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      TFT-LCD制程中成盒工藝段常見不良淺析

      2018-12-18 11:09:22北京京東方顯示技術(shù)有限公司CELL技術(shù)部王海成董天松朱載榮
      電子世界 2018年23期
      關(guān)鍵詞:滴下涂覆液晶

      北京京東方顯示技術(shù)有限公司CELL技術(shù)部 王海成 董天松 馬 亮 朱載榮

      本文綜述了國內(nèi)最先進(jìn)的第8.5代TFT-LCD生產(chǎn)線的成盒工藝。針對(duì)聚酰亞胺(Polyimide,PI)配向膜涂覆、摩擦(Rubbing)取向、液晶滴下注入(One Drop Filling,ODF)工藝造成的常見不良進(jìn)行了闡述與分析,為以后相關(guān)問題的研究與解決提供了實(shí)際指導(dǎo)。

      1 概述

      TFT-LCD是一種新興的高科技行業(yè),因體積小、低功耗、重量輕、美觀等優(yōu)勢(shì)而獲得了廣泛的關(guān)注和研究。隨著大尺寸液晶電視的普及,TFT LCD面板生產(chǎn)廠商之間的競(jìng)爭(zhēng)也越來越激烈。為了應(yīng)對(duì)液晶電視大尺寸化的趨勢(shì)及更高的切割效率,各個(gè)廠商均加大了高世代生產(chǎn)線的投入(邱永亮,李榮玉,顧筠筠.TFT-LCD制造過程中的盒厚控制工藝研究[J].現(xiàn)代顯示,2008,89:33-36)。隨之而來的則是產(chǎn)品良率的挑戰(zhàn)。

      在TFT-LCD制造過程中,成盒工藝決定了產(chǎn)品大部分品質(zhì)。在陣列(Array)基板與彩膜(Color Filter,CF)基板成盒完了,Array、CF工藝品質(zhì)會(huì)在成盒工藝中進(jìn)一步被評(píng)價(jià),同時(shí)成盒工藝也會(huì)導(dǎo)致盒厚不均或底色不均等各種Mura類不良和異物(Particle)類不良。其中代表性的不良有聚酰亞胺(Polyimide,PI)配向薄膜、摩擦(Rubbing)、液晶滴下(ODF)工藝過程中導(dǎo)致的不良。本文就目前生產(chǎn)過程中常見的工藝問題進(jìn)行一定的分析,為其他新產(chǎn)品在實(shí)際生產(chǎn)中可能遇到的問題提供解決思路。

      2 液晶屏成盒過程

      對(duì)成盒工藝常見不良分析研究前,了解成盒過程是必不可少的。對(duì)于高世代大尺寸生產(chǎn)線,一般的成盒工藝流程如圖1所示。

      圖1 成盒工藝流程圖

      成盒工藝主要分為三道工藝過程,具體如下:

      (1)PI涂覆工藝。首先,將均勻散布襯墊料(Spacer)的彩膜(CF)基板和陣列(Array)TFT基板經(jīng)過清洗(Cleaning)處理,去除表面附著的異物(Particle,P/T);然后,經(jīng)過PI配向膜涂覆機(jī)將PI涂覆在基板上;最后,經(jīng)過預(yù)固化(Pre Cure)、本固化(Main Cure)后形成PI取向膜。

      (2)Rubbing取向工藝。將涂覆完P(guān)I的CF基板與TFT基板進(jìn)行Rubbing,形成密集的深淺、寬窄不一的溝槽,這些納米級(jí)的溝槽會(huì)使液晶分子長軸都能沿著一個(gè)方向有規(guī)則的排列(李海燕,陳亮,李晉紅.液晶玻盒結(jié)構(gòu)中PI層摩擦定向的實(shí)現(xiàn)[J].現(xiàn)代顯示,2012,23(6):50-52)。此外,PI取向膜經(jīng)過摩擦產(chǎn)生的溝槽還能夠使液晶分子在排列時(shí)具有一定的預(yù)傾角(Tilt Bias Angle,TBA),預(yù)傾角的大小主要取決于Rubbing強(qiáng)度和PI材料本身電化學(xué)性質(zhì)(夏子琪.TFT-LCD制造工藝中White Mura的消除[D].天津:天津大學(xué),2010)。

      (3)ODF工藝。將Rubbing后的TFT基板和CF基板進(jìn)行Cleaning處理,去除流品過程中引入的異物類雜質(zhì),烘干后分成兩條線同時(shí)進(jìn)行ODF工藝步驟(車春城,王丹,李軍建.TFT-LCD取向?qū)庸に嚰瓣P(guān)鍵參數(shù)[J].現(xiàn)代顯示,2006,9:20-24)。一般情況下,CF基板進(jìn)行封框膠涂覆工藝,TFT基板進(jìn)行液晶滴下工藝。將涂覆好的CF基板翻轉(zhuǎn)180°,在真空對(duì)位壓合工序(Vacuum Aligner System,VAS)將其與已滴加液晶的TFT基板對(duì)盒,最后經(jīng)過紫外固化(UV Cure)、老化(Heat Cure)后就完成了液晶屏成盒過程。

      下面針對(duì)以上三道工藝中常見的品質(zhì)不良進(jìn)行闡述與分析。

      3 聚酰亞胺涂覆工藝

      目前,主要的PI配向膜涂覆方式有版銅滾輪涂覆法(Roller Coating)和噴墨印刷法(Inkjet Printer)。第8.5代生產(chǎn)線采用Inkjet Printer方式,如圖2所示。此種涂覆方式具有PI液利用率高、涂覆圖形(Pattern)可自行編制、不同型號(hào)間可快速切換及設(shè)備質(zhì)量輕、占地面積小等優(yōu)勢(shì),因此,在高世代生產(chǎn)線中得到了普遍應(yīng)用。

      圖2 噴墨印刷法

      通常Inkjet Printer設(shè)備由多個(gè)頭部單元(Head Unit)構(gòu)成,每個(gè)Head Unit又由成百個(gè)噴頭(Nozzle)組成。在涂覆過程中,將PI液通過Nozzle以墨水(Ink)點(diǎn)滴的形式滴在玻璃基板上,然后經(jīng)過Per Cure、Main Cure后形成PI膜。

      在成膜過程中,由于Ink點(diǎn)滴具有很強(qiáng)的流動(dòng)性,在固化之前的形態(tài)直接影響PI膜品質(zhì),從而引發(fā)了一系列品質(zhì)不良,成為生產(chǎn)過程中亟待解決的問題。下面就此種涂覆方式造成的品質(zhì)不良給予介紹與解析。

      3.1 Mura類不良

      Mura源于日語,主要是指在同一灰階下出現(xiàn)明暗不均的現(xiàn)象。PI涂覆過程中出現(xiàn)的Mura主要包括:(1)PI涂覆異常造成的頭部單元(Head)間Mura、PI周邊Mura;(2)由于PI固化過程中支撐頂針(Pin)造成PI擴(kuò)散異常出現(xiàn)的Pin Mura(Chia-Hsuan Tai,Yuan-Hung Tung,Yu-Sheng Huang,et al.New Drying Process without Pin-Mura for Ink-Jet Alignment Layer Printing of Large-Sized LCDs[C]//.SID’09 digest,p.1330,2009)。

      Head間Mura主要表現(xiàn)為在基板涂覆方向上出現(xiàn)貫穿整張基板的直線Mura,不良現(xiàn)象如圖3所示。我們對(duì)正常區(qū)域與異常區(qū)域分別選取了三個(gè)點(diǎn)進(jìn)行了PI膜厚測(cè)量,發(fā)現(xiàn)異常區(qū)域PI膜厚較薄,具體測(cè)試數(shù)據(jù)如表1所示。通過對(duì)異常區(qū)發(fā)生位置進(jìn)行設(shè)備對(duì)應(yīng)性比較,我們發(fā)現(xiàn)異常區(qū)域位置與Head單元Nozzle位置一一對(duì)應(yīng),當(dāng)進(jìn)行Head更換后,不良現(xiàn)象消失。

      圖3 Head間Mura示意圖

      表1 PI配向膜厚度測(cè)試

      PI周邊Mura主要是指在同一灰階畫面下,基板周邊出現(xiàn)的明暗不均的Mura現(xiàn)象,如圖4所示。此不良通常是由于PI涂覆時(shí)周邊PI膜過厚造成液晶取向異常導(dǎo)致。

      PI周邊Mura主要是指在同一灰階畫面下,基板周邊出現(xiàn)的明暗不均的Mura現(xiàn)象,如圖4所示。此不良通常是由于PI涂覆時(shí)周邊PI膜過厚造成液晶取向異常導(dǎo)致。

      對(duì)于PI配向工藝而言,由于PI配向膜在進(jìn)行預(yù)固化時(shí),外邊界受熱面積大使得溶液濃度較內(nèi)部的PI液濃度高,從而造成內(nèi)部溶液向周邊處擴(kuò)散,聚合固化后形成較高的PI配向膜,此PI配向膜變化的區(qū)域被業(yè)內(nèi)稱為Halo區(qū),如圖5所示(王海成,董天松,鄭英花,等.TFT-LCD制程中Zara點(diǎn)狀不良的產(chǎn)生與改善研究[J].液晶與顯示,2013,28(5):707-710)。一般情況下,PI Halo區(qū)域位于有效顯示區(qū)(Active Area,A-A區(qū))外側(cè),不會(huì)影響A-A區(qū)內(nèi)液晶取向效果,但當(dāng)PI周邊涂覆出現(xiàn)波動(dòng)時(shí),此區(qū)域容易進(jìn)入A-A區(qū)或距離A-A區(qū)較近,致使周邊液晶分子取向異常,出現(xiàn)PI周邊Mura現(xiàn)象。此時(shí)需要重新調(diào)試涂覆設(shè)備,保證涂覆穩(wěn)定性來解決此不良。

      圖4 PI周邊Mura現(xiàn)象示意圖

      圖5 Halo區(qū)示意圖

      Pin Mura主要表現(xiàn)為點(diǎn)狀不良,一般宏觀可見,不良現(xiàn)象如圖6所示。由于LCD工藝對(duì)玻璃基板的平整度及熱均一性要求很高,當(dāng)涂有PI的基板進(jìn)行預(yù)固化時(shí),固定Pin引起了基板形變,當(dāng)通過紅外加熱腔(IR Chamber)預(yù)固化時(shí),此位置處的PI受熱異常,造成PI膜均一性差,從而導(dǎo)致了此不良的發(fā)生。為此我們從設(shè)備方面及工藝方面進(jìn)行了改善。我們?cè)赑re Cure設(shè)備中引入了移動(dòng)Pin方式,減少了同一位置處Pin與基板的接觸時(shí)間,有效的降低了基板變形量,保證了基板受熱的均一性(Chia-Hsuan Tai,Yuan-Hung Tung,Yu-Sheng Huang,et al.New Drying Process without Pin-Mura for Ink-Jet Alignment Layer Printing of Large-Sized LCDs[C]//.SID’09 digest,p.1330,2009)。同時(shí),PI液預(yù)固化程度也直接影響了Pin Mura的發(fā)生。通過對(duì)預(yù)固化時(shí)間及溫度的測(cè)試,我們找出了不同型號(hào)PI液最優(yōu)的預(yù)固化條件,有效的解決了此不良。

      圖6 Pin Mura不良示意圖Fig.6 Schematic of Pin Mura

      3.2 污漬類不良

      污漬(Stain)類不良,主要是指在同一灰階畫面下,出現(xiàn)形狀不規(guī)則、區(qū)域不固定、類似污漬的現(xiàn)象,如圖7所示。PI涂覆過程中產(chǎn)生的Stain類不良包括:(1)PI涂覆異常產(chǎn)生的基板(Panel)內(nèi)部Stain;(2)PI液預(yù)固化異常產(chǎn)生的周邊Stain。

      Panel內(nèi)部Stain主要與Inkjet設(shè)備涂覆的PI液滴點(diǎn)間距(Dot Pitch)及Coating方向有關(guān)。以TFT-FFS型常黑模式,對(duì)角線尺寸為23.6 Inch產(chǎn)品為例,我們進(jìn)行了不同PI Dot Pitch,不同涂覆方向的對(duì)比,具體測(cè)試Split數(shù)據(jù)如表2所示。通過對(duì)比我們發(fā)現(xiàn),當(dāng)涂覆Dot Pitch大,沿著數(shù)據(jù)線方向Coating時(shí),不良發(fā)生率最低。我們分析認(rèn)為,當(dāng)Dot Pitch小時(shí),液滴密度大,固化過程中相互影響造成擴(kuò)散速度慢,直接影響了擴(kuò)散效果,從而造成了不良的發(fā)生;另外,考慮到Array基板上的數(shù)據(jù)線(Data Line)數(shù)量遠(yuǎn)多于柵極線(Gate Line),在各層膜厚段差相同的情況下對(duì)PI擴(kuò)散的阻礙作用相對(duì)較大,故沿著Data Line方向進(jìn)行涂覆較為有利。當(dāng)然,不同的產(chǎn)品之間設(shè)計(jì)上存在差異,具體還需要考慮不同產(chǎn)品設(shè)計(jì)方面的因素。

      圖7 污漬示意圖

      表2 內(nèi)部Stain測(cè)試條件

      Coating角度a:0°為沿著柵極線方向,90°為沿著數(shù)據(jù)線方向。

      周邊Stain主要與基板預(yù)固化時(shí)的周邊受熱不均有關(guān)。由于Pre Cure設(shè)備是通過紅外加熱板(IR Flat Heater)進(jìn)行加熱,通過熱的凈化空氣(Clean Dry Air,CDA)將揮發(fā)的溶劑排出,如圖8所示。A側(cè)為基板進(jìn)入與排出口,B側(cè)為CDA進(jìn)氣口與混合氣體排氣口。當(dāng)基板進(jìn)行加熱時(shí),揮發(fā)的溶劑與CDA組成的混合氣體流向腔體兩側(cè),通過B側(cè)排氣口排出。此時(shí),如果混合氣體得不到及時(shí)排放,容易匯聚到腔體周圍,形成擾動(dòng)氣流,影響了熱交換的進(jìn)行,直接導(dǎo)致了周邊受熱不均,因而造成了周邊PI膜預(yù)固化異常,產(chǎn)生周邊Stain。我們通過對(duì)Pre Cure設(shè)備調(diào)整,將周邊擋板(Shutter)打開,使混合氣體能夠及時(shí)排出,并且通過對(duì)進(jìn)排氣速度、溫度的控制保證了基板受熱的均一性,有效的解決了此不良。

      圖8 Pre Cure示意圖

      4 摩擦取向工藝

      光配向技術(shù)尚未成熟的今天,對(duì)IPS系列顯示器制造工藝中,摩擦取向工藝是成盒工藝中最關(guān)鍵又最難攻破的一道工藝。工藝進(jìn)行過程中摩擦取向的好壞程度一般用摩擦強(qiáng)度和摩擦均勻性來直接評(píng)價(jià)。其評(píng)價(jià)方法較為簡(jiǎn)單,一般用設(shè)備上的摩擦扭矩和摩擦壓入量來判斷。如果摩擦強(qiáng)度不夠或摩擦強(qiáng)度不均勻會(huì)導(dǎo)致液晶分子配向力不夠,進(jìn)而導(dǎo)致局部漏光(Domain)或底色不均等Mura類不良。所謂該工藝難,是因?yàn)樵谥圃齑笮统叽顼@示面板過程中,即使局部發(fā)生摩擦不均,也會(huì)顯現(xiàn)為Mura類不良,而且這些摩擦不均現(xiàn)象如果不加電信號(hào)是看不見的。下面就此工藝中的常見不良進(jìn)行解析。

      4.1 Rubbing Mura類不良

      Rubbing Mura主要是由于部分區(qū)域摩擦取向不均勻?qū)е拢ㄊ炖?楊國波,程石,等.Zara漏光和Rubbing Mura改善研究[J].液晶與顯示,2012,27(2):208;烏日娜,沈冰,彭增輝,等.摩擦強(qiáng)度對(duì)取向膜表面液晶取向度的影響[J].液晶與顯示,2002,17(6):450-455)。不良現(xiàn)象如圖8所示。通常引起摩擦取向異常的原因有:(1)摩擦工藝進(jìn)行時(shí)設(shè)備發(fā)生振動(dòng);(2)機(jī)臺(tái)(Stage)平坦度不均或Stage和摩擦滾輪之間的平行度不好;(3)摩擦滾輪或摩擦布本身異常,如:在摩擦輥制作中,由于繞布機(jī)(Winding Machine)出現(xiàn)設(shè)備波動(dòng)造成繞布間隙(Winding Gap)異?;蚰Σ敛急砻娓街愇?;(4)摩擦布受摩擦基板影響或基板表面Pattern影響而變形等,如圖9中現(xiàn)象。

      圖9 Rubbing Mura示意圖

      4.2 Zara類不良

      Zara源于日語,多指液晶面板在暗態(tài)畫面下顯示區(qū)域發(fā)生的微小漏光現(xiàn)象。在適用PI Inkjet工藝的液晶顯示器制造過程中,Rubbing工藝所產(chǎn)生的Zara類不良一般是由于摩擦強(qiáng)度過大。在這里引入摩擦強(qiáng)度(Rubbing Strength,RS)的定義(鄭文軍.摩擦強(qiáng)度對(duì)薄膜表面形態(tài)的作用:原子力顯微鏡下的觀察[J].液晶與顯示,2002,17(6):422-427):

      式中,N表示摩擦次數(shù),H表示絨毛壓入深度Depth,R表示輥輪半徑,ω表示輥輪轉(zhuǎn)速,υ表示機(jī)臺(tái)的移動(dòng)速度。當(dāng)摩擦強(qiáng)度過大時(shí),摩擦布容易對(duì)PI膜表面造成損傷產(chǎn)生PI碎屑,散落在基板上形成亮點(diǎn)狀不良(王海成,董天松,鄭英花,等.TFT-LCD制程中Zara點(diǎn)狀不良的產(chǎn)生與改善研究[J].液晶與顯示,2013,28(5):707-710)。此時(shí)需要對(duì)影響摩擦強(qiáng)度的機(jī)臺(tái)速度,輥輪轉(zhuǎn)速,絨毛壓入量等參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,從而找出最優(yōu)的摩擦參數(shù)。

      5 ODF工藝

      由于ODF技術(shù)在縮短工藝時(shí)間和提高液晶利用率等方面具有明顯優(yōu)勢(shì),因此G4.5代LCD生產(chǎn)線都開始采用該技術(shù)(楊國波,王永茂,王向楠,等.ODF工藝中液晶滴下量的優(yōu)化[J].液晶與顯示,2011,26(3):324-328)。相對(duì)于傳統(tǒng)真空灌注技術(shù),ODF技術(shù)對(duì)工藝要求更高,在封框膠(Sealant)涂覆、液晶滴注、真空對(duì)盒過程中均有可能出現(xiàn)不良,直接影響畫面品質(zhì)。下面就此段工藝的常見不良進(jìn)行介紹與解析。

      5.1 漏液晶類不良

      漏液晶(LC Leak)類不良,主要是指周邊液晶對(duì)Sealant沖擊造成封框膠斷開引起的液晶泄露的現(xiàn)象(楊國波,王永茂,王向楠,等.ODF工藝中液晶滴下量的優(yōu)化[J].液晶與顯示,2011,26(3):324-328)。通常引起此不良發(fā)生的原因有:(1)Sealant本身涂覆異常引起LC Leak。當(dāng)涂覆異常時(shí),如Seal寬度窄或截面積小時(shí),在進(jìn)行VAS時(shí),液晶從斷膠處泄露從而產(chǎn)生LC Leak;(2)液晶滴入量過多導(dǎo)致的LC Leak。在液晶盒完成對(duì)盒后,Array基板與CF基板間距縮短,液晶量越大越容易使液晶與Sealant接觸,造成液晶污染并在對(duì)盒時(shí)對(duì)周邊產(chǎn)生更大的沖擊力,將周邊Sealant沖斷后形成LC Leak;(3)VAS到UV Cure過程異常導(dǎo)致的LC Leak。當(dāng)對(duì)盒完成后,如果液晶盒延遲進(jìn)行UV固化,流動(dòng)的液晶就會(huì)與未固化的Sealant接觸造成液晶污染,同時(shí)可能引起LC Leak不良的發(fā)生。所以,通過加強(qiáng)對(duì)涂膠工序、滴液晶工序及過程時(shí)間的管控可以有效降低漏液風(fēng)險(xiǎn),將不良率控制在合理的范圍內(nèi)。

      5.2 盒厚類不良

      盒厚類不良,主要是指對(duì)盒過程中受到外界壓力引起盒厚發(fā)生變化,且無法恢復(fù),由此造成部分區(qū)域或明或暗的現(xiàn)象(封賓,林鴻濤,王章濤,等.液晶面板Black-Gap不良的分析研究[C]//.2012中國平板顯示學(xué)術(shù)會(huì)議文集,深圳:北京京東方顯示技術(shù)有限公司,2012:247-250)。通常造成此不良發(fā)生的原因較多,與生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品設(shè)計(jì)及材料選取等方面密切相關(guān)。本文只針對(duì)成盒工藝中出現(xiàn)的盒厚不良進(jìn)行粗略解析。

      成盒工藝造成的盒厚類不良原因主要包括:(1)LC滴下量多少的影響。通常LC滴下量是根據(jù)盒厚設(shè)計(jì)值、面內(nèi)段差等因素預(yù)先設(shè)定的,由于設(shè)計(jì)值與實(shí)際值的偏差,盒厚往往會(huì)存在1%左右的誤差,但此誤差是可以接受的(邱永亮,李榮玉,顧筠筠.TFT-LCD制造過程中的盒厚控制工藝研究[J].現(xiàn)代顯示,2008,89:33-36)。由于LC滴下量對(duì)盒厚有著最直接的影響,因此對(duì)滴下精度的控制就顯得尤為重要。當(dāng)LC量多時(shí),會(huì)造成重力Mura。所謂重力Mua,是指當(dāng)Panel豎立放置時(shí),過多的液晶在重力條件下向下流淌,在底部堆集產(chǎn)生的現(xiàn)象;當(dāng)LC量少時(shí),會(huì)出現(xiàn)低溫氣泡(Bubble)狀不良。(2)LC Pattern滴下位置的影響。不同的LC Pattern滴下位置直接影響了面內(nèi)盒厚的均一性。比較常用的LC Pattern有菱形Pattern、矩形Pattern等,針對(duì)各個(gè)產(chǎn)品設(shè)計(jì)不同,選擇的Pattern也各有差異,但需要注意的是,LC Pattern位置不宜與Sealant太近,否則容易出現(xiàn)漏液晶類不良并造成LC污染。(3)外圍邊框膠的影響。在基板成盒時(shí),為防止盒內(nèi)外基板應(yīng)力差異影響盒厚均一性,往往在外圍設(shè)計(jì)輔助封框膠(Dummy Seal),而Dummy Seal的開閉方式、與基板內(nèi)主導(dǎo)封框膠(Main Seal)距離遠(yuǎn)近直接影響了周邊基板應(yīng)力,進(jìn)而影響周邊盒厚。但由于不同尺寸產(chǎn)品在基板上排布的數(shù)量與位置不同,所以需要綜合考慮Dummy Seal的設(shè)計(jì)。

      5.3 Zara類不良

      ODF工藝中產(chǎn)生的Zara類漏光包括:(1)對(duì)盒偏差導(dǎo)致的對(duì)位漏光(Zara Align);(2)上下玻璃基板內(nèi)部互相摩擦而導(dǎo)致Panel內(nèi)部PI膜層輕微劃傷而導(dǎo)致的漏光現(xiàn)象,此類不良容易發(fā)生在大尺寸Panel的角落部分(Zara Domain(Corner))(史秋飛,鄭英花,朱載榮,等.邊角Zara +Domain及其改善研究[J].液晶與顯示,2012,27(3):770-773)或PS對(duì)應(yīng)位置。

      Zara Align主要表現(xiàn)為像素(Pixel)周邊明顯發(fā)亮。產(chǎn)生此不良的原因有很多,例如,對(duì)盒工藝中由于設(shè)備波動(dòng)造成Array基板與CF基板對(duì)位出現(xiàn)偏差;Array或CF基板整體尺寸精度(Total Pitch,TP)沒有校準(zhǔn)好;Panel玻璃表面彎曲變形所導(dǎo)致的Pixel Align Shift等。此時(shí)需要加強(qiáng)對(duì)盒工藝和Array、CF TP管控,保證良好的對(duì)位精度。

      Zara Domain主要是由于液晶盒經(jīng)過老化爐后,LC未得到充分?jǐn)U散,CF基板上的PS與Array基板上的PI摩擦導(dǎo)致取向膜損壞,影響了液晶取向,因而產(chǎn)生了此不良。此類不良在120℃,Oven 2小時(shí)(液晶重新排列取向)后會(huì)消失,可以通過變更不良發(fā)生位置的LC Pattern的方法預(yù)防(封賓,林鴻濤,王章濤,等.液晶面板Black-Gap不良的分析研究[C]//.2012中國平板顯示學(xué)術(shù)會(huì)議文集,深圳:北京京東方顯示技術(shù)有限公司,2012:247-250)。

      6 結(jié)術(shù)語

      我們已經(jīng)對(duì)成盒工藝中常見不良進(jìn)行了介紹與解析。對(duì)于一些尚待解決的不良還需要進(jìn)一步研討,本著客觀負(fù)責(zé)的原則和態(tài)度,本文中未進(jìn)行介紹。

      我們相信,隨著產(chǎn)品設(shè)計(jì)水平與工藝能力的不斷進(jìn)步,LCD行業(yè)中出現(xiàn)的品質(zhì)不良均可以得到解決,為此我們將繼續(xù)努力。

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