀況的想法在他心里涌動(dòng)：“中國的電腦要擁有內(nèi)存更多、運(yùn)行更快的芯片！”

1980年，在父親的鼓勵(lì)下，尹志堯前往美國加利福尼亞大學(xué)洛杉磯分校攻讀博士學(xué)位。此后，尹志堯一直在硅谷打拼。一開始，他在英特爾公司工作，負(fù)責(zé)電漿刻蝕業(yè)務(wù)。

在英特爾，尹志堯如魚得水。期間，他經(jīng)常與科林公司打交道，而他的任務(wù)之一，就是給對方的刻蝕機(jī)找毛病。在此過程中，尹志堯的才華給對方留下了深刻的印象，于是，科林極力邀請他加盟。

這是一個(gè)困難的抉擇。英特爾初露王者之相，而科林成立不到六年，因?yàn)闃I(yè)績不佳正在大幅裁員。出人意料的是，尹志堯選擇了科林?！耙苍S是對方的困境激起了我內(nèi)心勇于接受挑戰(zhàn)、敢于戰(zhàn)勝自我的基因?！币緢蚧貞浾f。在科林，尹志堯不負(fù)眾望，短短數(shù)年便開發(fā)出一系列成功的產(chǎn)品，幫助科林?jǐn)孬@全球40%的市場。

這時(shí)，昔日被挑落馬下的霸主美國應(yīng)用材料公司，也向這個(gè)青年才俊拋出了橄欖枝。尹志堯沒有猶豫，果斷接受邀請，迎接下一個(gè)人生挑戰(zhàn)。

1991年，尹志堯來到全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司——美國應(yīng)用材料公司擔(dān)任副總裁。應(yīng)用材料公司是為電子行業(yè)提供納米制造技術(shù)方案的全球領(lǐng)先企業(yè)，在這里，尹志堯參與了刻蝕機(jī)的研發(fā)工作。眾所周知，刻蝕機(jī)是芯片制造的三大核心設(shè)備，加工精度在納米級，相當(dāng)于在一根頭發(fā)絲幾千分之一的尺度上，蓋幾十層高樓，或者搭一座立交橋，難度可想而知。

幾年后，戲劇性的一幕出現(xiàn)了，刻蝕機(jī)市場的天平再一次向美國應(yīng)用材料公司傾斜，尹志堯和同伴們所開發(fā)的產(chǎn)品，在這個(gè)領(lǐng)域占了全世界幾乎50%的份額。在美國應(yīng)用材料公司，他一干就是14年，先后獲得了86項(xiàng)專利，被譽(yù)為“硅谷最有成就的華人之一”。

學(xué)成只為他日歸來

2004年，尹志堯已經(jīng)60歲，但他毅然放棄了美國的百萬年薪，攜30人的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)踏上了回國之路。尹志堯的歸國之舉震驚了硅谷同行。臨行前，美國政府清查了他們所有的電腦和600多萬個(gè)文件。

在上海，尹志堯創(chuàng)辦中微半導(dǎo)體設(shè)備公司，任董事長兼CEO?；貒鴦?chuàng)業(yè)并非易事。為了籌資，他跑遍所有可能注資的機(jī)構(gòu)和企業(yè)，卻沒能拿回一分錢。當(dāng)時(shí)，國內(nèi)對這種幾十億砸不出個(gè)水花的行業(yè)既不熟悉，也不感冒。無奈之下，他只好求助于硅谷。結(jié)果，短短兩周，數(shù)十家風(fēng)投機(jī)構(gòu)就踏破門檻。

此情此景，讓一心報(bào)國的尹志堯情何以堪：難道只有美國人能造出刻蝕機(jī)？不甘心讓外資控股的尹志堯，將眾多急于入股的風(fēng)投拒之門外，帶著3900萬美元回到國內(nèi)。

當(dāng)時(shí)，信息技術(shù)正在引領(lǐng)新一輪技術(shù)革命浪潮，芯片的研發(fā)對于中國信息化至關(guān)重要。如果說在工業(yè)化時(shí)代，鋼鐵是工業(yè)的“糧食”，那么在信息化時(shí)代，芯片就是現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”。然而，有人開玩笑說，中國什么都不缺，但是很缺“芯”。中國的芯片行業(yè)除了水和空氣以外，其他全是從國外進(jìn)口的。

半導(dǎo)體芯片是當(dāng)今尖端制造的制高點(diǎn)，刻蝕機(jī)是芯片制造及微觀加工的最重要設(shè)備之一，由于行業(yè)競爭激烈，幾十年前，這個(gè)領(lǐng)域有近三十個(gè)玩家，后來只剩下兩三個(gè)。中微如果不能在競爭中壯大，就只能等死。

尹志堯說：“要做就做世界第一，做中國第一也會(huì)被別人替代！”在半導(dǎo)體行業(yè)，尹志堯是少有的既懂技術(shù)，又擅長經(jīng)營的公司掌舵人。早在中學(xué)時(shí)，他就展現(xiàn)出過人的組織能力，先后做過六年少先隊(duì)和共青團(tuán)工作；到了美國，又發(fā)起成立硅谷中國工程師協(xié)會(huì)，并擔(dān)任前兩任主席。這為他創(chuàng)業(yè)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

回國僅三年，尹志堯團(tuán)隊(duì)就開發(fā)出了第一臺國產(chǎn)的生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的設(shè)備——等離子體刻蝕機(jī)，在業(yè)內(nèi)首次采用雙反應(yīng)臺，效率比國外同類產(chǎn)品高出30%以上。

對此，美國公司感到難以置信，作為龍頭老大的應(yīng)用材料公司“理所當(dāng)然”地認(rèn)為，“尹志堯肯定是偷了我們的技術(shù)，當(dāng)初他們肯定私藏了圖紙和資料。”于是對中微半導(dǎo)體提起專利訴訟。

對此，尹志堯早有準(zhǔn)備，回國之際，他就要求團(tuán)隊(duì)，“不許攜帶老東家的任何文件和資料?！泵绹鴳?yīng)用材料公司的律師團(tuán)隊(duì)氣勢洶洶來到中微檢查之后，并未發(fā)現(xiàn)任何“盜竊”證據(jù)，只好與中微握手言和。這件事導(dǎo)致中微的國際信譽(yù)大增。

有人說，中微半導(dǎo)體研發(fā)的中國大陸第一臺等離子體蝕刻機(jī)，為關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域注入了一顆奔騰的中國“芯”。不過，這還只是開始。

沒過多久，中微又推出第二代產(chǎn)品，將刻蝕和除膠整合在一臺設(shè)備里，再次顛覆了行業(yè)慣例。芯片代工巨頭臺積電布局7納米工藝時(shí)，在全球遴選了五家設(shè)備供應(yīng)商，中微是大陸唯一入選的企業(yè)?？涛g機(jī)7納米制程是目前人類能夠在大生產(chǎn)線上制造出的最小集成電路布線間距，接近了微觀加工極限。

成功實(shí)現(xiàn)第一個(gè)目標(biāo)

當(dāng)所有的巨頭還在為10納米、7納米技術(shù)大肆進(jìn)軍的時(shí)候，中微正式宣布掌握5納米技術(shù)。在迄今為止人類開發(fā)的最復(fù)雜的技術(shù)上，中微終于突破了外企壟斷的局面。這是中國半導(dǎo)體歷史上最重要的一筆，也是中國半導(dǎo)體技術(shù)第一次比肩世界領(lǐng)先水平。

5納米技術(shù)，是一個(gè)什么概念？“利用微雕技藝在米粒上刻字，一般能刻200個(gè)字已經(jīng)是極限，而我們的等離子刻蝕機(jī)在芯片上的加工工藝，相當(dāng)于可以在米粒上刻10億個(gè)字。”尹志堯這樣形容。

2015年2月，美國商務(wù)部宣布，解除等離子刻蝕機(jī)對中國的出口限制，理由是中國已經(jīng)可以生產(chǎn)相同水平的設(shè)備。而迫使美國政府做出這一決定的，正是尹志堯。

憑借占地面積小、產(chǎn)出效率高、質(zhì)量過硬的特點(diǎn)，中微的產(chǎn)品已經(jīng)成功打入英特爾、臺積電等一線大廠的生產(chǎn)線，并奪得國內(nèi)35%的市場。不僅如此，中微還將自己的產(chǎn)品線拓展至硅通孔、傳感器等領(lǐng)域，為意大利、法國半導(dǎo)體、博世等傳感器巨頭提供先進(jìn)的設(shè)備。

“15年追趕，20年超越”是被譽(yù)為“半導(dǎo)體國產(chǎn)設(shè)備教父”的尹志堯2004年由硅谷歸國時(shí)設(shè)立的目標(biāo)。如今十多年過去了，中微芯片技術(shù)已與國外同行水平比肩。據(jù)了解，目前，中微開發(fā)的等離子體刻蝕機(jī)已經(jīng)進(jìn)入了國際最先進(jìn)的7納米芯片生產(chǎn)線，并將進(jìn)入5納米的試生產(chǎn)，成功實(shí)現(xiàn)了第一個(gè)目標(biāo)。

中微半導(dǎo)體從事的刻蝕設(shè)備研發(fā)擁有良好的市場前景?！暗?020年，僅芯片前端設(shè)備的市場規(guī)模就將達(dá)到300億美元至400億美元?！币緢蛘f，“我們統(tǒng)計(jì)，2016年到2020年，國內(nèi)共有998億美元總投資，半導(dǎo)體設(shè)備投資為748億美元。其中，等離子體刻蝕設(shè)備投資大約為134.7億美元，中微的刻蝕機(jī)可以分得相當(dāng)大的份額?！?/p>

尹志堯自豪地說，未來，中國將會(huì)變成世界上主要芯片生產(chǎn)制造基地之一。對此，我們充滿信心。