淺談半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)

姜曉芳

摘 要：隨著我國(guó)生產(chǎn)技術(shù)以及生產(chǎn)力的提升，且為我國(guó)半導(dǎo)體廠房的建設(shè)作出了較大貢獻(xiàn)。作為半導(dǎo)體廠房的重要組成部分，其廠房的內(nèi)部結(jié)構(gòu)不僅關(guān)系著半導(dǎo)體廠房的安全性以及舒適性，而且對(duì)于半導(dǎo)體廠房的生產(chǎn)運(yùn)行也具有重要影響?；诖耍疚膶雽?dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)的分析作為主要研究?jī)?nèi)容，通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行簡(jiǎn)單的闡述，進(jìn)而從兩個(gè)方面對(duì)半導(dǎo)體廠房的內(nèi)部結(jié)構(gòu)建設(shè)進(jìn)行詳細(xì)的分析與研究。本文旨在為半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)的研究提供幾點(diǎn)參考性建議，并為半導(dǎo)體廠房的發(fā)展與建設(shè)提供積極的推動(dòng)作用。

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體廠房；內(nèi)部結(jié)構(gòu)；建設(shè)分析

前言：近年來(lái)，我國(guó)半導(dǎo)體廠房的建設(shè)熟練逐漸增多，我國(guó)半導(dǎo)體廠房的假設(shè)技術(shù)也逐漸熟練，對(duì)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的規(guī)劃也逐漸科學(xué)。由于半導(dǎo)體廠房的內(nèi)部結(jié)構(gòu)建設(shè)影響著廠房的生產(chǎn)活動(dòng)，并且對(duì)于廠房?jī)?nèi)部人員的安全性也具有影響。故而本文對(duì)半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的分析與研究。

一、半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)系統(tǒng)

經(jīng)過(guò)筆者對(duì)半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的總結(jié)與整理，發(fā)現(xiàn)其主要具有以下幾方面的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。第一方面，潔凈室天花板系統(tǒng)。該種系統(tǒng)的建設(shè)主要由天花板框架；支承結(jié)構(gòu)；FF等部分組成。第二方面，潔凈室新風(fēng)系統(tǒng)。該系統(tǒng)的運(yùn)行對(duì)潔凈室內(nèi)的通風(fēng)進(jìn)行保障，提供工作人員所需的氧氣以及通風(fēng)條件。第三方面，機(jī)械排煙系統(tǒng)。該種系統(tǒng)對(duì)室內(nèi)的空氣環(huán)境進(jìn)行保障。第四方面，冷凍水系統(tǒng)。該系統(tǒng)由低溫離心式冷水機(jī)組、中溫離心式冷水機(jī)組等共同組成[1]。第五方面，溫水系統(tǒng)。該系統(tǒng)主要通過(guò)蒸汽鍋爐房以及熱水鍋爐房所組成。第六方面，油罐系統(tǒng)。主要是為滿足柴油發(fā)電機(jī)及鍋爐所需的燃料而建設(shè)的系統(tǒng)。第七方面，工藝真空系統(tǒng)。該種系統(tǒng)采用U-PVC對(duì)工藝真空系統(tǒng)的管道進(jìn)行建設(shè)而成。第八方面，常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。第九方面，工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)。第十方面，生產(chǎn)、生活給水系統(tǒng)。第十一方面，電力配電系統(tǒng)。第十二方面，照明系統(tǒng)。第十三方面，儀表與控制系統(tǒng)。第十四方面，純水安裝工程施工及調(diào)試。第十五方面，廢水安裝工程及調(diào)試[2]。

二、半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部溫水系統(tǒng)

（一）熱水鍋爐房

在該系統(tǒng)的建設(shè)過(guò)程中，其采暖熱負(fù)荷為1000kW；加濕使用的蒸汽量為550kg；純水用蒸汽量為300kg。在本文對(duì)熱水鍋爐房進(jìn)行設(shè)置的過(guò)程中，共建設(shè)2臺(tái)真空熱水鍋爐，該鍋爐的具體制熱量為930kw，其內(nèi)部還放置換熱器，以保障功能的實(shí)施。在該鍋爐房的建設(shè)過(guò)程中，其使用的燃料為天然氣，備用的燃料為輕柴油。在具體的使用過(guò)程中，其供給熱水溫度為32/38℃，為廠房的熱水使用提供極大的便捷性。在鍋爐房的建設(shè)過(guò)程中，其熱水泵主要是選擇了2臺(tái)150m3/h，且揚(yáng)程為0.32MPa的離心式水泵[3]。在該熱水鍋爐房的熱水系統(tǒng)建設(shè)過(guò)程中，其管道的建設(shè)主要使用無(wú)縫鋼管的材料，其管道的閥門主要采用蝸桿傳動(dòng)式蝶閥，在保溫設(shè)備的建設(shè)中采用B1級(jí)橡塑保溫材料。

（二）蒸汽鍋爐房

在該系統(tǒng)的建設(shè)過(guò)程中，其蒸汽鍋爐房的設(shè)置主要利用了2臺(tái)蒸汽鍋爐進(jìn)行具體的建設(shè)，該設(shè)備的蒸發(fā)量主要為0.6t/h，同時(shí)，其主燃料的使用為天然氣，其使用的備用燃料為輕柴油。該種設(shè)備的具體應(yīng)用過(guò)程中，其額定的蒸發(fā)壓力主要為0.7MPa。在整齊鍋爐房的建設(shè)過(guò)程中，其設(shè)置的主要設(shè)備還包括潔凈蒸汽發(fā)生器。該種設(shè)備的使用中，其蒸汽產(chǎn)生的數(shù)量為0.7t/h，通過(guò)不斷的整齊制造為空調(diào)系統(tǒng)的正常加濕運(yùn)作提供所需蒸汽。在該種蒸汽系統(tǒng)的補(bǔ)水過(guò)程，主要采用RO水進(jìn)行補(bǔ)充，并在加熱蒸汽管道建設(shè)的材料選擇階段，選擇無(wú)縫鋼管作為具體的管道建設(shè)材料。在閥門的建設(shè)過(guò)程中，使用蝸桿傳動(dòng)式的蝶閥進(jìn)行具體的施工。在潔凈蒸汽管道的建設(shè)過(guò)程中，其材料主要應(yīng)用不銹鋼的無(wú)縫鋼管，具體的材質(zhì)為SS304L。

三、廢水處理系統(tǒng)

（一）處理前水質(zhì)參數(shù)的確定

在對(duì)該公司的廠房進(jìn)行具體的建設(shè)時(shí)期，需要對(duì)該廠房的生產(chǎn)廢水情況進(jìn)行研究與分析。經(jīng)過(guò)筆者調(diào)查分析發(fā)現(xiàn)，該廠房的使用過(guò)程中將產(chǎn)生以下三種主要的廢水。第一種，氨氮廢水，該種廢水的水量為13t/d；第二中，酸堿廢水。該種廢水的水量為120t/d；第三種，回收水。該種廢水的水量為100t/d。在對(duì)廢水的指標(biāo)進(jìn)行詳細(xì)調(diào)查后，將該廠房的生產(chǎn)廢水水質(zhì)參數(shù)具體總結(jié)如下表1：

（二）具體施工

在對(duì)該廠房進(jìn)行施工時(shí)，主要是對(duì)廢水流入處理設(shè)施進(jìn)行科學(xué)的建設(shè)。具體的設(shè)計(jì)與施工分為以下幾方面。第一方面，高程設(shè)計(jì)；第二方面，工藝設(shè)計(jì)；第三方同時(shí)，由于該廠房的第三類廢水水質(zhì)處于較好的狀態(tài)，能夠直接作為反滲透原水。故而，在本文對(duì)廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行建設(shè)時(shí)，暫不考慮第三類廢水。

（三）處理后水質(zhì)參數(shù)的確定

經(jīng)過(guò)廠房的廢水處理，其水質(zhì)參數(shù)變化如下表2以及表3：

結(jié)論：本文通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行簡(jiǎn)單的闡述，進(jìn)而從半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部溫水系統(tǒng)；廢水處理系統(tǒng)安裝及調(diào)試兩個(gè)方面對(duì)半導(dǎo)體廠房的內(nèi)部結(jié)構(gòu)建設(shè)進(jìn)行詳細(xì)的分析與研究。經(jīng)過(guò)對(duì)課題內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)的研究與分析得出結(jié)果表明，在我國(guó)半導(dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)建設(shè)的研究領(lǐng)域中依舊存在一定問(wèn)題。因此，在未來(lái)的研究中應(yīng)進(jìn)一步對(duì)半導(dǎo)體廠房的內(nèi)部結(jié)構(gòu)建設(shè)領(lǐng)域進(jìn)行詳細(xì)的研究與思考，希望本文能夠?yàn)榘雽?dǎo)體廠房?jī)?nèi)部結(jié)構(gòu)的研究提供幾點(diǎn)可行性建議，并為半導(dǎo)體廠房的發(fā)展與建設(shè)提供積極的促進(jìn)作用。

參考文獻(xiàn)：

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[2]陳瀧，王傳慶，陳楨，等.三維激光掃描技術(shù)在鋼結(jié)構(gòu)廠房變形測(cè)量中的應(yīng)用[J].黑龍江工程學(xué)院學(xué)報(bào)，2016，30（05）：29-33.

[3]倪步寬.探究結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化技術(shù)在廠房結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中的應(yīng)用[J].建筑工程技術(shù)與設(shè)計(jì)，2017，15（08）；154-155.