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    充油MEMS壓力傳感器研制

    2018-08-23 08:54:12盛文軍陳叢錢江蓉胡國俊
    中國設(shè)備工程 2018年16期
    關(guān)鍵詞:充油電橋膜片

    盛文軍,陳叢,錢江蓉,胡國俊

    (中國電子科技集團(tuán)公司第三十八研究所,安徽 合肥 230088)

    壓力傳感器廣泛應(yīng)用于航空航天、軍工、鐵路交通、管道等各種工業(yè)自控環(huán)境。隨著工業(yè)自動(dòng)化水平的不斷提高,高精度、高可靠性壓力傳感器的需求也越來越大。目前應(yīng)用較為廣泛的壓力傳感器為陶瓷壓力傳感器,這種傳感器精度較差,無法滿足高端領(lǐng)域的傳感器應(yīng)用需求。充油MEMS壓力傳感器,是一種基于MEMS技術(shù)的壓阻式壓力傳感器。MEMS壓力傳感器芯片整個(gè)密封在硅油當(dāng)中,外部壓力介質(zhì)直接接觸波紋膜片。基于這種原理,本文開發(fā)了一種MEMS充油壓力傳感器,能夠?qū)崿F(xiàn)較高的壓力測量精度,具有良好的可靠性,可以兼容液體、氣體等各種工作介質(zhì)。

    1 傳感器結(jié)構(gòu)

    充油MEMS壓力傳感器基本結(jié)構(gòu)如圖1左所示,壓環(huán)和基座的材料為316不銹鋼,不銹鋼波紋膜片直接感受外部工作介質(zhì)的壓力,三者通過激光焊接在一起?;筒y膜片構(gòu)成的密封腔體內(nèi)充有液態(tài)導(dǎo)壓介質(zhì)硅油,傳導(dǎo)由波紋膜片所感測的外部介質(zhì)壓力。MEMS壓力傳感芯片通過貼片膠粘貼于充油芯體基座上,芯片引腳利用引線鍵合工藝連接在插針上,從而實(shí)現(xiàn)外部電氣連接。硅油傳導(dǎo)至芯片上的壓力,由芯片上高精度半導(dǎo)體壓阻條構(gòu)成的惠斯通電橋轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)。本充油MEMS壓力傳感器采用開環(huán)MEMS壓力芯片,并在底部設(shè)置了一個(gè)溫度補(bǔ)償電路板,對(duì)MEMS芯片的原始信號(hào)進(jìn)行模擬溫度補(bǔ)償。如圖1中所示,為充油MEMS壓力傳感器完成實(shí)物圖,溫度補(bǔ)償電路板的外層進(jìn)一步包覆了橡膠,進(jìn)一步提高可靠性,引針也由軟導(dǎo)線引出,方便傳感器OEM組裝。開環(huán)MEMS壓力芯片的正面基本結(jié)構(gòu)示意如下圖1右所示:感壓膜上分布有四個(gè)P型壓阻,由Al導(dǎo)線互聯(lián)形成開環(huán)惠斯通電橋,并將信號(hào)由Pad引出。

    2 傳感器原理

    MEMS壓阻式壓力傳感器利用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)和硅薄膜良好的彈性,采用硅微機(jī)械加工制造工藝制成。硅薄膜表面有通過擴(kuò)散工藝制成的半導(dǎo)體力敏電阻,Ra、Rb、Rc和Rd,如圖2所示,硅薄膜受壓形變時(shí)Ra和Rc阻值變大,Rb和Rd阻值變小,阻值變化與硅薄膜應(yīng)力為線性相關(guān),為了提高滿量程輸出電壓、減少零點(diǎn)溫度漂移、提高線性度等,4個(gè)力敏電阻作為橋臂電阻連接成惠斯通電橋形式,電橋輸入端+In和-In之間為恒流供電I0,+Out和-Out之間為電橋輸出V0,關(guān)系可表示為:

    圖1

    當(dāng)彈性膜片受到外界壓力時(shí),薄膜兩側(cè)將有壓差形成,膜片會(huì)發(fā)生變形,使得膜片上的四個(gè)力敏電阻阻值發(fā)生變化,此時(shí)電橋就會(huì)失去平衡,將會(huì)有電壓輸出。

    由于4個(gè)橋臂電阻的初始值相同R,變化值也相同,以上可簡化為:

    傳感器高溫下會(huì)產(chǎn)生零點(diǎn)和靈敏度溫漂,為了保證測量精度,提高傳感器的溫度穩(wěn)定性,如圖2所示,在惠斯通電橋內(nèi)加了平衡電阻R1、R2、R3、R4和R5進(jìn)行兩點(diǎn)溫度補(bǔ)償。R1、R2為零點(diǎn)溫漂修正電阻,與Ra或Rb并聯(lián)之后的等效溫度系數(shù)變小,補(bǔ)償零點(diǎn)溫度系數(shù),R3、R4為電橋平衡電阻,使傳感器的零點(diǎn)輸出為零,R5為靈敏度溫度補(bǔ)償電阻,并聯(lián)在電橋一側(cè),對(duì)電橋供電電流進(jìn)行分流,從而對(duì)靈敏度溫漂進(jìn)行補(bǔ)償。

    圖2

    3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及討論

    將設(shè)計(jì)的充油MEMS壓力傳感器進(jìn)行功能驗(yàn)證(量程范圍1MPa,表壓),測試其在不同溫度、壓力下的精度及可靠性。(1)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。根據(jù)壓力傳感器性能測試的需求,搭建了壓力傳感器的性能測試平臺(tái)。平臺(tái)主要有高低溫箱、壓力氣路、鋼瓶氣源、壓力控制器、高精度電流源以及高精度電壓表。鋼瓶氣源的氣體經(jīng)過減壓閥減壓之后通過壓力氣路進(jìn)入壓力控制器,能夠精確調(diào)壓為需要的氣體壓力,并通過壓力氣路傳導(dǎo)至壓力傳感器,高低溫箱能夠控制環(huán)境溫度,高精度電流源提供+In、-In端輸入電源,高精度電壓表測量+Out、-Out端輸出電壓。(2)性能試驗(yàn)。隨機(jī)抽取了兩個(gè)傳感器,在常溫(25℃)、85℃兩個(gè)不同的溫度點(diǎn)下分別測試傳感器在 0MPa、0.2MPa、0.4MPa、0.6MPa、0.8MPa、1.0MPa等不同的壓力點(diǎn)下的輸出表現(xiàn)(壓力先0~1MPa逐漸升高再1~0MPa逐漸降低)。取供電電流為1.5mA,傳感器的輸出(單位mV)如表1所示。

    表1

    根據(jù)表1中的測試結(jié)果,對(duì)傳感器的線性度、零點(diǎn)溫漂、滿度溫漂進(jìn)行計(jì)算和評(píng)價(jià),兩個(gè)樣品在25℃時(shí)線性度最好為0.17%,在85°時(shí)線性度最好為0.16%,零點(diǎn)溫度穩(wěn)定性最好為0.17%,滿度溫度穩(wěn)定性最好為0.22%,具有較好的線性度和溫度穩(wěn)定性,完全能夠滿足工業(yè)應(yīng)用的需求,如表2所示。

    表2

    4 結(jié)語

    設(shè)計(jì)了一種基于硅-玻璃雙層結(jié)構(gòu)的MEMS壓力傳感器芯片的充油壓力傳感器,在25~85℃、0~1MPa范圍內(nèi),該傳感器輸出具有良好的溫度穩(wěn)定性和線性度,能夠滿足OEM使用的要求。

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