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    集成電路無損缺陷分析方法探討

    2018-05-26 09:48:08李浩彭森
    卷宗 2018年10期
    關(guān)鍵詞:集成電路方法

    李浩 彭森

    摘 要:本文首先分析了集成電路主要內(nèi)容,并對集成電路失效無損分析現(xiàn)狀進行全面闡述,集成電路缺陷分析是可靠性分析的重要手段,目前分析技術(shù)無法滿足集成電路無損分析實際需求,這就需要相關(guān)人員改變傳統(tǒng)的思路,加大對新方法的研究,從而找到合適的解決辦法。

    關(guān)鍵詞:集成電路;無損分析;方法

    近年來,伴隨科技不斷發(fā)展,為集成電路發(fā)展提供了有利條件,傳統(tǒng)的方法判斷集成電路是否失效,需要花費大量的時間及人力,而且準確性較低,本文提出一種新的方法,這對于提高集成電路可靠性有著重要影響。

    1 集成電路概述

    集成電路是電子設(shè)備的基本單元,在系統(tǒng)中起著至關(guān)重要的作用,集成電路的可靠性不僅影響著設(shè)備使用期限,還影響著企業(yè)的經(jīng)濟效益。缺陷檢測是確保集成電路質(zhì)量重要內(nèi)容,通過對集成電路進行內(nèi)部分析,一方面能夠及時發(fā)現(xiàn)失效機理,工作人員能夠采取相應(yīng)的解決措施,另一方面能夠提高集成電路整體水平,避免受到外界因素的影響。集成電路無損缺陷檢測是社會發(fā)展的必然結(jié)果,是人們對電子產(chǎn)品的實際需求,伴隨信息技術(shù)不斷發(fā)展,電子設(shè)備越來越先進,需要使用壽命較長、可靠性較高的集成電路,為了滿足這一需求,需要工作人員要做好性能參數(shù)檢測工作,但受一些因素的影響,在復(fù)雜的環(huán)境下工作會使得集成電路失效,因此,失效分析具有重要作用。

    2 集成電路失效無損分析現(xiàn)狀

    目前用于集成電路內(nèi)部失效主要有幾種技術(shù):其一,傳統(tǒng)的掃描電子顯微技術(shù)。這種技術(shù)主要是對樣品進行檢測,通過電子顯微鏡及時發(fā)現(xiàn)缺陷部位,但這種技術(shù)是有損分析的一部分,需要借助外界因素的配合才能對樣品進行有效檢查,并且對于工作人員有著較高要求,常常需要專業(yè)人才進行操作,需要花費較大的成本。其二,皮秒觀測電路分析。主要通過探測電路中晶體管狀態(tài)對光子進行有效分析,由于晶體管常常在集成電路的下面,皮秒觀測電路不能穿過金屬層觀測到光子,并且這一技術(shù)對于操作環(huán)境有著較高要求,需要在真空中進行測量,整個操作過程較為繁瑣。其三,超導(dǎo)量子干涉儀。集成電路在運行過程中會有電流經(jīng)過,電流會使得集成電路表面產(chǎn)生一定程度上的磁場,但由于缺陷的存在,使得電流與正常情況下的集成電路有一定差距,這就需要工作人員進行探測磁場分布,這樣不但能夠了解電流分布情況,還能及時發(fā)現(xiàn)集成電路存在的缺陷,找到集成電路存在故障的位置,進而采取相應(yīng)的解決措施。超導(dǎo)量子干涉儀需要花費較多的資金,如果企業(yè)經(jīng)濟條件有限,很難運用此種技術(shù),并且這種技術(shù)需要在低溫條件下工作,對于操作環(huán)境有著較高要求,會給超導(dǎo)量子干涉儀的實用性帶來較大影響。其四,弱磁無損分析系統(tǒng)。前面分析的幾種技術(shù)都是有損分析,并不適合集成電路無損缺陷分析,而此種技術(shù)能夠滿足無損分析實際需求,弱磁無損分析系統(tǒng)具有較高的靈敏度,對于工作環(huán)境沒有太大要求,為工作人員帶來較大的便利性,能夠提高工作效率。

    3 弱磁無損分析系統(tǒng)分析

    3.1 工作原理

    弱磁無損分析系統(tǒng)主要由高靈敏度傳感器組、信號放大與處理電路等組成,工作人員要按照規(guī)定要求對驅(qū)動電源進行有效連接,對集成電路進行合理檢測,這樣會使得電路內(nèi)部形成電流回路,進而導(dǎo)致磁場的產(chǎn)生。傳感器組通過電流所產(chǎn)生的磁場相對較弱,工作人員對其進行放大處理后能夠得到相應(yīng)的電信號。當計算機對電路進行控制時,能夠使樣品臺發(fā)生移動,這樣傳感器組掃過集成電路表面時就能獲得想要的信息,這樣不但能夠?qū)呻娐愤M行精準定位,還能對集成電路進行有效處理。激光導(dǎo)航顯微具有高精度數(shù)碼成像作用,不但能夠精準對樣品進行定位,為工作人員提供重要參考依據(jù),還能提高工作人員對系統(tǒng)的分辨能力,從而達到預(yù)期的目的。鎖相放大器主要通過驅(qū)動信號源來獲得相應(yīng)的信息,一方面能夠減少噪聲的產(chǎn)生,另一方面能夠營造一個良好的環(huán)境,提高操作的準確性。

    3.2 組成部分

    其一,高靈敏度傳感器組。其包括兩個方面內(nèi)容,首先,磁隧道結(jié)傳感器。在系統(tǒng)中運用傳感器組不但能夠?qū)Υ艌鲞M行有效檢測,還能提高檢測結(jié)果的準確性,及時獲取相應(yīng)的信息,提高信息的時效性。磁隧道結(jié)傳感器主要通過電子束光刻蝕技術(shù)來完成,在操作過程中,工作人員要根據(jù)實際情況選擇合適的方法,充分發(fā)揮出隧道結(jié)整體性能,減少噪音的產(chǎn)生。隧道結(jié)對于隧道絕緣層有著較高要求,如果隧道絕緣層質(zhì)量沒有達到規(guī)定的要求,會給系統(tǒng)帶來一定損害,這就需要工作人員運用掃描濺射方法確保絕緣層整體較為均勻,從而降低結(jié)電阻。其次,傳感器放大電路的設(shè)計。工作人員可以把傳感器磁電阻轉(zhuǎn)化成電信號,一般情況下通過分壓電路、惠斯通橋電路來實現(xiàn)這一目的,由于分壓電路結(jié)構(gòu)較為簡單,工作人員在操作時較為便捷,但也有一定缺陷,分壓電路的靈敏度相對較低,不能對背景噪聲進行有效消除。盡管惠斯通橋電路結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜,但具有較高的靈敏度,不容易受到外界因素的影響,而且能夠把磁電阻轉(zhuǎn)化為電信號,大多數(shù)情況工作人員都用這種方法進行操作。

    其二,信號放大與處理電路。主要包括鎖相放大電路、接口電路等,傳感器靈敏度是系統(tǒng)重要參數(shù)之一,對于系統(tǒng)的分辨力有著重要影響,涉及兩個方面內(nèi)容,一是對于磁場而言,傳感器具有較高的靈敏度,而是傳感器能夠降低噪聲,并對電路進行有效檢測。鎖相放大器在無損缺陷分析中重要組成部分,不僅具有良好的等效信噪比,而且能夠?qū)呻娐愤M行有效控制。

    其三,高精度移動定位系統(tǒng)。包括兩個部分,首先,移動伺服機構(gòu)。這一系統(tǒng)主要由桶架結(jié)構(gòu)進行有效設(shè)計,當樣品固定在樣品臺上時,工作人員可以對樣品臺進行平面移動,使精度達到規(guī)定的要求,從而提高實驗的準確性。其次,激光導(dǎo)航監(jiān)控系統(tǒng)。這一系統(tǒng)主要在封閉的環(huán)境中進行操作,為了避免受到電磁脈沖的影響,工作人員運用閉合回路進行操作,這樣不但能夠?qū)悠愤M行準確定位,還能為工作人員提供相應(yīng)的參考信息。

    4 結(jié)語

    本文提出的集成電路無損缺陷分析方法主要以弱磁探測技術(shù)為主,通過這一技術(shù)能夠?qū)呻娐愤M行合理判斷,看其工藝是否存在缺陷、集成電路是否存在線路損壞等。

    參考文獻

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    作者簡介

    李浩,邵陽學(xué)院國際學(xué)院電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)學(xué)生

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